Medição Da Dureza 0 PDF
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Tese de Doutorado
Novembro/2005
UNIVERSIDADE FEDERAL DE MINAS GERAIS
Curso de Pós-Graduação em Engenharia Metalúrgica e de Minas
Belo Horizonte
Escola de Engenharia da UFMG
2005
ii
AGRADECIMENTOS
Aos meus irmãos pelo carinho, dedicação e apoio em todos os momentos de felicidades
e dificuldades.
Aos meus queridos sogros, Lulu e Verinha e cunhados Júnior e Ana pela acolhida,
carinho e compreensão.
Aos meus amigos, Eduardo e Patrícia, André e Patrícia, Flávio e Célia pelos excelentes
momentos de convivência.
Aos meus colegas do Cetec-MG, em especial ao Jorge Saffar, Vilela, Rosa, Ana Luíza,
Tácito e Orlando, pelas boas discussões técnicas e pelos bate-papos durante os
necessários momentos de descontração.
Aos meus colegas do NIST/EUA, por acreditarem no meu potencial e por abrirem as
“portas” dos diversos laboratórios reconhecidos mundialmente, para que eu pudesse
realizar meus trabalhos experimentais. Agradeço especialmente ao Doug Smith e
Debbie Kaiser pela supervisão despendida e notória inteligência. Aos colegas Wolfgang
Haller, Bernie Hockey, Ed Fuller, Dan Xiang, George Quinn, Sam Low, Li Ma e Jon
Pratt pelo companheirismo e excelentes discussões técnicas. E aos meus colegas de
almoço: Jimmy Kelly, John Blendell, Dennis Minor, Mark Vaudin, Adam Scotch,
Michael Lufaso, John Cahn, Brian Lawn e Yu Zhang pelos momentos de prazer e
descontração. Ao Bryan Huey pela amizade.
iv
SUMÁRIO
1. INTRODUÇÃO...................................................................................................... 01
2. OBJETIVOS.......................................................................................................... 05
3. REVISÃO BIBLIOGRÁFICA............................................................................. 06
3.1. Dureza Convencional por Penetração.......................................................... 06
3.1.1. Histórico e Definições.......................................................................... 06
3.1.2. Padronização da Grandeza.................................................................... 10
3.1.3. Escalas de Medição.............................................................................. 10
3.1.4. Disseminação da Grandeza................................................................... 15
3.2. Novo Método de Medição de Dureza e Propriedades de Materiais por
Penetração Instrumentada.................................................................................... 18
3.2.1. Histórico e Definições.......................................................................... 18
3.2.2. Estabelecimento de Novo Método........................................................ 19
3.2.3. Desenvolvimento de Pesquisas Pré-normativas................................... 28
3.2.4. Ensaio por Penetração Instrumentada................................................... 31
3.2.5. Padronização do Ensaio por Penetração Instrumentada....................... 32
3.2.5.1. Material de Referência Certificado.......................................... 32
3.2.5.2. Procedimento de Ensaio........................................................... 33
3.2.6. Disseminação da Grandeza................................................................... 33
3.2.7. Aplicações Correntes do Novo Método................................................ 34
3.2.8. Demandas nacionais............................................................................. 35
3.2.8.1. Materiais Nanoestruturados...................................................... 36
3.2.8.2. Filmes Tribológicos.................................................................. 37
3.2.8.3. Filmes Decorativos................................................................... 38
3.2.9. Outras Demandas.................................................................................. 41
3.2.9.1. Avaliações de Pequenas Profundidades de Penetração............ 41
3.2.9.2. Medições Localizadas com Resolução Nanométrica............... 42
v
4. MATERIAIS E MÉTODOS................................................................................. 45
4.1. Materiais.......................................................................................................... 45
4.2. Equipamentos................................................................................................. 46
4.2.1. Equipamentos de Penetração Instrumentada........................................ 47
4.2.1.1. Ultra-micro Durômetro DUH-W201S/Shimadzu..................... 48
4.2.1.2. Nanoindenter XP/MTS............................................................. 49
4.2.1.3. Nanoindenter Hysitron/Triboscope.......................................... 51
4.2.2. Microscópio de Força Atômica............................................................ 51
4.5 Parâmetros de Ensaio...................................................................................... 55
4.3.1. Parâmetros de ensaio – XP/MTS..........................................................
55
4.3.2. Parâmetros de ensaio – DUH-W201S..................................................
56
4.3.3 Parâmetros de ensaio – Hysitron/Triboscope........................................
57
4.4. Fatores que Afetam o Ensaio de Penetração Instrumentada..................... 57
4.4.1. Rigidez do Equipamento e Geometria do Penetrador.......................... 57
4.4.1.1. Rigidez do Equipamento de Penetração Instrumentada........... 58
4.4.1.2. Geometria do Penetrador.......................................................... 61
4.4.2. Variação Térmica................................................................................. 64
4.4.3. Ponto Inicial de Contato....................................................................... 65
4.4.4. Empilhamento Superficial e Afundamento Superficial........................ 65
4.4.5. Efeito do Tamanho da Impressão......................................................... 66
4.4.6. Rugosidade Superficial......................................................................... 68
4.4.7. Arredondamento da Ponta do Penetrador............................................. 68
4.4.8 Limpeza da Ponta do Penetrador........................................................... 68
4.4.9 Tensões Residuais.................................................................................. 68
4.4.10.Trincas................................................................................................. 69
4.5. Caracterização de Filmes Finos..................................................................... 70
5. RESULTADOS E DISCUSSÃO........................................................................... 73
5.1. Calibração da Força de Medição do Equipamento de Penetração
Instrumentada........................................................................................................ 74
vi
6. CONCLUSÕES...................................................................................................... 140
LISTA DE FIGURAS
Figura 5.26 Curva Exh da amostra BK7, considerando-se três candidatos a material
de referência (SiO2, N-LAK33 e BK7) e a função de área original do
fabricante, hmax = 2000nm (XP/MTS)..................................................... 105
Figura 5.27 Imagem topográfica (à esquerda) e da deflexão da sonda (à direita),
via MFA, da impressão realizada na amostra BK7, Fmax = 100mN
(XP/MTS). Varredura = 15µmx15µm, escala em Z = 1000nm.............. 107
Figura 5.28 Imagens MFA a partir da deflexão da sonda - SiO2 (esquerda) e BK7
(direita) – método de ensaio MCR, hmax = 2000nm (F ~ 500mN)
(XP/MTS). Varredura = 20µmx20µm, escala em Z = 0,5V.................... 108
Figura 5.29 Imagens topográficas, via MFA, - SiO2 (esquerda) e BK7 (direita) –
método de ensaio MCR, hmax = 2000nm (F ~ 500mN) (XP/MTS).
Varredura = 20µmx20µm, escala em Z = 2000nm.................................. 108
Figura 5.30 Curva Fxh da amostra N-LAK33, Fmax = 100mN (XP/MTS)................. 109
Figura 5.31 Curva Hxh da amostra N-LAK33, considerando-se três candidatos a
material de referência (SiO2, N-LAK33 e BK7) e a função de área
original do fabricante, hmax = 2000nm (XP/MTS)................................... 111
Figura 5.32 Curva Exh da amostra N-LAK33, considerando-se três candidatos a
material de referência (SiO2, N-LAK33 e BK7) e a função de área
original do fabricante, hmax = 2000nm (XP/MTS)................................... 111
Figura 5.33 Imagem topográfica, via MFA, da impressão realizada na amostra N-
LAK33, Fmax = 100mN (XP/MTS). Varredura = 12µmx12µm, escala
em Z = 1000nm........................................................................................ 113
Figura 5.34 Imagem de MFA do material N-LAK33, Fmax = 500mN (h ~ 2000nm)
(XP/MTS), varredura = 30µmx30µm, escala em Z = 2500nm. Imagem
à esquerda: topográfica. Imagem à direita: deflexão da sonda................ 114
Figura 5.35 Imagem de MFA da amostra N-LAK33, Fmax = 20mN (h ~ 390nm)
(XP/MTS), varredura = 7µmx7µm, escala em Z = 400nm. Imagem à
esquerda: topográfica. Imagem à direita: deflexão da sonda...................115
Figura 5.36 Imagem de MFA da amostra N-LAK33, Fmax = 200mN (h ~ 1300nm)
(XP/MTS), varredura = 20µmx20µm, escala em Z = 1500nm. Imagem
à esquerda: topográfica. Imagem à direita: deflexão da sonda................ 115
Figura 5.37 Curvas Fxh da Safira a partir do ensaio de penetração instrumentada
xiii
LISTA DE TABELAS
LISTA DE NOTAÇÕES
penetrada...........................................................................................................65
Sa Superfície da amostra à profundidade de penetração e força de medição
máxima............................................................................................................. 22
SC3 Subcommittee of Hardness……………...………………………………….... 01
SDP Severa Deformação Plástica............................................................................. 36
SI Sistema Internacional Unidades....................................................................... 10
SF66 Silicato de Vidro............................................................................................... 45
Si Silício................................................................................................................42
SiO2 Sílica fundida (óxido de silício)....................................................................... 45
SPD Severe Plastic Deformation………………………………………………….. 36
SPM Scanning Probe Microscopy..…………………...…………………………… 51
SR Unidade da escala Rockwell.............................................................................13
TC Technical Committee........................................................................................01
tc Espessura do recobrimento............................................................................... 67
TR Technical Report…………………………………………………………….. 20
TW4 TestWorks4…………………………………...………………………………130
UFMG Universidade Federal de Minas Gerais.............................................................35
URSS União das Repúblicas Socialistas Soviéticas....................................................09
VIM Vocabulário Internacional de Termos Gerais e Fundamentais de Metrologia. 10
Welast Trabalho mecânico elástico por penetração......................................................27
Wplast Trabalho mecânico plástico por penetração..................................................... 27
xxii
RESUMO
Palavras chave: Micro e Nanodureza, Módulo Elástico por penetração, Penetração Instrumentada,
Material de Referência, Padronização.
xxiii
ABSTRACT
Key words: Micro and Nanoindentation, Indentation Elastic Modulus, Instrumented Indentation, Standard
Reference Material, Standardization.
1
CAPÍTULO 1: INTRODUÇÃO
Esse novo método, publicado pela ISO em 2003 (ISO 14577-1, 2 e 3), trata, dentre
outros, da medição de dureza e outras propriedades mecânicas de materiais a partir do
controle da aplicação da força ou do controle da profundidade de penetração por
penetração instrumentada, onde diferentes técnicas e procedimentos podem ser
2
CAPÍTULO 2: OBJETIVOS
“Pode ser uma surpresa que ainda hoje existem aqueles que se aventuram na descrição
da mecânica do contato, visto que o primeiro artigo nessa área foi publicado por
Heinrich Hertz em 1881” (Fischer-Cripps, 2000).
Em 1722, Reaumur, estudou e desenvolveu uma escala para ensaios de metais que
consistia na realização de um risco com o uso de uma talhadeira como ferramenta de
penetração em uma barra, cuja dureza aumentava de uma ponta a outra. A grande
importância deste método foi o fato dele ter sido o primeiro a investigar medidas por
penetração. Mais tarde esse trabalho foi complementado por Haigh, em 1920, que
utilizou lados de ângulos retos de uma amostra de mesmo material, onde eles eram
pressionados um contra o outro e a largura da penetração era então medida (Wilde et al.,
2000).
