Xenondifluorid
Xenondifluorid (XeF2) är ett vitt, kristallint ämne som används som fluoreringsmedel.[1]
| Xenondifluorid | |
| | |
| Systematiskt namn | Xenondifluorid |
|---|---|
| Molmassa | 169,29 g/mol |
| Utseende | vit, fast |
| CAS-nummer | 13709-36-9 |
| Egenskaper | |
| Densitet | 4,32 g/cm³ |
| Löslighet (vatten) | 25 g/l |
| Smältpunkt | 128,6 °C |
| Faror | |
| Huvudfara | Oxidationsmedel, frätande, giftigt |
| SI-enheter & STP används om ej annat angivits | |
Egenskaper
[redigera | redigera wikitext]I likhet med andra xenonfluorider har ämnet en god fluoreringsförmåga samt hög smältpunkt i förhållande till flertalet andra föreningar av xenon. Ämnet utmärker sig genom sin förmåga att lösas i vatten, då övriga xenonfluorider är olösliga.[2]
Användning
[redigera | redigera wikitext]Xenondifluorid används för att etsa kisel, vilket möjliggör tillverkning av integrerade kretsar och andra elektroniska komponenter. Processen kan beskrivas genom följande reaktionsformel:[3]
Referenser
[redigera | redigera wikitext]- ^ ”xenon - Uppslagsverk - NE.se”. www.ne.se. https://www.ne.se/uppslagsverk/encyklopedi/l%C3%A5ng/xenon. Läst 7 januari 2024.
- ^ PubChem. ”Xenon difluoride” (på engelska). pubchem.ncbi.nlm.nih.gov. https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/83674. Läst 7 januari 2024.
- ^ ”Usage Policies Notebook for Xenon Difluoride (XeF2) Isotropic Si Etch”. University of California, Irvine. https://www.inrf.uci.edu/wordpress/wp-content/uploads/sop-dry-xef2-etch-notebook.pdf. Läst 8 januari 2024.