Script Elementos Activos Capítulo 5.1
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G
D S
Polisilicio
SiO2
Si
B
Figura 1. Sección transversal de un transistor MOSFET
Sobre el substrato entre las regiones de difusión se coloca una capa delgada
de SiO2, representado en la figura 1 con la capa blanca sobre el substrato. El
espesor de la capa de óxido es menor que 10nm y disminuye con cada
generación tecnológica. El espesor mínimo de dióxido de silicio es de 1.2nm.
Desde hace unos 7 años se reemplazó el SiO2 por HfO2 en los transistores de
última generación.
B B
NMOSFET (NMOS) PMOSFET (PMOS)
Figura 2. Sección transversal de transistores NMOS y PMOS
substrato. Estas dos variaciones dan origen a los dos tipos posibles de
transistores MOSFET: NMOS y PMOS, donde el substrato está dopado
respectivamente, con aceptores y donadores, mientras que al activar los
transistores, el canal formado entre drenador y fuente es de tipo n en el NMOS
y de tipo p en el PMOS, como se verá más adelante.
G
D S
Polisilicio
SiO2
n+ n+
B
Figura 3.
Al aplicar una tension de compuerta positiva, y con VGS > 0, la influencia del
campo eléctrico de la compuerta repele a los huecos cercanos a la superficie
del semiconductor, como se muestra en la figura 4.
+
+ +
+
-
Figura 4. Principio de activación del MOSFET
Cuando esto ocurre, la superficie del substrato entre las regiones de difusión,
que fue dopada de tipo p, se comporta como un material de tipo n, debido a la
concentración de electrones en la superficie. Este fenómeno se conoce como
inversión, puesto que ahora la superficie se comporta como un material de
dopado opuesto al del substrato.
Por otra parte, si el voltaje de compuerta aplicado es negativo, los huecos del
substrato (portadores de carga mayoritarios) son atraídos a la superficie del
substrato, aumentando la concentración de huecos en la superficie. Este
fenómeno se conoce como acumulación. Puesto que no existe un canal entre
drenador y fuente, la corriente entre fuente y drenador es prácticamente cero.
Figura 5. Diagrama de bandas de energía del sistema de materiales MOS antes del
contacto
Si se aplica una tensión VGS en un transistor, tal que se atraen los portadores
mayoritarios del substrato a la región donde se formaría el canal, se obtiene la
condición conocida como acumulación. El canal no puede formarse y con ello
el transistor está apagado. Esto se muestra en la figura 6.
Por definición todos los voltajes del MOSFET toman como referencia la tensión
del surtidor. En términos generales, se define la tensión de umbral V TH como la
tensión entre compuerta y surtidor VGS necesaria para causar inversión de la
superficie del substrato, es decir, la formación del canal.
QBO QOX Q Q
VTH VFB M S 2B BO OX
COX COX COX COX
capacitancia de agotamiento.
Para VDS 4Vt , la corriente de subumbral puede aproximarse como sigue:
(VGS VTH )
I DS I D 0 e mVt
S-1
1
V I
R en este caso Rch DS
I VDS
donde Rch es la resistencia del MOSFET en la zona lineal y es llamada
resistencia de canal. Aplicando la definición anterior,
I DS
K (VGS VTH VDS )
VDS
Por lo tanto:
1
Rch
K (VGS VTH VDS )
lo cual para VDS VDS sat puede aproximarse a:
1
Rch
K (VGS VTH )
IDS
drenador
IDS – IDSsat IDS
IDSsat +
VDS -VDSsat
VDS – VDS sat ro
-
VDS
fuente
VDSsat
Figura 13. Modelo analógico en la región de saturación
Al aplicar una tensión VGS para lograr la inversión del substrato, el diagrama de
bandas de energía drenador-substrato-surtidor de un transistor NMOS se
modifica como se ilustra en la Figura 16. Como se observa en la figura, ahora
al aplicar una tensión VDS diferente de cero se posibilita el flujo de portadores
de carga. En este diagrama el substrato está conectado al mismo potencial
que el surtidor.
2qN A si
Cox
NA
B Vt ln
ni