7
Em 1859, Calvert e Johnson relataram os primeiros resultados obtidos por uma máquina
de dureza considerando a força solicitada para produzir uma profundidade de
penetração de 3,5mm. Esta profundidade era medida por uma escala equipada com um
vernier e a força requerida para penetrar os 3,5mm foi chamada de dureza. O penetrador
utilizado foi um tronco de cone de 7mm de comprimento, 5mm de diâmetro na base e
1,25mm de diâmetro na ponta. Àquela época os materiais estudados eram, em sua
maioria, materiais metálicos mais macios (Wilde et al., 2000).
O critério para análise da medição de dureza mais conhecido foi o estabelecido por
Heinrich Hertz em 1881. Ele postulou sobre a natureza do campo de tensão devido o
contato entre dois corpos elásticos. Ele descreveu que o valor absoluto de dureza era o
menor valor da pressão aplicada por um penetrador esférico necessário para produzir
uma deformação permanente dada pela área de contato. Ainda hoje cientistas tratam
esse postulado no sentido de remover algumas dificuldades práticas da proposta original
(Fischer-Cripps, 2000).
É dureza propriedade de um material? Hertz pensou que sim, e muitos ainda pensam.
Entretanto, muitos reconhecem que dureza é uma medida que freqüentemente depende
de como ela é medida.
Como se pode perceber, passados mais de 100 anos, uma definição absoluta de dureza
ainda está aberta às investigações científicas (Fischer-Cripps, 2000).
Há diversos métodos que podem auxiliar a compreensão da dureza, dentre eles, três são
os mais utilizados e citados na literatura:
pelos usuários. Anos se passaram e mais fabricantes foram surgindo. O primeiro passo
tomado foi a especificação dessas escalas. Isso ocorreu no período compreendido entre
a primeira e a segunda guerra mundial (Wherstedt, 1999).
Hormuth foi quem criou o primeiro grupo de penetradores padrão para realizar a dureza
como escala de referência. A primeira comparação interlaboratorial de dureza foi feita
entre os anos de 1954 e 1957, comparando máquinas de padronização da Áustria,
Estados Unidos da América (EUA), França, Japão, República Federativa da Alemanha
(RFA), Reino Unido (RU), Suécia e União das Repúblicas Socialistas Soviética
(URSS). Diferenças foram detectadas por esta comparação e elas foram motivadoras
para os membros deste grupo proporem uma convenção internacional para a unificação
dos valores de dureza. Essa unificação foi estabelecida no final dos anos 50 e sua
filosofia principal permanece até os dias atuais (Wherstedt, 1999).
Na tabela III.1, vê-se o histórico das primeiras publicações oficiais das normas de
dureza por diversos países/instituições.
Quando uma grandeza é medida, deve ser estabelecida uma escala de medição. Como é
bem conhecida, a maioria das medições realizadas em ciência, tecnologia e na indústria
são expressas por meio do Sistema Internacional de Unidades (SI). Elas são sempre
baseadas na materialização de uma definição operacional ou na comparação entre
padrões materiais perante um acordo internacional (Inmetro, 2000).
Essa escala foi empiricamente associada ao ensaio uniaxial de tração por meio de um
rápido ensaio de compressão no material em análise, aplicado por um penetrador
esférico de diâmetro pré-determinado, conforme figura 3.1 e equação 3.1
(NBR NM 187-1).
2× F
HB = (3.1)
π × D × (D − D 2 − d B 2 )
12
Onde:
HB - Dureza Brinell.
F - força de medição (N).
D - diâmetro nominal do penetrador (mm).
dB - diâmetro médio da impressão Brinell (d1+d2)/2 (mm).
Já a escala de dureza Rockwell, foi introduzida em 1920 pela empresa Wilson Co.
(EUA). Ela objetivava otimizar alguns limites da escala Brinell e, sobretudo, diminuir o
tempo de ensaio, a fim de obter vantagens de ordem prática, tornando-a, até hoje, a
escala mais utilizada pela indústria (Low, 2001). Ela tem como base a medição da
profundidade de penetração, feita diretamente por um penetrador acoplado à máquina de
medir dureza, conforme esquema da figura 3.2. Após a realização e formação da
impressão, o resultado desta medida é dado diretamente no visor da máquina, de acordo
com a equação 3.2 (NBR NM 146-1), tendo como base a profundidade de penetração
sob efeito da força inicial após a remoção da força adicional, ao invés de se medir o
diâmetro ou a diagonal da impressão, que necessitariam de maior experiência e atenção
por parte do operador.
Onde:
F0 - força inicial de medição (N).
13
⎛ h ⎞
HR = N R − ⎜⎜ ⎟⎟ (3.2)
⎝ SR ⎠
Onde:
HR -Dureza Rockwell.
NR - número específico da escala Rockwell, 100 ou 130.
h - profundidade de penetração (mm).
SR – unidade específica da escala Rockwell, 0,001 mm ou 0,002 mm.
⎛ F ⎞
HV = 0,1891 × ⎜⎜ 2 ⎟
⎟ (3.3)
⎝ dV ⎠
Onde:
HV - Dureza Vickers.
F - força de medição (N).
dV - diagonal média da impressão Vickers (mm).
14
Portanto, a importância das escalas de dureza por penetração pode ser bem
exemplificada por sua versatilidade e utilidade na determinação de diversas
propriedades mecânicas.
Embora dureza não pertença ao campo das grandezas físicas, que são atributos de um
fenômeno, corpo ou substância que pode ser qualitativamente distinguido e
quantitativamente determinado (Inmetro/VIM, 2000), os valores das escalas são obtidos
durante um experimento realizado por meio de medições padronizadas, tomando-se
como referência grandezas e unidades de base e derivadas do SI, tais como:
• força (N).
• comprimento (m).
• ângulo (º).
• tempo (s).
• velocidade (m/s).
As diferentes condições das unidades de uma escala de medição, quando esta tem como
base um padrão material ou uma definição operacional, transparece fortemente no
campo da medição de dureza. As unidades são baseadas em um padrão material que
16
necessita de precauções especiais e deve ser bem definido por uma convenção
internacional para a disseminação de todas as escalas (Inmetro/Lafor, 1999).
O principal propósito desta cadeia é, portanto, garantir que o usuário desta medição
obtenha os resultados com menor incerteza e maior reprodutibilidade dos valores de
dureza.
Para medidas de dureza de filmes finos ou materiais cerâmicos, o método Rockwell não
pode ser usado, pois suas forças iniciais e adicionais influenciariam nos resultados da
19
medição e a dureza não poderia ser determinada, devido à formação de trincas nesses
materiais, induzidas durante a medição.
Para Vickers, todas as faixas de dureza são mensuráveis, sendo esta uma escala de
medição contínua e, pequenas forças de aplicação são avaliáveis e disponíveis em
normas, possibilitando realizar medidas de penetrações em camadas finas. A
desvantagem desse método é que ele está sujeito à influência do operador, e esta
influência afeta o poder de resolução e análise da impressão, aumentado em muito as
incertezas de medição (Polzin, 1997).
A incerteza da medição de uma diagonal de 5µm de uma impressão residual dada por
um penetrador Vickers, por exemplo, é da ordem de 20% quando utilizado um
microscópio ótico para a leitura. Essa incerteza cresce à medida que o tamanho da
penetração diminui e pode chegar tão alta quanto 100% para impressões com diagonais
de 1µm (Fischer-Cripps, 2002).
Melhor seria ter um método que utilizasse um penetrador do tipo Vickers, em uma
ampla faixa de força, em consonância com a medição da profundidade de penetração tal
como o método Rockwell (Polzin, 1997).
Fmax
40
30
F(mN)
20
A
10
B
C
0
0 50 100 150 200 250 hp hr 450 500 550 600 hmax
h(nm)
Onde:
A – aplicação da força de medição.
B – remoção da força de medição.
C – tangente à curva B em Fmax.
F – força de medição (mN).
Fmax – força de medição máxima (mN).
h – profundidade de penetração sob força de medição aplicada (nm).
hmax – profundidade de penetração máxima em Fmax (nm).
hr – ponto de interseção da tangente da curva b em Fmax com a profundidade de
penetração (nm).
hp – profundidade de penetração permanente após remoção da força de medição
(nm).
A figura 3.6 (ISO 14577-1), mostra a seção transversal de uma penetração onde são
identificadas as profundidades monitoradas durante a medição. A partir da curva de
remoção, pode-se determinar hc a partir da equação 3.4 (ISO 14577-1).
Onde:
p – ponta do penetrador.
i – superfície da impressão residual na amostra.
Sa – superfície da amostra à profundidade de penetração máxima e em força de
medição máxima.
hmax – profundidade de penetração máxima em Fmax (mm).
hp - profundidade de penetração permanente após remoção da força (mm).
total ou adicional, percebeu-se o quanto ele era mais poderoso quando se desejava
analisar propriedades dos materiais, principalmente as medições localizadas e diminutas
e, materiais de pequenas espessuras, notadamente nas escalas micro e nanométricas.
Apenas em 1997 o subcomitê técnico ISO/TC 164 SC3 decidiu efetivamente trabalhar
nesse item, adotando o documento “ISO/TR 14577 – Medição de penetração
instrumentada para dureza e parâmetros de materiais”.
Alguns dos meios de controle e realização do EPI existentes são (Fischer-Cripps, 2002):
• Ensaio por penetração com controle de força: calcula e indica a dureza de uma
amostra a partir da força aplicada e da profundidade de penetração obtida.
Este ensaio é também utilizado quando se necessita determinar o módulo elástico por
penetração do material.
• Resolução da força de ensaio: determina a mudança mínima em força que pode ser
detectada pelo equipamento. Pode chegar a nanonewtons.
• Número máximo de pontos: é número máximo que pode ser coletado durante um
único ensaio. Quanto maior o número de dados, maior a resolução de eventos
característicos ocorridos na curva força-deslocamento.
• Dureza Martens (HM): definida como a força dividida pela área superficial em
função da profundidade de penetração durante a aplicação da força de medição (até
2001 era chamada de Dureza Universal (HU)), equação 3.5. Inclui as deformações
plástica e elástica (N/mm2). F é a força de medição e As(h) é a área superficial de
contato do penetrador.
F
HM = (3.5)
As (h)
• Dureza por penetração (HIT): definida como a força de medição máxima dividida
pela área projetada de contato (seção transversal) entre o penetrador e a amostra,
equação 3.6. Inclui a deformação plástica (N/mm2). Fmax é a força de medição máxima e
Ap(hc) é a área projetada de contato do penetrador.
Fmax
H IT = (3.6)
A p (hc )
E IT =
(1 −ν ) ; E 2
=
π
; Cs =
1 dh
=
1 (1 − ν )
a
r
2 × C s × A p (hc )
2
S dF (3.7; 3.8; 3.9)
−
p
Er Ep
h2 − h1
C IT = × 100 (3.10)
h2
Fi − F f
R IT = × 100 (3.11)
Fi
Welast
η IT = × 100 (3.12)
Wtotal
Além dessa, outras considerações importantes feitas nesse estudo foram relatadas: - o
diâmetro da impressão de contato na superfície formada pelo penetrador cônico não
recuperava durante a remoção da força, somente a profundidade; - os efeitos dos
penetradores não-rígidos no comportamento força-profundidade de penetração podiam
ser efetivamente considerados pela definição do módulo elástico reduzido, Er,
equação 3.13 (Tabor, 1951):
1
=
(
1 −ν a
2
) + (1 −ν )
p
2
(3.13)
Er Ea Ep
29
Onde:
Ea - módulo de elasticidade da amostra (N/mm2).
