Trabajo Practico 2 Completado

Universidad Nacional Mayor de San Marcos
(DECANA DE AMERICA)
CURSO: Micro/Nano Sistemas Electrónicos
TEMA: Bibliografía sobre MEMS y EJERCICIOS
ALUMNO:
 Montani Suca Angel Gabriel 17190123
PROFESOR: Ruben Virgilio Alarcon Matatutti
FACULTAD: Ingeniería Electrónica Eléctrica Telecomunicaciones y

Biomedica
ESCUELA: Ingeniería Electrónica
LIMA – PERÚ
2022
LIBRO 1: “LIBRO RELACIONADO A LOS MEMS”
A) En base a las indicaciones dadas en clase, para cada libro elegido por el
alumno (buscar en la
muestra gratuita de Google Books) se debe hacer una lectura y resumen
que se incluirá en el
informe, con el siguientes puntos:
1. ¿Quién es el autor/autores y el título del libro, el año y la

editorial? (del 2015 en adelante)
 TÍTULO: Sensors and Biosensors, MEMS Technologies and its

Applications
 Autor: Sergey Y. Yurish
 Año: 2013
 Editorial: International Frequency Sensors Association Publishing
2. ¿Qué es el tema o temas contenidos en el libro?
 Sensors for Smarthphones: How to make it Smarter?

 Phase Dynamics, Synchronization and sensing by SAW Delay Line
Coupling Between Nonlinnear SAQ Oscillators
 Fingerprint Sensors: Liveness Detection and Hardware Solutiones
 Plasma Polymerized Thin Film Sensors
 MEMS Non-Silicon Fabrication Technologies
3. ¿Que causa motiva al autor/autores hacer esta publicación?
La razón del libro es la de poder garantizar que los lectores se mantendrán
a la vanguardia del campo y obtendrán el punto de partida correcto y
efectivo y la hoja de ruta para futuras investigaciones y desarrollos. De
esta manera podrán ahorrar mas tiempo para la actividad de investigación
productiva y eliminar el trabajo rutinario.
4. ¿Cuáles considera que son conocimientos básicos, relacionados

con los subcapítulos del Libro Texto, para entender el tema o
temas contenidos? Revisar el Libro Texto disponible en el
classroom del curso.
Dentro de los capítulos abordados dentro del libro “Sensors and

Biosensors, MEMS Technologies and its Applications” se considera
principalmente el uso de los transistores MOSFET al crear los sensores ya
que un transistor mosfet es un aparato unipolar que funciona por medio
de tensión. Su aplicación en la industria es muy común debido a su
capacidad de amplificación o conmutación de señales electrónicas. Forma
parte de la familia de trasformadores de potencia.
Utilidad de los transformadores mosfet en las industrias

 Es compatible con aplicaciones industriales donde se requiera

grandes potencias
 Dispositivos médicos
 En industrias dedicadas a la fabricación de productos
tecnológicos
 Para la fabricación de vehículos eléctricos
 Aplicaciones relacionadas con la ingeniería electrónica, como por
ejemplo la robótica.
 Son un aliado en las industrias dedicadas a la fabricación de
electrodomésticos
 Son compatibles con los motores sin escobillas
 Funcionan perfectamente en fuentes de alimentación
conmutadas
Mosfet y la estructura MOS

Tomando en cuenta que el dispositivo tratado en este artículo está
compuesto por la estructura MOS, es adecuado hacer unas
consideraciones al respeto.
La estructura MOS son elementos electrónicos conformados por silicio,

donde se crea una capa de óxido. Al presentarse un potencial positivo, los
electrones que se encuentran en el sustrato son cautivados por la capa de
óxido de la compuerta.
Por otro lado los huecos son refutados por la capa de óxido producto del
potencial positivo. Este proceso origina una acumulación de electrones,
generando a su vez exceso de electrones conocidos en la electrónica como
tipo N. A raíz de esta operación se van creando regiones, que
complementan el escenario para sentar las bases del transformador
mosfet.
5. En el Perú o en su experiencia personal, en qué áreas, subsistema
hardware o dispositivos de electrónica se puede encontrar
aplicaciones del tema tratado en el libro.
Dentro de la elaboración de componentes se da la elaboración de placas

para el uso de los sensores de los celulares, tales como la aceleración,
giroscopio etc.
LIBRO 2: Un libro sobre tecnologías asociadas a los
Micro/nano sistemas electrónicos.
A) En base a las indicaciones dadas en clase, para cada libro elegido por el
alumno (buscar en la
muestra gratuita de Google Books) se debe hacer una lectura y resumen
que se incluirá en el
informe, con el siguientes puntos:
6. ¿Quién es el autor/autores y el título del libro, el año y la

editorial? (del 2015 en adelante)
 TÍTULO: Advanced Mechatronic and MEMS Device II
 Autor: Dan Zhang
 Año: 2016
 Editorial: Editorial Springer
7. ¿Qué es el tema o temas contenidos en el libro?
 Actuation of Elastomeric Micro Devices via Capillary Forces