νa - coeficiente de Poisson da amostra.
Ep - módulo de elasticidade do penetrador (N/mm2).
νp - coeficiente de Poisson do penetrador.
dF 2
S= = × E r × A p (hc ) (3.14)
dh π
A equação 3.14 teve sua origem, a partir da análise teórica do contato elástico,
originalmente derivada de um penetrador cônico. Bulychev et al., em 1973, mostraram
que ela mantinha a mesma relação também para penetradores esféricos e cilíndricos e,
também especularam a aplicação para outras geometrias. Eles notaram ainda que a
concordância entre os valores calculados pela equação 3.14, usando os dados obtidos
para um penetrador Vickers, também eram geralmente bem aceitos (Oliver e Pharr,
1992).
Apenas nos anos 80, essas possibilidades de análises se tornaram de uso prático.
Naquela época cresceu bastante o interesse em medições de propriedades mecânicas de
filmes muito finos e camadas superficiais e, instrumentos para realizarem penetrações
submicrométricas foram desenvolvidos (Oliver e Pharr, 1992).
30
Para avaliar suas considerações, Doerner e Nix (1986) propuseram um método empírico
simples baseado na extrapolação do estágio inicial linear da curva de remoção da força
até zero. Essa proposição foi confirmada pela simulação, via elementos finitos, da
penetração em silício e níquel por um penetrador cônico. Com a dureza sendo calculada
a partir da equação 3.6 e o módulo a partir da equação 3.7.
A partir da análise de Sneddon e dos estudos descritos, Oliver e Pharr (1992) mostraram
também que a relação força-profundidade de penetração para a maioria das pontas
geométricas podia ser descrita convenientemente por meio de um ajuste potencial
conforme a equação 3.15, conhecida como “Power-Law”. Essa equação explicita o fato
de que a estágio inicial da curva de remoção da força é freqüentemente não-linear, e que
pode ser descrita como uma relação de potência para descrever características elásticas
de um dado material.
31
F = K × hm (3.15)
Onde:
F - força de medição (N).
h - profundidade de penetração sob aplicação de F (nm).
K e m - são constantes empíricas da equação que descrevem o ajuste potencial da
curva de remoção da força de medição no EPI
A importância desse tipo de medição para o setor produtivo tem sido freqüentemente
enfatizada, pois é versátil para a definição das propriedades mecânicas dos materiais,
sendo este o método menos oneroso e mais rápido no controle de qualidade, daqueles
hoje estabelecidos. Essas medidas, realizadas da forma convencional, permitem estimar
o comportamento plástico do material, mas não permitem a obtenção de informações
sobre a região elástica da deformação.
Como se pode perceber nas seções anteriores, o EPI é uma poderosa ferramenta para a
determinação tanto de dureza quanto de outras propriedades mecânicas com largas
possibilidades de uso no estudo de materiais micro e nanoestruturados, filmes finos,
materiais cerâmicos, etc.
consiga disseminar dados confiáveis aos usuários tal como estabelecido na estrutura da
figura 3.4.
Para a adoção de bom material de referência a ser certificado, vários critérios deverão
ser seguidos, dentre os principais pode-se destacar a necessidade do material ter
propriedades homogêneas em toda superfície, ser isotrópico, possuir superfície estável
com baixíssima rugosidade e sem oxidação, não deverá ser dependente do tempo de
ensaio e, suas propriedades superficiais e de volume deverão ser similares.
A indústria de alta tecnologia exige medidas cada vez mais aprimoradas de magnitudes
cada vez menores. Entretanto, percebe-se que a situação brasileira sob o ponto de vista
metrológico não permite ainda que a sociedade conte com as ferramentas requeridas
para satisfazer as demandas da indústria em nanotecnologia. Pode-se afirmar que todo o
campo da nanotecnologia industrial depende de forma crítica de medidas de elevada
exatidão como ferramenta para o controle da qualidade.
Dessa forma, taxas de deformação plástica muito elevadas podem ser obtidas através do
acúmulo de deformação após um número conveniente de passes.
Na figura 3.7 e na figura 3.8 são dados exemplos de deformações pelo processo ARB
em aços livres de interstícios “Interstitials Free (IF)”. O entendimento dos processos de
refinamento estrutural que levam à formação de grãos de tamanho nanométrico requer
detalhada caracterização da nanoestrutura do material, o que pode ser realizado apenas
com técnicas avançadas de microscopia, tal como a Microscopia de Força Atômica
(MFA), e de medições de propriedades nanomecânicas por meio do ensaio de
penetração instrumentada, a qual permite avaliar dureza e módulo de elasticidade em
regiões nanométricas do material (Costa et al., 2005).
por medidas em filmes com espessuras cada vez mais finas em meios mecanicamente e
quimicamente agressivos tem aumentado consideravelmente.
A figura 3.9 mostra as imagens topográficas dos filmes de baixa e alta porosidade antes
e após os EPI. As propriedades mecânicas são apresentadas na tabela III.3.
É possível observar na figura 3.9 que as impressões residuais do filme com alta
porosidade são maiores que os de baixa porosidade. Essa evidencia sugere uma
resistência mecânica maior para o filme de baixa porosidade. Os resultados da
tabela III.3 e da figura 3.10 confirmam essa evidência, pois, o maior valor de dureza que
é dado pelo menor deslocamento do penetrador no filme é registrado para o filme menos
poroso usando a mesma força máxima de ensaio.
41
FIGURA 3.10- Curvas Fxh para filmes de interferência de ouro com baixa e alta
porosidade, crescidos em um aço inoxidável AISI 304, Fmax = 100µN.
A aplicação desse novo método também pode ser verificada no trabalho de Kempf et al.
(1998). Eles realizaram estudos a fim de determinar propriedades mecânicas localizadas
com resolução nanométrica de ligas metálicas e defeitos, para permitir o melhor
entendimento de materiais com vistas à melhoria de projetos de suas estruturas. Foi
utilizado equipamento de medição por penetração instrumentada, acoplado a um MFA
com forças variando de nanonewtons a micronewtons e imagens pontuais em
ampliações com 300.000 vezes foram capturadas para estudar a matriz e os precipitados
γ’ de uma superliga do tipo CMSX-6, figura 3.11. Eles estudaram também a dureza da
zona plástica e dos campos de tensões da ponta de uma trinca iniciada em um plano de
clivagem {110} de um monocristal de NiAl, figura 3.12 (Machado, 2003).
FIGURA 3.12 - Imagem da trinca em um monocristal de NiAl, por MFA, sob flexão
pura. A escala em cinza corresponde a uma altura máxima de 30nm.
FIGURA 3.15 – Curvas Fxh realizadas no MgO {001} e no Si {111}, Fmax = 1mN.
45
4.1 Materiais
Os materiais relacionados na tabela IV.1 foram escolhidos não apenas por suas
propriedades mecânicas mas também por causa de suas propriedades físicas. Eles
possuem baixos coeficientes de expansão térmica, alta homogeneidade superficial e
baixo percentual de bolhas e inclusões, sendo sólidos amorfos, isotrópicos (com
exceção da Safira) e com baixa sensibilidade ao risco.
O valor nominal da dureza da amostra Safira apresentada na tabela IV.1, foi fornecido
pelo fabricante do material (EscoProducts Inc., Oak Rigde, NJ, USA). Valor semelhante
foi também encontrado na literatura, Swadener e Pharr (1999). O valor nominal do
módulo elástico, 425GPa, foi considerado neste estudo a partir da média da faixa de
412GPa a 438GPa determinada por Swadener e Pharr (1999), por meio do ensaio de
46
As três primeiras amostras da tabela IV.1 (SiO2, BK7 e Safira) tiveram seus
acabamentos superficiais realizados e fornecidos pela empresa EscoProducts Inc., Oak
Rigde, NJ, USA. Os valores de nominais das propriedades mecânicas dos materiais
SiO2 e BK7 foram fornecidos também pelo fabricante Esco Products Inc. Entretanto,
não foi informado qual o método utilizado para obtenção destes valores.
4.2 Equipamentos
O equipamento XP/MTS foi aquele mais amplamente utilizado por possuir uma
quantidade maior de parâmetros interessantes ao estudo e mapeamento dos materiais de
referência a serem certificados, provendo informações extras importantes que os outros
dois equipamentos não fornecem.
O sensor consiste de dois discos externos, nas quais são direcionados por sinais de
corrente alternada (AC) com defasagem de 180°. Como os discos são paralelos e muito
próximos entre si com respeito às dimensões laterais, o potencial de campo elétrico
entre os discos varia linearmente.
A técnica de microscopia de força atômica foi utilizada nesse estudo para medidas de
rugosidade superficial das amostras candidatas a material de referência a ser certificado,
bem como para análises morfológicas das impressões e eventuais fenômenos ocorridos
devido aos ensaios de penetração instrumentada realizados, tais como trincas,
empilhamentos ou afundamentos superficiais.
52
(a) (b)
FIGURA 4.6 - (a) Desenho esquemático do princípio de funcionamento da técnica de
MFA; (b) Curva esquemática mostrando a dependência da força de
interação sonda-amostra em função da separação entre elas (Howland e
Benatar, 1996).
54
Conforme o caráter da interação, atrativo ou repulsivo, pode ser definido alguns modos
de operação na técnica de MFA:
O modo de Contato Intermitente reúne vantagens dos dois modos anteriores: como há
contato físico entre a sonda e a amostra, consegue-se altas resoluções (~ 1nm). Além
disso, como a movimentação é feita com a sonda no ar, as forças de atrito entre a sonda
e a amostra são grandemente reduzidas, eliminando os problemas de deformação da
amostra presentes no modo Contato.
O tempo de manutenção da força de remoção foi em 90% de Fmax com 60s para
estabilizar a taxa de variação térmica para correção dos dados de deslocamento.
Nos ensaios com controle de força realizados no XP/MTS utilizou-se uma taxa de força
dividida pela força de medição (dF/dt)/F = 0,3s-1. Este valor teve como objetivo a
obtenção de uma quantidade de dados suficientes para as análises em toda a extensão
das forças de medição aplicadas (MTS Nano Instruments - Nanoindentation User
Guide). Também no controle de força a velocidade de aproximação da superfície
utilizada foi de 10nm/s. O ciclo de ensaio foi o mesmo descrito acima, ou seja, 15
segundos na aplicação da força e 5 segundos na manutenção da força máxima e na
remoção da força de medição.
Essa deflexão elástica se faz também importante quando existem grandes profundidades
de penetração em amostras com altos módulos de elasticidade. Nesse caso, a deflexão
elástica da estrutura do equipamento pode acarretar em frações significativas na
deflexão elástica total (Fischer-Cripps, 2002).
item pode ser adicionada diretamente para dar a deflexão elástica total, medida pelo
equipamento (Oliver e Pharr, 1992).
A deflexão elástica total da estrutura de força dos equipamentos medida neste trabalho,
CT, equação 4.1 (Oliver e Pharr, 1992), portanto, foi considerada como a soma da
deflexão elástica da estrutura do equipamento, conhecido como “load-frame machine
compliance (Cf)”, e da deflexão elástica associada à penetração na amostra, Cs, que é o
inverso da rigidez de contato, equação 4.2 (Oliver e Pharr, 1992).
CT = C f + C s (4.1)
1
Cs = (4.2)
S
dF 2
S= =β× × E r × A p (hc ) (4.3)
dh π
60
A partir das equações 4.2 e 4.3 tem-se que, Cs pode ser dado pela equação 4.4 (Hay
et al., 1999).
dh π
Cs = = (4.4)
dF 2 × β × E r × A p (hc )
E, portanto, a equação 4.5 (Hay et al., 1999) obtida a partir das equações 3.6 e 4.1.
π × H IT
CT = C f + (4.5)
2 × β × E r × Fmax
Para um material homogêneo e isotrópico é razoável assumir que HIT e Er são constantes
em grandes profundidades de penetração (hc > 1/3 do raio da ponta do penetrador)
quando se utilizar um penetrador Berkovich, desde que não sejam formadas trincas. Se
essa consideração for feita, o gráfico CT versus 1 A p (hc ) , para uma série de
A deflexão elástica do equipamento deve ser verificada para cada penetrador utilizado e
pode ser determinada em conjunto com a determinação de sua geometria.
profundidades não podem ser profundas a ponto de provocarem trincas ou outro evento
no material capazes de invalidar o ensaio (MTS Nano Instruments - Nanoindentation
User Guide).
Penetradores não são perfeitamente pontiagudos, e a forma teórica de sua ponta não
representa a realidade na faixa micro e nanométrica. Essa forma pode ser afetada
principalmente pelos processos de fabricação e lapidação e pela anisotropia cristalina do
diamante, notadamente para o penetrador utilizado neste estudo, o Berkovich, que é
uma pirâmide de diamante de base triangular (Fischer-Cripps, 2002).
A função que descreve uma ponta ideal de um penetrador piramidal de três lados
(Berkovich) é dada pela equação 4.6 (ISO 14577-1):
A p (hc ) = 24,5 × hc
2
(4.6)
O termo inicial, C0, conhecido como termo líder, pode ser descrito como uma constante
igual a 24,5, determinada por relações trigonométricas de uma pirâmide de base
triangular (forma ideal do penetrador Berkovich). Os outros termos C1 .. Cn descrevem
os desvios abruptos da geometria da ponta do penetrador (Oliver e Pharr, 1992).
A partir dessa definição, as constantes dessa equação podem então ser consideradas para
a determinação da função de área do penetrador.
Para medições com controle de força, uma série de diferentes forças deve ser escolhida
para cobrir toda a faixa de interesse e, para cada força, pelo menos dez penetrações
devem ser feitas e o valor médio usado para determinar Ap(hc).
Um material com módulo elástico (E) conhecido deve ser utilizado. Com isso, Ap(hc)
pode ser derivada para cada profundidade de contato, hc específica.
63
A equação 4.5, utilizada neste estudo, diz que se o módulo elástico for constante, uma
curva CT versus 1 A p (hc ) é linear para um dado material, e a interceptação da curva é
A partir da equação 4.6, pode-se fazer uma primeira estimativa da área de contato
utilizando a função de área ideal para um penetrador Berkovich. Assim, estimativas
iniciais de Cf e Er podem ser obtidas pelo gráfico CT versus 1 A p (hc ) . Com esses
valores, a área de contato é então calculada a partir da equação 4.18 (Oliver e Pharr,
1992), a qual uma suposição inicial da função desta área pode ser obtida pelo ajuste dos
dados de Ap(hc) x hc devido a relação polinomial conforme equação 4.7.
π
A p (hc ) = (4.8)
4 × E × (CT − C f ) 2
2
r
No entanto, esse procedimento não está completo. Nesse estágio a forma exata da
função de área influencia os valores de Cf e Er. A partir da nova função, deve ser
aplicado novamente de modo iterativo até que uma convergência seja alcançada (Oliver
e Pharr, 1992).
64
que a temperatura ambiente dos ensaios realizados com todos equipamentos se situou na
faixa recomenda pela norma ISO 14577-3, ou seja, (23±5)°C.
filmes macios depositados em substratos duros, figura 4.10 (Hay e Pharr, 2002), e em
materiais endurecidos sem deformação com alto E/H. O afundamento superficial é mais
pronunciado em filmes duros depositados em substratos macios, figura 4.11 (Hay e
Pharr, 2002), e para materiais endurecidos por deformação ou materiais endurecidos
sem deformação com baixo E/H.
FIGURA 4.10 - Filme macio de Al em substrato duro de vidro (Hay e Pharr, 2002).
FIGURA 4.11 - Filme duro de NiP em substrato macio de Cu (Hay e Pharr, 2002).
Os efeitos do tamanho da impressão (ETI) “Indentation Size Effect (ISE)” são mais
comuns devido ao comportamento do material às tensões e deformações residuais, ao
67
atrito entre o penetrador e a amostra, e aos erros associados à função de área (Fischer-
Cripps, 2002).
Além desses, um gradiente de deformação pode também existir no campo de tensão por
deformação, figura 4.12. Pode ser observado que ele cresce com o decréscimo do
tamanho da impressão devido ao mecanismo de nucleação de discordâncias dentro da
zona plástica. A presença de discordâncias serve para aumentar a resistência efetiva de
escoamento do material e isso o torna um meio de crescimento da dureza. Isso pode ser
explicado em termos da existência do gradiente de deformação na vizinhança da
penetração (Nix e Gao, 1998).
Onde:
θ - ângulo entre a superfície do penetrador e a superfície da amostra.
a - raio de contato.
h - profundidade de penetração.
s - espaço individual entre os passos de escorregamentos na superfície penetrada.
68
Penetradores de diamante são limpos com maior eficácia pela sua pressão em um bloco
denso de polietileno. A química do polietileno age como um solvente para qualquer
contaminação e ainda oferece uma ação de limpeza mecânica (Fischer-Cripps, 2002).
4.4.10.Trincas
• a trinca radial “vertical” que ocorre na superfície externa da zona plástica e nos
cantos da impressão residual da penetração.
• a trinca lateral “horizontal” que ocorre abaixo da superfície e é simétrica com o
eixo da força aplicada.
• a trinca mediana “vertical” circular que se forma abaixo da superfície ao longo
do eixo de simetria e tem uma direção alinhada com os cantos da impressão
residual.
Dependendo das condições das forças aplicadas, trincas medianas podem se estender e
se juntar às trincas radiais formando trincas do tipo half-penny, que intercepta a
superfície conforme figura 4.13.
A principal dificuldade encontrada pelo EPI para a caracterização de filmes finos é que
a influência não-intencional da propriedade do substrato seja evitada. De acordo com
Hay e Pharr (1998), a regra dos 10% da espessura não tem significado físico. Para
penetrações com penetradores cônicos ou piramidais, a profundidade cresce na mesma
taxa de crescimento do raio da impressão de contato. Assim, para um EPI em um filme
fino, a escala de penetração é dada pela razão a/tc que é raio da impressão de contato (a)
dividido pela espessura do filme (tc). A razão da profundidade de penetração com a
espessura do filme (h/tc) também pode ser usada como um parâmetro. A taxa a/tc é um
parâmetro mais útil para filmes duros em substratos macios desde que o raio de contato
seja aproximadamente igual ao “núcleo” hidrostático abaixo do penetrador, que é
cercado pela zona plástica. Para filmes macios em substratos duros a taxa h/tc é de maior
71
interesse desde que essa seja uma medida de quão distante a profundidade de penetração
se aproximou do substrato (Fischer-Cripps, 2002).
Apesar dos tratamentos analíticos e às vezes empíricos, não há, por enquanto nenhuma
relação que atenda a larga faixa dos comportamentos dos materiais. Na falta de uma
relação rigorosa, a regra convencional dos 10% da espessura parece ser ainda a mais
conveniente (Fischer-Cripps, 2002).
A consideração quanto às características de filmes finos foi feita neste trabalho, pois, já
existem estudos (Smith, 2004) onde se pretende utilizar materiais de referência de
volume para os ensaios de penetração instrumentada como substratos, em pesquisas de
materiais de referência para filmes finos com recobrimentos óticos.
73
Foram realizadas calibrações das forças de medição, das áreas dos penetradores e do
comportamento da deflexão elástica da estrutura dos equipamentos utilizando-se os
materiais citados na tabela IV.1.
As faixas estudadas com controle de força (F) no equipamento XP/MTS foram de 1mN
a 500mN. Os ensaios foram realizados utilizando o seguinte ciclo de ensaio: 15
segundos para aplicar as forças de ensaio, 05 segundos para manutenção e outros 05
segundos para remoção de 90% da força máxima, com manutenção desta força por 60
segundos objetivando determinar as possíveis variações térmicas na superfície
analisada, capaz de afetar o resultados dos ensaios.
Até o momento, não existe nenhum sistema ou transdutor de força rastreável ou bem
caracterizado para calibrar as forças de medição de equipamentos de penetração
instrumentada em nível nanométrico. No entanto, foram realizadas calibrações
preliminares das forças de medição do equipamento XP/MTS no Laboratório de
Propriedades Nanomecânicas do NIST/USA utilizando-se um transdutor de força em
desenvolvimento nesse Instituto. O instrumento em desenvolvimento visa a
disseminação das medições de força de equipamentos de penetração instrumentada e
das forças atuantes nas medidas de microscopia de força atômica em níveis micro e
nanométrico.
Este transdutor de força, em fase experimental, foi calibrado contra uma balança de
força eletrostática primária, figura 5.2, com incerteza menor que 0,5% para as forças na
faixa de 0,05mN a 5,0mN.
FIGURA 5.4 – Erro da força aplicada pelo equipamento XP/MTS, tendo como
referência o transdutor de força rastreado em relação à balança
primária do NIST/USA (Smith, 2004).
5.2.1 Determinação de Cf
Com isso, a interseção da curva de ajuste linear dos pontos obtidos experimentalmente
CT (dh dF ) x 1 A p (hc ) , figura 5.5, com o eixo y fornece os valores da quantidade
10
0
0.0000 0.0001 0.0002 0.0003 0.0004 0.0005 0.0006 0.0007
1/2
1/[Ap(hc)] (1/nm)
FIGURA 5.5 – Curva CT (dh dF ) x 1 A p (hc ) , onde a interseção com o eixo y, após a
O valor da interseção desta curva, figura 5.5, obtido a partir de ensaios realizados no
material candidato a referência SiO2, pelo método MCR com hmax=2000nm, foi de
Cf = 0,01359nm/mN. Por conveniência, utilizou-se o valor médio
Cf = (0,01350 ± 0,003985)nm/mN, tabela V.1, relativo aos principais candidatos a
material de referência (SiO2, BK7, N-LAK33 e Safira) para realizar as correções da
profundidade de penetração. Portanto, neste caso, não foram considerados os materiais
Corning 8363 e SF66. Para o equipamento Hysitron/Triboscope, utilizou-se o valor
determinado pelo fabricante, Cf = 0,07nm/mN.
79
Tabela V.1 – Deflexão elástica do equipamento XP/MTS, determinada por meio de seis
materiais candidatos a referência.
Material Iterações Cf
SiO2 2 0,01359
BK7 2 0,01248
N-LAK33 2 0,01876
Safira 2 0,00915
Corning8363 4 0,19229
SF66 7 0,30660
De acordo com Oliver e Pharr (1992), a lei de ajuste que melhor descreve a curva de
remoção da força para a maioria dos materiais existentes é a lei do ajuste de potência,
equação 5.1, conhecida como “Método de Oliver e Pharr”. Este é o método de ajuste
mais amplamente utilizado pelos pesquisadores e usuários da técnica de medição de
dureza e outras propriedades mecânicas de materiais por penetração instrumentada e foi
o mesmo utilizado neste trabalho.