 MEMS Accelerometers: Testing and Practical Approach for Smart
Sensing and Machinery Diagnostics
 Highlights in Mechatronic Design Approaches
 Microrobots for Active Object Manipulation
 Integrating Smart Mobile Devices for Inmersive Interaction and
Control of physical systems: A Cyber-Physical Approach
8. ¿Que causa motiva al autor/autores hacer esta publicación?
Este libro esta especificado a la elaboración de micro dispositivos y
sensores con nuevas tecnologías para su mayor desarrollo y optimización.
9. ¿Cuáles considera que son conocimientos básicos, relacionados

con los subcapítulos del Libro Texto, para entender el tema o
temas contenidos? Revisar el Libro Texto disponible en el
classroom del curso.
Debido a que el libro contiene los usos y aplicaciones sobre los MEMS muy
a parte de los transistores que se deben saber de forma básica, también se
debe tener los conocimientos teóricos básicos sobre los MEMS
¿Qué es un sensor MEMS?
Los MEMS son sensores inerciales de alta precisión y bajo costo y se
utilizan para servir a una amplia gama de aplicaciones industriales. Este
sensor utiliza una tecnología basada en chips, a saber, un sistema
microelectromecánico. Estos sensores se utilizan para detectar y medir el
estímulo externo como la presión, después de que responde a la presión
que se mide la presión con la ayuda de algunas acciones mecánicas. Los
mejores ejemplos de esto incluyen principalmente el giro de un motor
para compensar el cambio de presión.
los Fabricación de MEMS IC se puede hacer con silicio, por lo que se

colocan capas ligeras de material, de lo contrario se fijan sobre un sustrato
de Si. Después de eso, se fija selectivamente para dejar estructuras 3D
microscópicas como diafragmas, vigas, palancas, resortes y engranajes.
Principio de funcionamiento del sensor MEMS
Siempre que se aplica la inclinación al sensor MEMS, entonces una masa

equilibrada hace una diferencia dentro del potencial eléctrico. Esto se
puede medir como un cambio en la capacitancia. Luego, esa señal se
puede cambiar para crear una señal de salida estable en digital, 4-20 mA o
VCC.
Estos sensores son excelentes soluciones para algunas aplicaciones que no

exigen la máxima precisión, como la automatización industrial, el control
de posición, la medición de balanceo y cabeceo y la nivelación de la
plataforma.
Tipos de MEMS
Los tipos comunes de sensores MEMS que se pueden obtener en el

mercado son
 Acelerómetros MEMS
 Giroscopios MEMS
 Sensores de presión MEMS
 Sensores de campo magnético MEMS
10.En el Perú o en su experiencia personal, en qué áreas, subsistema
hardware o dispositivos de electrónica se puede encontrar
aplicaciones del tema tratado en el libro.
La fabricación de MEMS es la fabricación de circuitos integrados de

semiconductores como una invención en masa de bajo costo, la
consistencia también es esencial para los dispositivos MEMS.
El tamaño de los subcomponentes del sensor estará dentro del rango de 1
a 100 micrómetros, así como el tamaño del dispositivo MEMS determinará
el rango de 20 micrómetros a un milímetro.
 El consumo de energía es muy bajo.
 Fácil de incorporar a los sistemas o cambiar
 La constante térmica es pequeña
 Estos pueden ser muy opuestos a golpes, radiación y vibración.
 Mejor tolerancia al desarrollo térmico
 Paralelismo
B) DISEÑAR EN PAPEL LOS SIGUIENTES CIRCUITOS:

1) En lógica de Puertas de Paso (dos transistores en paralelo), una puerta
NOR de tres
entradas. Verificar para dos combinaciones de entrada.
2) En lógica Cmos Estática, una puerta OR de tres entradas. Verificar para
dos combinaciones de entrada.
3) En lógica
Cmos Dinámica, una puerta NOR de tres entradas. Verificar para dos
combinaciones de entrada mediante su diagrama de tiempos en precarga
y evaluación.

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PROFESOR: Ruben Virgilio Alarcon Matatutti

FACULTAD: Ingeniería Electrónica Eléctrica Telecomunicaciones y

ESCUELA: Ingeniería Electrónica

1. ¿Quién es el autor/autores y el título del libro, el año y la

 TÍTULO: Sensors and Biosensors, MEMS Technologies and its

 Autor: Sergey Y. Yurish

 Editorial: International Frequency Sensors Association Publishing

2. ¿Qué es el tema o temas contenidos en el libro?

 Sensors for Smarthphones: How to make it Smarter?

4. ¿Cuáles considera que son conocimientos básicos, relacionados

Dentro de los capítulos abordados dentro del libro “Sensors and

Utilidad de los transformadores mosfet en las industrias

 Es compatible con aplicaciones industriales donde se requiera

La estructura MOS son elementos electrónicos conformados por silicio,

Dentro de la elaboración de componentes se da la elaboración de placas

6. ¿Quién es el autor/autores y el título del libro, el año y la

 TÍTULO: Advanced Mechatronic and MEMS Device II

 Autor: Dan Zhang

 Editorial: Editorial Springer

7. ¿Qué es el tema o temas contenidos en el libro?

 Actuation of Elastomeric Micro Devices via Capillary Forces

9. ¿Cuáles considera que son conocimientos básicos, relacionados

los Fabricación de MEMS IC se puede hacer con silicio, por lo que se

Siempre que se aplica la inclinación al sensor MEMS, entonces una masa

Estos sensores son excelentes soluciones para algunas aplicaciones que no

Los tipos comunes de sensores MEMS que se pueden obtener en el

La fabricación de MEMS es la fabricación de circuitos integrados de

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