F = K × (h − hc ) m (5.1)
80
Observa-se na tabela V.2, que os valores dos expoentes “m” obtidos experimentalmente
neste trabalho para os materiais SiO2, BK7, N-LAK33 e Safira, se situaram dentro da
faixa de 1,2 a 1,6 citada na literatura (Oliver e Pharrr, 2004). Percebe-se também que a
média dos expoentes obtida para estes quatro materiais foi igual a 1,53 ± 0,13, e que ela
aproximou-se do valor m = 1,5 que é relativo a um parabolóide de revolução,
determinado pela análise teórica de Sneddon, tabela V.3. Os valores obtidos para os
materiais Corning 8363 e SF66 não foram considerados na média por terem atingido
valores bem acima daqueles apresentados na literatura.
Tabela V.2 – Valores médios experimentais das constantes que descrevem os ajustes
potenciais das curvas de remoção de força das amostras utilizadas
(XP/MTS).
Coeficiente de
Material K (mN/nmm) m
correlação - R
SiO2 0,01725 1,38132 0,99968
BK7 0,00891 1,52997 0,99961
N-LAK33 0,01943 1,51245 0,99964
Safira 0,02054 1,69942 0,99965
Corning 8363 0,00502 1,91256 0,99955
SF66 0,00552 1,91965 0,99952
Tabela V.3 – Valores teóricos das constantes dos ajustes potenciais, dados a partir da
análise matemática de Sneddon (Oliver e Pharr, 1992).
Geometria da
ponta do m ε
penetrador
Plana 1 1
Parabolóide 1,5 0,75
Cônica 2 0,72
81
A partir de dedução matemática, é possível chegar às expressões dadas nas equações 5.2
e 5.3 que determinam a geometria teórica do penetrador Berkovich conforme figura 5.6,
considerando-se que os vértices dos três triângulos de um penetrador piramidal de base
triangular se encontram em um único ponto.
Onde:
α - Ângulo entre os eixos da pirâmide triangular e as três faces.
ϕ - Ângulo do vértice da face da pirâmide triangular.
82
⎡ ⎛ tan 30 0 ⎞⎤
ϕ = 2 × ⎢90 − tan −1 ⎜⎜ ⎟⎟⎥ (5.2)
⎣ ⎝ sen α ⎠⎦
2
⎡ ⎤
tan 60 0 ⎢ 2 × hc ⎥
A p (hc ) = ×⎢ ⎥ (5.3)
4 ⎢ ⎛ 0 ϕ ⎞⎥
⎢ cos α × tan⎜⎝ 90 − 2 ⎟⎠ ⎥
⎣ ⎦
A p (hc ) = 24,5 × hc
2
(5.4)
Como já foi dito, a área empírica do penetrador pode ser determinada por dois meios. A
partir da medição indireta, via cálculo experimental de uma função de área, ou a partir
da medição direta na ponta do penetrador, via microscopia de força atômica, conforme
figura 5.8 obtida neste trabalho. Porém, o método direto possui algumas desvantagens
de ordem prática, tais como, inconveniência quanto à preparação e montagem do
penetrador na base do microscópio de força atômica, complexidade no alinhamento
axial da ponta do penetrador com a ponta da sonda do MFA, além de ser mais caro e
dependente da resolução da imagem capturada pelo sistema. Por estes motivos, o
método direto foi realizado apenas a título de exemplo e confirmação das colocações
acima expostas, figuras 5.8 e 5.9.
84
Os demais termos são geralmente úteis na descrição dos desvios gerais da geometria
próxima à ponta do penetrador e permitem alguma flexibilidade no desenvolvimento da
função de área, dependendo no número de termos utilizados. Neste trabalho, foram
utilizadas funções com cinco termos, uma vez que funções de área determinadas com
mais de cinco termos, de nada ou quase nada acrescentaram nas correções pertinentes.
O método utilizado neste trabalho foi o de permitir que todos os parâmetros fossem
ajustados sem restrições quanto a valores positivos ou negativos, sem restringir
inclusive, o termo líder aplicando-se um peso (02) dois. A liberação dos parâmetros e do
termo líder se deveu, principalmente, ao fato de que os ensaios e as respectivas análises
realizadas neste trabalho foram focadas em faixas específicas sem extrapolar as faixas
de profundidade de penetração ensaiadas. O peso dois objetivou dar maior ênfase às
86
A tabela V.4 mostra os resultados das cinco constantes descritas na equação 5.5, obtidas
experimentalmente em seis materiais candidatos a referência, para a função de área do
penetrador Berkovich utilizado no EPI via Nanoindenter XP/MTS. O processo iterativo
utilizado na determinação dos termos da função de área dada na tabela V.4, foi
calculado pelo programa ANALYST (MTS Systems Inc., Oak Ridge, TN, USA), a
partir do método da medição contínua da rigidez, que forneceu dados da rigidez de
contato ao longo de toda a extensão da profundidade de penetração com hmax=2000nm.
Nota-se na tabela V.4 que o segundo termo das funções determinadas pelos materiais
Corning 8363 e SF66 foi negativo, diferentemente dos demais. Isto pode implicar em
distorções na ponta do penetrador descritas por estas funções, inversas às distorções
descritas pelas funções obtidas pelos quatro materiais SiO2, BK7, N-LAK33 e Safira.
De acordo com Oliver e Pharr (2004), este segundo termo descreve um parabolóide de
revolução que se aproxima de uma esfera em pequenas profundidades de penetração,
permitindo supor que as funções obtidas a partir dos materiais Corning 8363 e SF66
descrevem uma ponta de penetrador com geometria mais próxima de uma esfera
invertida em profundidades de penetração muito pequenas.
A figura 5.10 descreve a comparação entre as curvas, Ap(hc) x hc, relativas à área ideal
do penetrador Berkovich, equação 5.4, e a função determinada empiricamente,
tabela V.4 e equação 5.5, utilizando-se o material SiO2. Observa-se no gráfico desta
figura que a curva referente à área do penetrador medido foi superior, mas bem próximo
à área do penetrador ideal em todos os pontos colhidos.
5E7
Curvas da função de área do penetrador Berkovich
Ap(hc) determinada a partir do material SiO2
Ap(hc) ideal - Ap(hc)=24,5hc2
4E7
1E6
Ap (hc) (nm )
Ap(hc) (nm )
2
2
9E5
3E7
6E5
3E5
2E7
0E0
0 50 100 150 200
hc (nm)
1E7
0E0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
h c (nm)
Na figura 5.11 Ap(hc) representa a função de área medida e calculada por meio do
material SiO2. Ap(hc)i representa a função de área ideal para o penetrador Berkovich. A
razão A p (hc ) A p (hc )i representa um meio de correção para os resultados de dureza e
3.50
2.50
Ap(hc)/A p(hc)i
2.00
1.50
1.00
0.50
0.00
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
hc (nm)
ponta maior que a do ideal. Por outro lado os valores inferiores a um, indicam que a
área medida do penetrador é menor que a área do penetrador ideal, o que resulta em
valores menores para dureza, caso nenhuma correção seja aplicada (Fischer-Cripps,
2002). Os valores desta razão próximos a 01 (um) indicam que a geometria real
(medida) do penetrador é próxima à geometria ideal.
F ⎡ A p (hc )i ⎤
H IT = ×⎢ ⎥ (5.6)
A p (hc ) ⎢⎣ A p (hc ) ⎥⎦
dF π ⎡ A p (hc )i ⎤
Er = × ×⎢ ⎥ (5.7)
dh 2 β A p (hc ) ⎢⎣ A p (hc ) ⎦⎥
89
h ≥ 20 × Ra (5.8)
Os valores das rugosidades médias (Ra) de áreas varridas iguais a 100µm2 e dos desvios
médios quadráticos (Rq ou RMS) para os materiais que fizeram parte deste estudo, estão
listados na tabela V.5 com seus respectivos desvios padrão (DP) da média de cinco
imagens capturas via MFA para cada amostra. Nota-se que os valores de Ra para a
maioria dos materiais investigados (SiO2, BK7, N-LAK33 e Safira) foi menor que 1nm.
Isto significa que a rugosidade superficial destes materiais, em profundidade de
penetração a partir de 20nm, não influenciou sobremaneira os resultados do EPI. Por
outro lado para o material Corning 8363, a profundidade de penetração foi afetada pela
rugosidade superficial com incerteza acima de 5% até 50nm, e para o SF66 a
profundidade de penetração foi afetada acima de 5% até 215nm.
De acordo com os dados da figura 5.13, Bolshakov e Pharr (1998) mostraram que a
quantidade do empilhamento ou afundamento superficial depende da razão hp/hmax
relativo ao endurecimento pelo trabalho mecânico. Especificamente, grandes
empilhamentos superficiais ocorrem quando hp/hmax for próximo a 1 e quando o grau de
endurecimento é pequeno. Nota-se que quando hp/hmax < 0,7, pequena quantidade de
empilhamento superficial é percebido independente do grau de endurecimento do
material. Acrescenta-se ainda que mediante a análise da figura 5.13, quando hp/hmax = 0,
pode-se dizer que o empilhamento superficial é puramente elástico.
Nota-se na tabela V.6 que a média da taxa hp/hmax calculada para 25 repetições, para a
maioria dos materiais estudados foi menor que 0,7 conforme exemplos apresentados
para Fmax = 1mN (menor força de medição ensaiada) e para Fmax = 500mN (maior força
de medição ensaiada). Observa-se ainda que os candidatos a materiais de referência que
não foram considerados aptos nas análises anteriores, Corning 8363 e SF66, obtiveram
valores de hp/hmax maiores ou próximos a 0,7, tanto em Fmax = 1mN quanto em
Fmax = 500mN o que pode causar a subestimação da área verdadeira de contato destes
materiais.
Tabela V.6 – Taxas hp/hmax calculadas para os vidros óxidos pesquisados (XP/MTS).
Material Média hp/hmax Desvio Padrão Média hp/hmax Desvio Padrão
Fmax=1mN (%) Fmax=500mN (%)
SiO2 0,30 6,24 0,49 1,70
BK7 0,40 7,36 0,55 1,77
N-LAK33 0,39 7,11 0,60 1,13
Safira 0,43 6,43 0,59 2,17
Corning 8363 0,69 4,05 0,68 1,02
SF66 0,74 3,40 0,73 1,69
A despeito dos resultados da tabela V.6, imagens de MFA mostraram que o material
SiO2, obteve uma porção superficial empilhada, conforme exemplo da figura 5.14 em
Fmax = 500mN, superior aos materiais BK7 e N-LAK33, figuras 5.15 (Fmax = 500mN) e
5.16 (Fmax = 500mN) respectivamente, mesmo tendo hp/hmax menor.
93
F π H
= × 2 (5.10)
S 2
(2β ) E
2
Isto permitiu supor que uma amostra capaz de fornecer valores de F/S2 constantes,
poderia implicar no fornecimento de dados de H e de E também constantes em toda a
extensão de uma determinada faixa estudada, desconsiderando-se as profundidade de
penetração inferiores a algumas centenas de nanometros, conforme exemplo da
figura 5.17 (Oliver e Pharr, 2004).
FIGURA 5.17 - Curva F/S2xh para a sílica fundida, onde se percebe valores constantes
apenas a partir de 500nm de profundidade (Oliver e Pharr, 2004).
Esta consideração possibilitou que fossem feitas suposições e análises dos dados obtidos
experimentalmente neste trabalho, principalmente para a amostra Safira. Na figura 5.18,
vê-se que os valores de F/S2 foram constantes a partir de h ~ 70nm, sugerindo que, este
material, apesar do evidente fenômeno ocorrido no início da curva, também pode ser
considerado um potencial candidato a material de referência para os ensaios de
penetração instrumentada. Devendo, no entanto, descartar completamente a parte inicial
até h ~ 70nm.
96
0.0004
0.0003
0.0002
M N
0.0001
FIGURA 5.18 - Curva experimental F/S2xh para a Safira, onde se percebe valores
constantes a partir de 70nm de profundidade, hmax = 1000nm
(XP/MTS).
A figura 5.19 mostra um exemplo da detecção do ponto inicial para o material BK7
ensaiado pelo método da medição contínua da rigidez (MCR). A análise das curvas Fxh
para todos os materiais estudados mostrou que este fator foi bem determinado pelo
método MCR, onde o ponto inicial detectado (0, 0), figura 5.19, representa o que foi
obtido também para os demais vidros. Por este motivo não foram realizadas correções
relativas a este fator, neste trabalho.
A seguir são mostradas análises realizadas quanto aos resultados do EPI, já com valores
corrigidos de H e de E para as amostras SiO2, BK7 e N-LAK33, utilizando-se os
candidatos a materiais de referência SiO2, BK7 e N-LAK33. As análises dos resultados
da Safira, do Corning 8363 e do SF66 foram feitas separadamente e corrigidos apenas
com os dados fornecidos pelo material SiO2.
As duas primeiras amostras estudadas foram relacionadas aos dois materiais mais
comumente utilizados por fabricantes de equipamentos de penetração instrumentada, a
Sílica Fundida (SiO2) e o Silicato de Boro (BK7). Ambos possuem características
similares quanto às propriedades mecânicas de dureza e de módulo de elasticidade e se
situam na faixa baixa/média do módulo elástico (SiO2 – 72GPa e BK7 – 82GPa). Além
disso, exibem baixos coeficientes de expansão térmica, alta homogeneidade superficial
e baixo percentual de bolhas e inclusões com densidade de 2,20g/cm3 para o SiO2 e
2,51g/cm3 para o BK7.
A figura 5.20 mostra uma curva típica Fxh da amostra do sólido amorfo SiO2
(EscoProducts Inc., Oak Rigde, NJ, USA), obtida no ensaio de penetração
instrumentada com controle de força com Fmax = 100mN.
99
100
Curva Fxh
Amostra SiO2
80
F(mN)
60
40
20
0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
h(nm)
FIGURA 5.20 – Curva Fxh da amostra SiO2, Fmax = 100mN (XP/MTS).
A tabela V.7 mostra que os valores da dureza e do módulo elástico da amostra SiO2
fornecidos pelo fabricante deste material (9,2GPa e 72GPa) se situaram dentro ou bem
próximos dos resultados obtidos neste trabalho, com seus respectivos desvios padrão
(DP), considerando-se a correção da área do penetrador e a deflexão do equipamento
por meio de três materiais candidatos a referência para o EPI (SiO2, BK7 e N-LAK33) e
da função de área fornecida pelo fabricante do equipamento XP/MTS (b2041). Foram
realizadas 25 repetições para cada ensaio utilizando-se o equipamento XP/MTS pelo
método da medição contínua da rigidez com hmax = 2000nm (F ~ 500mN).
100
As figuras 5.21 e 5.22, por outro lado, mostram valores mais altos de dureza e de
módulo elástico no início das curvas, Hxh e Exh, respectivamente, em h até
aproximadamente igual a 500nm. A explicação para isso pode estar na influência do
tamanho da impressão devido aos fatores geométricos das discordâncias em baixas
profundidades de penetração (Swadener et at., 2002) e/ou devido a grande faixa de
deslocamento considerada na determinação da função de área (0 a 2000)nm aliada à
forma geométrica do penetrador em baixas profundidades de penetração considerada
durante a determinação da função que descreve sua ponta (Oliver e Pharr, 2004).
Seguindo os preceitos de Oliver e Pharr (2004), na calibração da função de área em
largas faixas de deslocamento, um procedimento interessante pode ser o de dividir a
faixa em duas, focando, em um primeiro estágio na pequena faixa aonde a geometria da
ponta é mais complexa, por exemplo, h ~ 500nm para o material SiO2, e em seguida
calibrar o restante da faixa, ou seja, de 500nm a 2000nm.
101
11.0
Curvas Hxh - amostra SiO2
Função de área via SiO2
10.5 Função de área via BK7
Função de área via N-LAK33
Função de área original MTS
10.0
H(GPa)
9,2GPa
9.5
9.0
9,13GPa
8.5
8.0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
FIGURA 5.21 – Curva Hxh da amostra SiO2, considerando-se três candidatos a material
de referência (SiO2, BK7, N-LAK33) e a função de área original do
fabricante, hmax = 2000nm (XP/MTS).
85.0
Curvas Exh - amostra SiO2
Função de área via SiO2
Função de área via BK7
Função de área via N-LAK33
80.0
Função de área original MTS
E(GPa)
75.0
72GPa
70.0
71,51GPa
65.0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
FIGURA 5.22 – Curva Exh da amostra SiO2, considerando-se três candidatos a material
de referência (SiO2, BK7 e N-LAK33) e a função de área original do
fabricante, hmax = 2000nm (XP/MTS).
102
A figura 5.23 mostra a imagem morfológica de uma impressão realizada por controle de
força, Fmax = 100mN (h ~ 900nm), em uma amostra SiO2, capturada via microscopia de
força atômica (Dimension 3000, Digital Instruments, Santa Barbara, CA, USA). Na
imagem à esquerda nota-se a partir da curvatura nos três lados da impressão que,
durante a remoção da força, os lados da impressão recuperaram-se elasticamente mais
que os vértices, conforme também observado na imagem à direita.
103
A figura 5.24 mostra uma curva típica Fxh da amostra BK7 (EscoProducts Inc., Oak
Rigde, NJ, USA), obtida no ensaio de penetração instrumentada com controle de força
com Fmax = 100mN.
100
Curva Fxh
Amostra BK7
80
F(mN)
60
40
20
0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
h(nm)
FIGURA 5.24 – Curva Fxh da amostra BK7, Fmax = 100mN (XP/MTS).
104
8.50
Curvas Hxh - amostra BK7
Função de área via SiO2
Função de área via BK7
Função de área via N-LAK33
8.00 Função de área original MTS 7,65GPa
H(GPa)
7.50
7.00
6,9GPa
6.50
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
FIGURA 5.25 – Curva Hxh da amostra BK7, considerando-se três candidatos a material
de referência (SiO2, N-LAK33 e BK7) e a função de área original do
fabricante, hmax = 2000nm (XP/MTS).
95
85
82GPa
80
81,72GPa
75
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
FIGURA 5.26 – Curva Exh da amostra BK7, considerando-se três candidatos a material
de referência (SiO2, N-LAK33 e BK7) e a função de área original do
fabricante, hmax = 2000nm (XP/MTS).
106
A pequena inclinação percebida no início das curvas Hxh e Exh, figuras 5.25 e 5.26, foi
maior devido ao cálculo realizado por meio da função de área dada pelo fabricante do
equipamento XP/MTS, 17,4% para o H e 6,2% para o E, e 11,6% para o H e de apenas
1,5% para o E quando considerado os dados fornecidos a partir da calibração de Ap(hc)
por meio do candidato a material de referência N-LAK33, tabela V.10. No entanto, as
diferenças obtidas para os valores de dureza, apesar de distante do valor nominal
fornecido pelo fabricante, foram similares ao erro final alcançado no ensaio do presente
trabalho com DP ~ 13%. Ou seja, a maior diferença dada pela inclinação no início da
curva Hxh em relação ao resultado final obtido foi de apenas 2,1%.
A figura 5.27 mostra a imagem morfológica de uma impressão realizada com controle
de força, Fmax = 100mN (h ~ 900nm), em uma amostra BK7, capturada via microscopia
de força atômica. O aspecto morfológico é similar ao da imagem capturada para a
amostra SiO2, figura 5.23, com relação aos três lados curvos da impressão sugerindo
também que durante a remoção da força, os lados da impressão se recuperaram mais
elasticamente que os vértices, porém sem a forte evidência percebida no SiO2.
FIGURA 5.28 – Imagens MFA a partir da deflexão da sonda - SiO2 (esquerda) e BK7
(direita) – método de ensaio MCR, hmax = 2000nm (F ~ 500mN)
(XP/MTS). Varredura = 20µmx20µm, escala em Z = 0,5V.
FIGURA 5.29 - Imagens topográficas, via MFA, - SiO2 (esquerda) e BK7 (direita) –
método de ensaio MCR, hmax = 2000nm (F ~ 500mN) (XP/MTS).
Varredura = 20µmx20µm, escala em Z = 2000nm.
109
O vidro N-LAK33 (Shcott Glaswerke, Mainz, Germany), que tem densidade média
(4,26g/cm3), se comparado aos demais materiais pertencentes ao escopo deste trabalho,
possui valor médio quanto ao módulo de elasticidade (124GPa), além de ser um
material com pouca sensibilidade ao risco. Fato este, comprovado durante a preparação
das amostras quando foi mais fácil obter-se uma superfície com acabamento em nível
nanométrico no N-LAK33, tabela V.5, do que o nas amostras Corning 8363 e SF66
submetidas a mesma preparação padrão para vidros óxidos, Anexo A.
A figura 5.30 mostra uma curva típica Fxh da amostra N-LAK33, obtida no ensaio de
penetração instrumentada com controle de força, Fmax = 100mN.
100
Curva Fxh
Amostra N-LAK33
80
F(mN)
60
40
20
0
0 100 200 300 400 500 600 700 800
h(nm)
FIGURA 5.30 – Curva Fxh da amostra N-LAK33, Fmax = 100mN (XP/MTS).
110
Comportamento similar ao obtido nas SiO2 e BK7 foi também observado na amostra N-
LAK33. A tabela V.11 mostra que os valores de dureza e de módulo elástico, fornecidos
pelo fabricante do material, 9,8GPa e 124GPa respectivamente, se situaram dentro ou
bem próximos dos resultados obtidos neste estudo. Os ensaios também foram realizados
pelo equipamento XP/MTS utilizando-se o mesmo método da medição contínua da
rigidez com hmax = 2000nm.
As figuras 5.31 e 5.32 mostram que os valores mais altos de dureza e de módulo elástico
no início das curvas Hxh e Exh, em h até aproximadamente 800nm podem também ter
sofrido influência dos fatores já citados: influência do tamanho da impressão e/ou
grande faixa de deslocamento considerada aliada à geometria da ponta do penetrador
considerada na determinação da função de área.
Observa-se nos gráficos das figuras 5.31 e 5.32 que os candidatos a material de
referência, SiO2, BK7 e N-LAK33, forneceram bons resultados de H e de E para a
amostra N-LAK33. Entretanto, nota-se que a amostra N-LAK33 parece ter sofrido
maior influência dos fenômenos já mencionados que as demais (SiO2 e BK7).
111
12.0
Curvas Hxh - amostra N-LAK33
Função de área via SiO2
11.5
Função de área via BK7
Função de área via N-LAK33
Função de área original MTS
11.0
H(GPa)
10.5
9,86GPa
10.0
9.5
9,8GPa
9.0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
145
Curvas Exh - amostra N-LAK33
Função de área via SiO2
140
Função de área via BK7
Função de área via N-LAK33
Função de área original MTS
135
E(GPa)
130 124,25GPa
125
120
124GPa
115
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
A maior diferença para o H e o E, tabela V.12, no início das curvas, figuras 5.31 e 5.32,
foi relativa também ao cálculo realizado por meio da função de área dada pelo
fabricante do equipamento XP/MTS, 11,1% para o H e 11,5% para o E.
Observa-se na tabela V.12 que os dados fornecidos a partir da calibração de Ap(hc) por
meio do candidato a material de referência N-LAK33, forneceu a menor diferença para
o H e para o E, 4,1% e 5,2% respectivamente, comparado-se com os valores nominais
fornecidos pelo fabricante, que os demais materiais.
Também, neste caso, pode-se perceber que a metodologia utilizada neste trabalho para
determinação da função de área do penetrador para os materiais de referência (SiO2 e
BK7 e N-LAK33) parece ter proporcionado curvas mais planas que as determinadas e
fornecidas pelo fabricante MTS (círculo azul), figuras 5.31 e 5.32.
A figura 5.33 mostra a imagem morfológica de uma impressão realizada com controle
de força, Fmax = 100mN (h ~ 900nm), em uma amostra de N-LAK33, capturada por
microscopia de força atômica.
113
Uma análise geral quanto ao estudo do N-LAK33 mostrou que ele apresentou um bom
comportamento em relação à maioria dos critérios necessários para um material de
referência a ser certificado para o ensaio de penetração instrumentada (EPI), ou seja:
Além disso, a amostra N-LAK33 juntamente com o SiO2 e o BK7 forneceu a função
que melhor descreveu os desvios geométricos da ponta do penetrador, bem como
valores mais homogêneos de dureza e de módulo elástico se comparado com os demais
materiais estudados, como se verá a seguir, fornecendo conseqüentemente dados mais
confiáveis.
Nas figuras 5.35 e 5.36 podem-se ver imagens de MFA onde desde baixas forças,
Fmax = 20mN (h ~ 400nm) até forças mais altas, Fmax = 200mN (h ~ 1300nm), a
morfologia das impressões no N-LAK33 foi homogênea, sem trincas, empilhamentos
superficiais aparentes ou outro aspecto que pudesse influenciar na determinação de H e
de E.
115
O valor nominal de dureza foi fornecido pelo fabricante. O valor de nominal do módulo
elástico por penetração, 425GPa, considerado neste estudo, foi estabelecido a partir da
média da faixa 412GPa a 438GPa determinada por Swadener e Pharr (1999), para a
Safira monocristalina com qualquer orientação cristalográfica.
Como se pode ver na figura 5.37, eventos conhecidos como “pop-in”, provavelmente
devido a trinca, ocorreram em torno de F ~ 3mN (h ~ 50nm a 70nm). É interessante
observar que antes desses eventos, o material se comportou quase que totalmente
elástico, figura 5.38.
10
Fmax=10mN em 5 passos
Amostra Safira
6
F(mN)
2
Trinca
0
0 20 40 60 80 100 120 140
h(nm)
2.00
Fmax=2mN
Safira
1.50
F(mN)
1.00
0.50
0.00
0 10 20 30 40 50
h(nm)
Adicionalmente aos resultados obtidos com controle de força, com Fmax = 2mN e
Fmax = 10mN, ensaios com Fmax = 3mN também foram realizados, pois, nesta faixa ora a
trinca se iniciou antes, ora depois, figura 5.39. Percebe-se, por exemplo, que a curva b
desta figura foi típica de um ensaio com trinca. Já na curva a esta trinca não foi
percebida. A tabela V.13 mostra os valores de H e de E correspondentes às curvas a e b
da figura 5.39.
118
3.0
Fmax=3mN - Safira
Curve a
2.5 Curve b
2.0 Trinca
F(mN)
1.5
1.0
0.5
0.0
0 10 20 30 40 50 60
h(nm)
A figura 5.40 mostra em destaque novamente o evento que ocorreu em todos os ensaios
da amostra Safira acima de F ~ 3mN (h ~ 50nm a 70nm), provocando um deslocamento
instantâneo em um curtíssimo intervalo de tempo, conforme se vê no gráfico hxt,
figura 5.41.
119
5
Fmax=5mN
Safira
3
F(mN)
Trinca
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
h(nm)
100
Fmax=5mN
90
Safira
80
70
h(nm)
60
50 Trinca
40
30
20
10
0
0 3 6 9 12 15
t(s)
FIGURA 5.41 – Evento ocorrido durante o ensaio na amostra Safira, a partir de uma
deformação instantânea, provavelmente devido a ocorrência de trincas
entre h ~ 50nm e 70nm, Fmax = 5mN (XP/MTS).
120
A título de ilustração foram realizados ensaios em outro material, desta vez em Silício
monocristalino. Este material é um exemplo interessante de se mostrar, pois, é possível
também visualizar com clareza eventos de ocorrência instantânea na curva Fxh durante
o ensaio de penetração instrumentada. Entretanto a diferença com a Safira é que este
evento é do tipo “pop-out”, durante a remoção da força. A causa deste evento
normalmente é devido à uma mudança de fase induzida pela pressão relativa à
recuperação elástica, e não devido a ocorrência de uma trinca, figura 5.42.
100
Fmax=100mN
Silicio monocristalino
80
F(mN)
60
40
Mudança de fase
20
0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
h(nm)
FIGURA 5.42– Curva Fxh do Silício, mostrando a mudança de fase durante a remoção
da força entre h ~ 630nm e 680nm, Fmax = 100mN (Shimadzu DUH-
W201S).
5000
Fmax=5000 microN
Safira
4000
Trinca
F(µN)
3000
2000
1000
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
h(nm)
FIGURA 5.43 – Gráfico do EPI, com 5 passos de força, mostrando a trinca “pop-in”
gerada na Safira em F ~ 3000µN (h ~ 50nm a 70nm), Fmax = 5000µN
(Hysitron/Triboscope).
Apesar do evento mostrado na figura 5.44, no geral, a Safira, ensaiada via medição
contínua da rigidez com hmax = 1000nm, comportou-se de modo homogêneo após o
surgimento da trinca, figuras 5.45 e 5.46. Além disso, similarmente às análises
anteriores, pode-se perceber que, se a porção inicial da curva até h ~ 70nm for
descartada, haverá também um declínio da curva, provavelmente devido também aos
fenômenos já citados, relativos ao ETI e/ou às considerações feitas para a determinação
da função que descreve a geometria do penetrador.
70
Curvas Hxh - amostra Safira
Função de área via SiO2
60
50
H(GPa)
40
27,05GPa
30
20
25GPa
10
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
h(nm)
650
Curva Exh - amostra Safira
600 Função de área via SiO2
550
500
457,01GPa
E(GPa)
450
400
425GPa
350
300
250
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
h(nm)
Importante citar que, a Safira, o Corning 8363 e o SF66 só foram analisados com o
material candidato à referência SiO2. Entretanto, pode-se pressupor que os demais
materiais (BK7 e N-LAK33) exerceriam influência semelhante ao SiO2 em termos do
desempenho do sistema de medição de dureza e de módulo elástico para as amostras
Safira, Corning 8363 e SF66, pois, os materiais anteriormente estudados (SiO2, BK7 e
N-LAK33), apresentaram comportamentos de materiais homogêneos e com bastante
semelhança entre eles, principalmente na determinação da função de área e da deflexão
elástica da estrutura do equipamento.
O Corning 8363 é um vidro ótico e é considerado um vidro extra denso (Haller, 2004).
O estudo da amostra Corning 8363 teve como propósito a avaliação de um material com
baixos valores de dureza e de módulo de elasticidade. Sua curva típica Fxh é dada na
figura 5.47 ensaiada com controle de força com Fmax = 20mN.
20
Curva Fxh
Amostra Corning8363
15
F(mN)
10
0
0 100 200 300 400 500 600
h(nm)
FIGURA 5.47 – Curva Fxh da amostra Corning 8363, Fmax = 20mN (XP/MTS).
125
As análises dos ensaios da amostra Corning 8363 mostraram que, mesmo tendo baixa
rugosidade superficial (Ra = 2,50nm), tabela V.5, ocorreu um empilhamento indesejável
nas bordas da superfície da impressão, desde a aplicação de forças muito baixas,
Fmax = 1mN (h ~ 150nm), figura 5.48.
Além do empilhamento superficial, a amostra Corning 8363 forneceu curvas Hxh e Exh
com comportamento diferente daquele esperado para materiais candidatos à referência
para o ensaio de penetração instrumentada utilizando o equipamento XP/MTS com o
método da medição contínua da rigidez (MCR) com hmax = 2000nm. Sua característica
foi de curvas Hxh e Exh crescentes à medida que a profundidade de penetração
aumentava até chegar a um patamar de 900nm para a dureza, obtendo, por exemplo, um
desvio padrão em relação ao valor determinado neste estudo de 41% em h = 200nm,
figura 5.49, e um patamar de 300nm para o módulo de elasticidade, figura 5.50.
126
5
3,84GPa
3
H(GPa)
3,5GPa
0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
70
55,55GPa
60
50
E(GPa)
40 51GPa
30
20
Curva Exh - amostra Corning 8363
10 Função de área via SiO2
0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
Além disso, Swadener e Pharr (2002) disseram que em um EPI com penetradores
piramidais, a dureza medida usualmente diminui com o aumento da profundidade de
penetração devido ao efeito do tamanho da impressão. No entanto, os resultados finais
de dureza e de módulo elástico foram próximos dos valores nominais fornecidos pelo
fabricante, 3,5GPa e 51GPa respectivamente, tabela V.15.
Adicionalmente aos cinco primeiros vidros óxidos estudados, um outro foi adicionado
na pesquisa, o silicato de vidro SF66 (Schott Glaswerke, Mainz, Germany), que possui
alta densidade (6,03g/cm3) e baixa dureza e módulo elástico, 3,5GPa e 51GPa,
respectivamente. Sua curva Fxh típica é mostrada na figura 5.51, ensaiada com controle
de força com Fmax = 20mN.
128
20
Curva Fxh
Amostra SF66
15
F(mN)
10
0
0 100 200 300 400 500 600
h(nm)
FIGURA 5.51 – Curva Fxh da amostra SF66, Fmax = 20mN (XP/MTS).
A curva das figuras 5.52 e 5.53 mostram que a amostra SF66 se comportou de forma
semelhante ao material Corning 8363, ou seja, um crescimento não esperado no início
da curva Hxh até h ~ 1200nm, obtendo, por exemplo, um desvio padrão em relação ao
valor determinado neste estudo de 70% em h = 200nm, e da curva Exh até h ~ 500nm ao
invés da esperada curva plana ou decrescente para os materiais onde o efeito do
tamanho da impressão (ETI), é percebido com maior facilidade. É possível inferir que,
para ambos os casos, os vidros óxidos de alta porosidade e baixo módulo de elasticidade
(Corning 8363 e SF66) não forneceram bons dados relativos ao desempenho do
equipamento na determinação das propriedades mecânicas H e E quando da análise dos
resultados na faixa nanométrica e início da faixa micrométrica.
129
5
3,62GPa
3
HGPa)
3,5GPa
0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
70
56,60GPa
60
50
E(GPa)
40 51GPa
30
20
Curva Exh - amostra SF66
10 Função de área via SiO2
0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
h(nm)
Como não houve tempo hábil para se realizar todas as considerações pretendidas no
Laboratório de Propriedades Nanomecânicas do National Institute of Standards and
Technology (NIST/USA), utilizando-se o software TestWorks4 (TW4), dedicado ao
equipamento Nanoindenter XP/MTS, em conjunto com o Software ANALYST, as
análises das amostras Safira, SF66 e Corning 8363 só foram calculadas com a função de
área determinada pelo material de referência SiO2 e não pelos materiais N-LAK33,
BK7, Safira, SF66 e Corning 8363. O mesmo se diz das amostras SiO2, N-LAK33 e
BK7 que só foram calculadas considerando-se os materiais de referência SiO2, N-
LAK33 e BK7 e não pelos materiais Safira, SF66 e Corning 8363.
diferente do DUREZA que não aplica nenhum peso. Ou seja, o programa DUREZA
dessa maneira, diz que a função de área é geral e, portanto, não dá ênfase ou peso em
nenhuma parte da curva 1 A p (hc ) xhc obtida.
Os gráficos das figuras 5.56 e 5.57 mostram uma comparação entre os resultados
obtidos para a dureza e o módulo de elasticidade, respectivamente, por ambos
programas, considerando-se a mesma função de área referente aos três materiais (SiO2,
N-LAK33 e BK7). Pode-se perceber, no entanto que, a tendência que se observou com a
inclinação das curvas obtidas com o DUREZA foi a mesma do ANALYST-TW4.
15
Amostra N-LAK33 - ANALYST-TW4 Amostra N-LAK33 - DUREZA
Função de área via SiO2 Correção da área via SiO2
Função de área via BK7 Correção da área via BK7
Função de área via N-LAK33 Correção da área via N-LAK33
13
H(GPa)
11
10,25GPa
9,86GPa
9,8GPa
9
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500
F(mN)
195
Amostra N-LAK33 - ANALYST-TW4 Amostra N-LAK33 - DUREZA
185 Função de área via SiO2 Correção da área via SiO2
Função de área via BK7 Correção da área via BK7
Função de área via N-LAK33 Correção da área via N-LAK33
175
165
E(GPa)
155
145
143,06GPa
135
124,25GPa
125
124GPa
115
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500
F(mN)
Percebe-se nos gráficos das figuras 5.58 e 5.59, que a despeitos das diferenças entre os
programas, os materiais candidatos à referência SiO2, BK7, N-LAK33 e Safira
forneceram curvas Hxh e Exh semelhantes entre si. Já a função de área fornecida pelos
materiais candidatos à referência Corning 8363 (estrela cinza) e SF66 (hexágono azul)
forneceram curvas bem acima dos quatro materiais anteriormente citados, e bem
distante dos valores nominais fornecidos, inclusive acima dos valores apresentados sem
correção relativa à função de área ideal para o penetrador Berkovich (asterisco verde),
principalmente os valores corrigidos pelo material SF66.
136
140
Curva Hxh - Amostra BK7
Penetrador ideal
120 Função de área via SiO2
Função de área via BK7
Função de área via N-LAK33
100
Função de área via Safira
H(GPa)
60
40
20
6,9GPa
0
0 500 1000 1500 2000 2500
h(nm)
FIGURA 5.58 – Curva Hxh a partir do EPI usando o equipamento XP/MTS na amostra
BK7 (hmax = 2000nm), determinada por meio do programa DUREZA,
sem correção (penetrador ideal) e com a função de área dos seis
materiais candidatos à referência determinada pelo programa
ANALYST-TW4.
137
500
Curva Exh - Amostra BK7
450 Penetrador ideal
Função de área via SiO2
400 Função de área via BK7
Função de área via N-LAK33
Função de área via Safira
350
Função de área via Corning8363
E(GPa)
250
200
150
100 82GPa
50
0 400 800 1200 1600 2000
h(nm)
FIGURA 5.59 – Curva Exh a partir do EPI usando o equipamento XP/MTS na amostra
BK7 (hmax = 2000nm), determinada por meio do programa DUREZA,
sem correção (penetrador ideal) e com a função de área dos seis
materiais candidatos à referência determinada pelo programa
ANALYST-TW4.
As figuras 5.58 e 5.59 mostram, portanto, exemplos relativos aos ensaios de penetração
instrumentada realizados na amostra BK7, via equipamento XP/MTS, com função de
área determinada via ANALYST-TW4, mas com gráfico construído via DUREZA. Vale
ressaltar que a estrutura dos gráficos para as outras cinco amostras estudadas seguiu a
mesma filosofia destes dois gráficos apresentados.
utilização dos dados fornecidos pelo material SF66. Entretanto, percebe-se que a curva
da figura 5.60, com correções feitas pelos materiais SiO2 e N-LAK33, apesar da
diferença dos valores absolutos em relação aos valores nominais, seguiram a mesma
tendência dos casos anteriores. Ou seja, boa linearidade das curvas via SiO2 e N-
LAK33, diferentemente do penetrador ideal (asterisco verde), sendo que os valores
corrigidos pelo N-LAK33 (quadrado amarelo) foram ligeiramente menores.
95
Curva: No de pontos x E - amostra SiO2
90 Penetrador ideal
Função de área via SiO2
Função de área via N-LAK33
85
80
E(GPa)
75 72GPa
70
65
60
55
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120
No(un)
FIGURA 5.60 – Curva do número de pontos medidos (No(un)) versus módulo elástico,
a partir do EPI usando o equipamento DUH-W201S na amostra SiO2
(Fmax = 500mN), sem correção (penetrador ideal), com correção via
SiO2 e via N-LAK33, por meio do programa DUREZA.
139
A tabela V.19 apresenta os principais critérios que são necessários para a escolha de um
material para ser um potencial candidato a padrão de referência a ser certificado para as
medidas de penetração instrumentada nas faixas micro e nanométricas. Nesta tabela
estão relacionados também os materiais utilizados neste estudo e suas respectivas
análises quanto ao enquadramento em cada critério.
Tabela V.19 – Critérios para escolha dos materiais a serem candidatos a padrão de
referência para o EPI e o respectivo enquadramento das amostras
utilizadas neste estudo.
Critérios para SiO2 BK7 N-LAK33 Safira Corning8363 SF66
um MRC Sim Não Sim Não Sim Não Sim Não Sim Não Sim Não
Propriedades
superficiais X X X X X X
homogêneas
Propriedades
mecânicas X X X X X X
conhecidas
Propriedades
superficiais e
de volume X X X X X X
similares
Isotrópico X X X X X X
Baixíssima
rugosidade X X X X X X
Sem oxidação X X X X X X
Sem
dependência do X X X X X X
tempo
Empilhamento
superficial X X X X X X
hp/hmax<0,7
Calibração de
Ap(hc) X X X X X X
Calibração de
Cf X X X X X X
140
CAPÍTULO 6: CONCLUSÕES
Possivelmente, uma outra faixa de calibração deve ser estabelecida, para fornecer
valores de H e de E homogêneos e com valores ainda mais exatos de Cf e de Ap(hc), ou
seja, toda a faixa nanométrica e início da micrométrica. Esta nova faixa deve requerer
uma atenção ainda maior, pois, nela encontra-se os maiores desvios geométricos do
penetrador com os conseqüentes erros na consideração da função que descreve sua
ponta, além das maiores influências do tamanho da impressão e do acabamento
superficial das amostras.
Também para a Safira, o ciclo de ensaio que forneceu melhores resultados foi o
15s/5s/5s, independente do equipamento utilizado. Analogamente aos comentários sobre
o SiO2 e o BK7, a Safira também se mostrou homogênea. Contudo, é necessário
estabelecer valores mínimos e máximos de F e h. Os valores mínimos devem ser
descartados por apresentarem abrupta variação no início das curvas Fxh, enquanto os
valores finais devem ser desconsiderados com o aparecimento de trincas capazes de
afetar a homogeneidade do ensaio. Os resultados obtidos para a Safira foram sempre
maiores que o valor médio dado na literatura para a dureza e o módulo de elasticidade,
mas, outras considerações devem ser feitas, principalmente levando-se em conta que a
influência da orientação cristalográfica não foi considerada.
Apesar do evento entre 50nm e 70nm, a amostra Safira comportou-se, no geral, como
um bom candidato a material de referência. Ou seja, a partir da análise da curva F/S2, e
após o evento da trinca, o material comportou-se homogeneamente com curvas planas
em todo o intervalo do deslocamento ensaiado.
A mesma conclusão pode ser dada com relação à determinação da constante empírica m,
que descreve os desvios da geometria da ponta do penetrador. Enquanto os valores
determinados pelos materiais SiO2, BK7, N-LAK33 e Safira se situaram dentro da faixa
de 1,2 a 1,6 citada na literatura (Oliver e Pharr, 2004), o valor de m determinado tanto
pela amostra Corning 8363 quanto pela amostra SF66 foi igual a 1,9.
Alem disso, as funções de área determinadas a partir dos materiais Corning 8363 e
SF66, se mostraram com características diferentes das funções obtidas por meio dos
materiais SiO2, BK7, N-LAK33 e Safira. A maior diferença foi obtida pela amostra
SF66, principalmente em relação ao termo líder e ao valor negativo no segundo termo
da equação. Este último fato pode implicar em uma função que descreve uma ponta de
penetrador com a geometria mais próxima de uma esfera invertida em pequenas
profundidades de penetração.
Foram detectados empilhamentos superficiais nos materiais Corning 8363 e SF66, tanto
a partir de imagens capturadas via MFA quanto a partir da análise da razão hp/hmax,
desde a aplicação de forças tão baixas quanto 1mN. A ocorrência deste fenômeno pode
ser prejudicial à determinação correta dos valores de H e de E.
A conclusão final é que os materiais SiO2, BK7, N-LAK33 e Safira, cada um com sua
dureza e seu módulo elástico específico, ~ 9,2GPa, ~ 7,6GPa, ~ 9,8GPa e ~ 27GPa e,
~ 72GPa, ~ 82GPa, ~ 124GPa e ~ 457GPa respectivamente, são fortes candidatos a
materiais de referência a serem certificados para os ensaios de penetração instrumentada
143
nas faixas micro e nanométrica. Isso se deve inicialmente à estabilidade destes materiais
quanto a vários critérios necessários para um bom material de referência na
determinação da dureza e do módulo de elasticidade, e na calibração da função de área
do penetrador e da deflexão elástica da estrutura do equipamento. Entretanto, faz-se
necessário um estudo adicional e mais aprofundado sobre a influência do início das
trincas e dos empilhamentos superficiais nestes materiais e dos respectivos valores
alcançados antes e após a ocorrência de tais eventos.
Evidentemente, para que estes materiais sejam estabelecidos como MRC, é necessário a
realização de ensaios fundamentados nas conclusões deste trabalho e a validação
internacional pelos potenciais usuários, no sentido de qualificá-los para tal propósito, a
partir de um mesmo procedimento para a calibração de Cf e de Ap(hc) e para a
verificação do desempenho dos equipamentos de penetração instrumentada nas faixas
micro e nanométricas.
144
Mapeamento dos principais fatores que podem afetar a exatidão dos resultados das
propriedades mecânicas determinadas pelo ensaio de penetração instrumentada nas
faixas micro e nanométricas.
REFERÊNCIAS BIBLIOGRÁFICAS
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TABOR, D. The Hardness of Metals. 1.ed. Oxford University Press: Oxford, UK, 1951,
175p.
155
O acabamento final das superfícies das amostras N-LAK33, Corning 8363 e SF66 foi
realizado pelo técnico John Fuller da oficina ótica do Nist “Nist Optical Shop”,
seguindo o seguinte procedimento: