Alvaro Navarro Tobar

Universidad Politcnica De Madrid
Escuela Tcnica Superior de Ingenieros de

Telecomunicacin
CONTRIBUCIN AL DESARROLLO Y
CARACTERIZACIN DE FOTODETECTORES
AVANZADOS BASADOS EN NITRUROS DEL
GRUPO III
TESIS DOCTORAL
lvaro Navarro Tobar

Ingeniero de Telecomunicacin
2011
Departamento de Ingeniera Electrnica

Escuela Tcnica Superior de Ingenieros de
Telecomunicacin
CONTRIBUCIN AL DESARROLLO Y
CARACTERIZACIN DE FOTODETECTORES
AVANZADOS BASADOS EN NITRUROS DEL
GRUPO III
Autor:
lvaro Navarro Tobar

Ingeniero de Telecomunicacin
Director:
Elas Muoz Merino

Doctor Ingeniero de Telecomunicacin
Catedrtico de Universidad
2011
TESIS DOCTORAL
CONTRIBUCIN AL DESARROLLO Y CARACTERIZACIN DE

FOTODETECTORES AVANZADOS BASADOS EN NITRUROS
DEL GRUPO III
AUTOR:
DIRECTOR:
lvaro Navarro Tobar

Elas Muoz Merino
Tribunal nombrado por el Excelentsimo Seor Rector Magnfico de la Univerde

de 2011.
sidad Politcnica de Madrid, el da
PRESIDENTE:
SECRETARIO:
VOCAL:
VOCAL:
VOCAL:
Realizado el acto de defensa y lectura de Tesis el da

de
en la Escuela Tcnica Superior de Ingenieros de Telecomunicacin.
de 2011
Calificacin:
EL PRESIDENTE
VOCAL
EL SECRETARIO
VOCAL
VOCAL
A Ins, Diego, y los que, espero, vendrn;

ellos son el proyecto ms importante de mi vida.
ndice general
Agradecimientos
xiii
Resumen
xv
Abstract
xvii
Glosario
xix
1. Introduccin
1.1. Estado de la tcnica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.1.1. Los nitruros y sus aplicaciones . . . . . . . . . . .
1.1.2. La deteccin de luz con nitruros del grupo III . .
1.2. Demanda de aplicaciones . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.3. Objetivos y estructura de la tesis . . . . . . . . . . . . .
1.3.1. Caracterizacin en temperatura . . . . . . . . . .
1.3.2. Dispositivos sensibles a la polarizacin . . . . . .
1.3.3. Aplicacin en sistemas de medida de fluorescencia
.
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2. Estudio de fotodetectores en alta temperatura

2.1. Introduccin . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.1. La Detectividad especfica D . . . . . . . . . . . .
2.2. Tcnicas experimentales . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.1. Crecimiento y fabricacin de los fotodetectores . . .
2.2.2. Caracterizacin de fotodetectores . . . . . . . . . .
2.2.3. Caracterizacin del ruido de baja frecuencia . . . .
2.2.4. Medida del ruido en modo fotovoltaico en muestras
impedancia . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.5. Sistema de medida en alta temperatura . . . . . . .
ix
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1
1
1
3
6
8
8
9
10
13
13
15
17
18
20
21
. . . . .
. . . . .
. . . . .
. . . . .
. . . . .
. . . . .
de alta
. . . . . 26
. . . . . 27
2.3.
2.4.
2.5.
2.6.
2.7.
2.8.
2.9.
2.2.6. Sistema de medida del ruido RTS . . . . . . . . . . . . . . .

Fotodiodos de silicio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3.1. Motivacin del estudio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3.2. Estudio terico . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3.3. Caracterizacin . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Fotodiodos p-i-n de GaN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Fotodiodos p-i-n de InGaN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Fotodiodos p-i-n de MQW de InGaN/GaN . . . . . . . . . . . . . .
2.6.1. Estudio del ruido de baja frecuencia . . . . . . . . . . . . . .
2.6.2. Figuras de mrito en alta temperatura . . . . . . . . . . . .
2.6.3. Detectores p-i-n con MQW optimizados . . . . . . . . . . . .
Comparacin de los distintos dispositivos . . . . . . . . . . . . . . .
Otros experimentos realizados con estos dispositivos . . . . . . . . .
2.8.1. Medidas de velocidad de respuesta sobre fotodetectores p-i-n
de MQW de InGaN/GaN . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.8.2. Fotocorriente bajo polarizacin inversa . . . . . . . . . . . .
2.8.3. Avalancha . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Resumen y conclusiones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3. Fotodetectores sensibles a la polarizacin

3.1. Introduccin . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.2. Tcnicas experimentales . . . . . . . . . .
3.3. Caracterizacin del material . . . . . . . .
3.4. Fabricacin de los dispositivos . . . . . . .
3.5. Caracterizacin elctrica . . . . . . . . . .
3.6. Caracterizacin optoelectrnica . . . . . .
3.7. Estudio de redes de difraccin metlicas .
3.7.1. Introduccin . . . . . . . . . . . . .
3.7.2. Desarrollo de las pruebas . . . . . .
3.8. Resumen y conclusiones . . . . . . . . . .
4. Aplicacin en sistemas de luminiscencia
4.1. Introduccin . . . . . . . . . . . . . . . .
4.2. Tcnicas experimentales . . . . . . . . .
4.2.1. TC-SPC . . . . . . . . . . . . . .
4.2.2. Microscopa confocal . . . . . . .
x
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31
31
31
32
37
40
43
46
47
55
63
67
71
71
74
76
81
83
83
85
89
92
100
102
107
107
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115
. 115
. 118
. 118
. 119
4.3.
4.4.
4.5.
4.6.
4.2.3. XPS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Mtodo de medida del de la fotoluminiscencia . . . . . . . . . . .
4.3.1. Introduccin y estado de la tcnica . . . . . . . . . . . . . .
4.3.2. Descripcin del mtodo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.3.3. Alternativas de diseo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Validacin experimental . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.4.1. Descripcin de los elementos del sistema . . . . . . . . . . .
4.4.2. Dificultades y limitaciones para la medida del tiempo de vida
de la emisin luminiscente . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.4.3. Descripcin del sistema final . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.4.4. Medidas de luminiscencia realizadas . . . . . . . . . . . . . .
Funcionalizacin de superficies de GaN . . . . . . . . . . . . . . . .
4.5.1. Proceso con solucin piraa . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.5.2. Intentos de proteccin de los contactos metlicos . . . . . . .
4.5.3. Intento de fabricacin compatible con la funcionalizacin . .
4.5.4. Uso de plasmas en el proceso de funcionalizacin . . . . . . .
Resumen y conclusiones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
119
120
120
129
137
144
146
149
158
159
166
169
173
174
176
181
5. Conclusiones
183
5.1. Conclusiones cientficas y tcnicas de la tesis . . . . . . . . . . . . . 183
5.2. Trabajo futuro . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
6. Conclusions
189
6.1. Scientific and technical conclusions of the thesis . . . . . . . . . . . 189
6.2. Future work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 191
Bibliografa
193
A. Lista de muestras
215
B. Lista de mritos
221
C. Valoracin y conclusin personal
227
xi
xii
Agradecimientos
Si ests leyendo estas lneas es porque, gracias a Dios, no me han faltado
la ilusin y las fuerzas para terminar la tesis. A lo largo de estos aos, muchas
personas me han ayudado, directa e indirectamente, a hacer mi doctorado, y no
puede faltar un espacio para agradecrselo.
En primer lugar quiero agradecer a mi director, Elas, lo mucho que me ha dado
durante estos aos: apoyo, gua, ideas, opciones, oportunidades y confianza.
Las dos personas con las que ms estrechamente he trabajado durante estos
aos son los ahora doctores Carlos Rivera y Juan Pereiro. De ellos he aprendido
mucho y siempre han sido un slido apoyo donde afianzar mi trabajo. Jos Luis,
mi director del proyecto de fin de carrera, fue quien me puso en el camino y me
gui en los primeros pasos en el mundo de la investigacin. Otras personas han
pasado por el grupo de detectores, y entre ellos me gustara recordar tambin a
Icar y a Pablo.
Recuerdo con mucho cario y agradecimiento a mis compaeros del ISOM.
Aparte de las colaboraciones que hayamos podido tener, y de las discusiones cientficas, o de su ayuda con la tecnologa y las medidas, lo mejor que he sacado de
ellos es el magnfico ambiente que tenamos. Jos Mara Ulloa, Javier Miguel, Jorge, Javier Grandal, Sergio, Ftima, Raquel, Fernando, Miguel, Roberto, Eugenio,
Ana, Zarko, Gema, Manu, Sara, Juan, Tomasso, Johanna, Miguel Romera, Miguel
Gonzlez, scar de Abril, David Ciudad, Roco Ranchal, Roco San Romn, David,
Maika, Jota, Fernando, scar, Montse, gracias a todos.
De los otros compaeros del ISOM, los que conoc ya con el tercer grado puesto, tambin me llevo muchas cosas. Me gustara agradecer su ayuda a Adrin,
lvaro, Carlos ngulo, Claudio, Fernando, Jos Luis Prieto, Marco y Mara del
Mar.
A los tutores de mis dos estancias, Emilio y Peter, les debo agradecer haberme dado la oportunidad de vivir dos experiencias muy enriquecedoras. A Emilio,
xiii
adems, porque es una gran persona, amn de un gran investigador.

De entre los investigadores de otras instituciones con los que he colaborado,
me gustara destacar a Juan Lpez Gejo y Guillermo Orellana, porque el contacto
interdisciplinar ha sido muy enriquecedor, y trabajar con ellos ha sido un placer.
Me gustara agradecer a mi familia el apoyo que siempre he recibido de ellos,
y el haberme dado gran parte de lo que hoy soy.
Ins, siento que la escritura tesis nos haya hecho sacrificar tanto tiempo familiar,
gracias por tu comprensin y por tu apoyo durante todo este tiempo.
xiv
Resumen
El objetivo de esta tesis es el desarrollo y la caracterizacin de detectores avanzados, basados en nitruros del grupo III. Es decir, se pretende la utilizacin de
nitruros de galio, indio y aluminio, de manera que se aprovechen las cualidades
especficas de estos materiales, para la fabricacin de fotodetectores que destaquen
y mejoren el actual estado de la tcnica en diversos mbitos o aplicaciones. Las
principales lneas de actuacin han sido tres: evaluacin del comportamiento en
alta temperatura, sensibilidad a la polarizacin de la luz, y aplicacin en sistemas
de fotoluminiscencia.
Se ha realizado un estudio terico y experimental del comportamiento de fotodetectores de tipo p-i-n en alta temperatura, centrando el inters en la evaluacin
de la detectividad especfica en modo fotovoltaico. Se ha podido comprobar que el
silicio, el material semiconductor ms extendido en la actualidad, sufre una severa
degradacin de sus caractersticas en alta temperatura, debido a su gap relativamente estrecho. Los nitruros, sin embargo, al ser materiales de gap ancho, tienen
mejores caractersticas en cuanto al ruido, siendo ms ventajosa la diferencia en
altas temperaturas. Su rendimiento se ve dificultado, sin embargo, por la peor calidad cristalina del material, lo cual supone un inconveniente ms acusado en el caso
de los ternarios, y en particular del InGaN. Se ha comprobado que la fabricacin de
fotodetectores de GaN con mltiple pozo cuntico de InGaN en su regin intrnseca
posibilita la deteccin en el visible, sin perjudicar las caractersticas elctricas del
fotodiodo. En este tipo de dispositivos, adems, se ha llevado a cabo un estudio
del ruido en alta y baja temperatura.
Se han fabricado fotodetectores de tipo metal-semiconductor-metal con interdigitados sub-micromtricos en GaN crecido sobre el plano cristalino A. Se ha
podido comprobar que estos dispositivos tienen una sensibilidad intrnseca a la
polarizacin de la luz incidente para fotones de energas en torno al gap, debido
a la anisotropa de la red cristalina en el plano de crecimiento. Adems, se han
xv
caracterizado elctricamente estos dispositivos, observando que tienen unos niveles

muy bajos de corriente de oscuridad y ruido.
Por ltimo, se ha explorado de una manera ms profunda la aplicacin de los
nitruros en sistemas de medida de fotoluminiscencia. Se ha demostrado la funcionalizacin covalente de superficies de GaN con complejos luminiscentes basados en
rutenio, y su sensibilidad a la concentracin ambiental de oxgeno. Se ha funcionalizado tambin un diodo emisor de luz basado en nitruros con este mismo complejo,
demostrando la posibilidad de caracterizar el tiempo de vida de la luminiscencia,
utilizando como excitacin de la misma la luz emitida por este dispositivo. Dado
que la simplificacin de elementos pticos dificulta la caracterizacin del tiempo
de vida medio de la luminiscencia, se ha desarrollado un mtodo para la medida
del mismo en condiciones en las que no es posible eliminar la seal de fondo ptica
debida a la excitacin. Dicho mtodo se ha validado experimentalmente realizando
la medida de una membrana impregnada del complejo luminiscente de rutenio bajo
este tipo de condiciones.
xvi
Abstract
The main purpose of this thesis is the development and characterization of
advanced photodetectors, based on group-III nitrides. In other words, what is
intended is the utilization of gallium, indium and aluminum nitrides, taking advantage of the specific characteristics of these materials, for the fabrication of
photodetectors that stand out and improve the current state of the art for different applications. The three main lines of research have been: high-temperature
behaviour assessment, sensitivity to the polarization of light, and application in
photoluminescence measurement systems.
A theoretical and experimental study on the behaviour of p-i-n photodetectors
at high temperatures has been carried out, centered on the evaluation of specific
detectivity in photovoltaic mode. Silicon, currently the most widely-used semiconductor, suffers a severe degradation of its characteristics at high temperature, due
to its relatively thin bandgap. Nitrides, in contrast, being wide bandgap semiconductors, display better noise characteristics, with this difference being stronger at
higher temperature. However, their performance is hindered by the lower crystal
quality of the material, especially in the case of the ternary compounds, and for InGaN in particular. It has been observed that the fabrication of GaN photodetectors
with multiple quantum wells in their intrinsic region allows for light detection in
the visible range, without sacrificing the electrical performance of the photodiode.
In this kind of devices, a low- and high-temperature noise study has been carried
out.
Metal-semiconductor-metal photodetectors with sub-micron interdigitated contacts have been fabricated on A-plane GaN. It has been possible to confirm that
these devices show an intrinsic sensitivity to the polarization of incident light
at photon energies around the gap, due to the anisotropy on the crystal lattice.
An electrical characterization has revealed that the devices present very low dark
current and noise values.
xvii
Finally, the application of nitrides in photoluminescence measurement systems

has been explored. The covalent functionalization of GaN surfaces with rutheniumbased photoluminescent complexes and their sensitivity to the environmental oxygen concentration have been demonstrated. A nitride-based light emitting diode
has also been functionalized with this same complex, and the feasibility of characterizing the luminescence lifetime using the light emitted by the device as excitation
source has been proved. Since the simplification of optical elements makes the
characterization of the luminescence lifetime difficult, a method has been developed for its measurement in conditions in which it is not possible to eliminate the
background signal due to excitation. This method has been validated experimentally by measuring the luminescence of a membrane impregnated in luminescent
ruthenium complex.
xviii
Glosario
AC
ADN
AFM
AlGaN
AlInGaN
AlN
APD
APTES
CAD
CCD
CD
CV
CVD
DC
DIE
DSSC
Alternating Current, corriente alterna

cido Desoxirribonucleico
Atomic Force Microscope, microscopio de fuerzas atmicas
Nitruro de Aluminio-Galio, estequiometra indeterminada
Nitruro de Aluminio-Galio-Indio, estequiometra indeterminada
Nitruro de Aluminio
Avalanche Photo Diode, fotodiodo de avalancha
3-aminopropiltrietoxisilano
Computer-Aided Design, diseo asistido por
ordenador
Charge-Coupled Device, dispositivo de carga
acoplada
Compact Disc, disco compacto
Capacitance-Voltage, curva de capacidadtensin de un dispositivo de dos terminales
Chemical Vapour Deposition, depsito qumico en fase gaseosa
Direct Current, corriente continua
Departamento de Ingeniera Electrnica
Dye-Sensitized Solar Cell, clula solar sensibilizada por colorante
xix
DUT
DVD
Device Under Test, dispositivo bajo prueba

Digital Versatile Disc, disco verstil digital
Eg
En
en
EPSRC
Eficiencia Cuntica Externa

Energa del gap
Valor eficaz de la tensin de ruido
Densidad espectral la tensin de ruido
Engineering and Physical Sciences Research
Council
Escuela Tcnica Superior de Ingenieros
ETSI
FLIM
FPGA
FWHM
GaN
GPIB
GSOLFA
Fluorescent Lifetime Imaging Microscopy/Microscope, microscopio/microscopa de

imagen de tiempo de vida de fluorescencia
Field-Programmable Gate Array, matriz de
puertas programables por el usuario
Full Width at Half Maximum, ancho de banda
a media altura
Nitruro de Galio
General Purpose Interface Bus, bus de interfaz
de propsito general
Grupo de Sensores Qumicos pticos y Fotoqumica Aplicada
HEMT
High Electron Mobility Transistor, transistor

de alta movilidad de electrones
HOMO/LUMO Highest Occupied Molecular Orbital - Lowest
Unoccupied Molecular Orbital, orbital molecular ocupado ms alto - orbital molecular vaco
ms bajo
ICP-RIE
Inductively Coupled Plasma - Reactive Ion Etching, ataque por iones reactivos de plasma
acoplado por induccin
xx
In
in
InGaN
InN
ISOM
IV
Valor eficaz de la corriente de ruido

Densidad espectral la corriente de ruido
Nitruro de Galio-Indio, estequiometra indeterminada
Nitruro de Indio
Instituto de Sistemas Optoelectrnicos y Microtecnologa
Intensity - Voltage, curva de corriente - tensin
de un dispositivo de dos terminales
Constante de Boltzmann
LCD
Liquid Crystal Display, visualizador de cristal

lquido
Light Emitting Diode, diodo emisor de luz
Low-Pressure Metal-Organic Vapor-Phase
Epitaxy, epitaxia en fase de vapor de organometlicos de baja presin
Long Pass Filter, filtro pasolargo
LED
LP-MOVPE
LPF
MBE
MIS
MOVPE
MQW
MSM
NASA
NEP
Molecular Beam Epitaxy, epitaxia de haces

moleculares
Metal-Insulator-Semiconductor,
metalaislante-semiconductor
Metal-Organic Vapor-Phase Epitaxy, epitaxia
en fase de vapor de organo-metlicos
Multiple Quantum Well, pozo cuntico mltiple
Metal-Semiconductor-Metal
National Aeronautics and Space Administration, administracin nacional para la aeronutica y el espacio)
Noise-equivalent power, potencia equivalente
de ruido
xxi
PFC
PL
PMT
PSD
Proyecto de Fin de Carrera

Photoluminescence, fotoluminiscencia
Photomultiplier Tube, tubo fotomultiplicador
Power Spectral Density, densidad espectral de
potencia
QCSE
Quantum-confined Stark effect, efecto Stark

confinado cunticamente
RIE
Reactive Ion Etching, ataque por iones reactivos

root mean square, valor eficaz
revoluciones por minuto
Room Temperature, temperatura ambiente
Rapid Thermal Annealing, recocido trmico
rpido
Random Telegraph Signal, seal telegrfica
aleatoria
rms
rpm
RT
RTA
RTS
SAW
SEM
SMU
SNR
SPF
SPT
TC-SPC
Surface Acoustic Wave, onda acstica superficial

Scanning Electron Microscope, microscopio
electrnico de barrido
Source and Measurement Unit, unidad de
fuente y medida
Signal-Noise Ratio, relacin seal a ruido
Short Pass Filter, filtro pasocorto
Single Photon Timing, cronometraje de fotones individuales
tiempo de vida
Time-Correlated Single Photon Counting,
conteo de fotones individuales correlacionados
con el tiempo
xxii
TEM
Transmission Electron Microscope, microscopio electrnico de transmisin
UAM
UCM
UCSB
UPM
USB
UV
Universidad Autnoma de Madrid

Universidad Complutense de Madrid
Universidad de California, Santa Brbara
Universidad Politcnica de Madrid
Universal Serial Bus, bus serie universal
Ultravioleta
XPS
X-ray Photoelectron Spectroscopy, espectroscopa de fotoelectrones emitidos por rayos X

X-Ray Diffraction, difraccin de rayos X
XRD
xxiii
xxiv
Captulo 1
Introduccin
1.1.
1.1.1.
Estado de la tcnica
Los nitruros y sus aplicaciones
Los nitruros del grupo III [100,136] constituyen la familia de semiconductores

que ms xito ha alcanzado en estos ltimos aos de entre aquellas que cuentan
con una anchura de la banda prohibida (o gap) grande.
Dentro del conjunto de materiales semiconductores que se pueden utilizar actualmente para aplicaciones de fotodeteccin, los nitruros presentan unas propiedades que los hacen extremadamente valiosos [48]. Por ejemplo, es interesante
observar que mediante la utilizacin de compuestos con distintas concentraciones
de trreos1 dentro de este sistema de materiales se puede seleccionar el ancho de
la banda prohibida desde el infrarrojo cercano (0.7 eV para el InN) hasta el ultravioleta (6.2 eV para el AlN), permitiendo as escoger el gap necesario para cada
aplicacin, y evitando, por ejemplo, la necesidad de incluir un filtro ptico para
el corte pasocorto de la ventana de deteccin. Este gap es, adems, de naturaleza
directa para toda la familia de compuestos (los tres binarios GaN, InN, AlN, los
ternarios y el cuaternario AlInGaN), lo que lo hace un candidato ms adecuado
para las aplicaciones optoelectrnicas que el carburo de silicio, otro semiconductor
de gap ancho, pero indirecto. La corriente de oscuridad en los detectores debera
ser ms baja que en otros detectores basados en semiconductores de gap estrecho,
ya que el aumento del gap lleva consigo una reduccin exponencial de la concen1
Elementos del grupo III de la tabla peridica.
1. Introduccin
tracin intrnseca de portadores. En consecuencia, adicionalmente, estos disposivos

deberan tener tambin un ruido menor. Los nitruros poseen una alta estabilidad
qumica y trmica debido principalmente a la alta energa de sus enlaces [38],
siendo por tanto muy apropiado para operar en condiciones adversas. Por ltimo,
los nitruros, debido a su estructura cristalina hexagonal, presentan campos de
polarizacin intrnsecos, lo cual puede, dependiendo del caso, ser una ventaja o un
inconveniente para el rendimiento ptimo del dispositivo, pero que, indudablemente, ofrece una nueva variable de diseo que utilizar. Si bien lo ms habitual es la
utilizacin de sustratos que favorecen el crecimiento sobre el plano C, dando lugar
a estos campos de polarizacin, tambin es posible que su crecimiento sea sobre
un plano no polar, perpendicular al C (planos M y A, por ejemplo2 ) [17, 28].
Si bien, como se ha explicado, los nitruros presentan unas caractersticas extraordinarias para su aplicacin en fotodeteccin, tambin es cierto que existen inconvenientes que actualmente lastran su rendimiento y que deben ser superados para
permitir su mximo aprovechamiento. El mayor de todos ellos, y a la vez fuente de
muchos de sus problemas, es la inexistencia de sustratos perfectamente acoplados
en red y coeficiente de expansin trmica.3 Esta carencia de sustratos provoca que
los nitruros se crezcan en condiciones de desajuste de red, lo que induce una gran
cantidad de defectos estructurales. La bsqueda solucin a este problema ha sido
y es un tema de gran inters en la comunidad cientfica, habindose propuesto
distintas soluciones tecnolgicas para reducir el nmero de defectos en heteroepitaxia [3, 8, 109] y desarrollado la manera de disponer de sustratos de GaN para
homoepitaxia [50,62,110], aunque todava no se ha alcanzado una solucin que sea
satisfactoria tanto tcnica como econmicamente. A pesar de todo, el impacto de
los defectos estructurales sobre las propiedades optoelectrnicas de los dispositivos
no ha sido tan grande como se esperaba, permitiendo, por ejemplo, altas eficiencias
de recombinacin radiativa en el caso de los diodos electroluminiscentes [21]. Otra
de los grandes obstculos histricos para el desarrollo de dispositivos con nitruros
ha sido y es la gran dificultad para dopar estos materiales con carcter p, lo cual
limita fuertemente la calidad de los mismos.
2
Para esquema de la estructura cristalina del GaN y sus principales planos, consultar la
figura 3.1.
3
Si bien es posible lograr un acoplamiento casi perfecto a algunos sustratos existentes escogiendo un ternario adecuado, la diferencia de coeficientes de expansin trmica hara que este
acoplamiento no sea ptimo simultneamente a temperatura de crecimiento y a temperatura
ambiente, siendo imposible evitar los problemas relacionados con este desajuste.
1.1 Estado de la tcnica
Las aplicaciones de los nitruros se reparten por un amplio abanico de campos,

aunque podramos englobarlas en dos grupos principales: las aplicaciones electrnicas y las optoelectrnicas.
Dentro de las primeras, es importante destacar los transistores de alta movilidad de electrones (HEMT, High Electron Mobility Transistor ), caracterizados por
sus buenos rendimientos en aplicaciones que requieren alta frecuencia y/o potencia [93,158,194]. Estos dispositivos aprovechan la formacin de un gas de electrones
bidimensional en la intercara de una heteroestructura AlGaN/GaN, que se ve favorecida por la presencia de campos piezoelctricos. Tambin basados en estos
materiales, y, debido a su piezoelectricidad [15, 88], existe actividad en el campo
de los filtros de ondas acsticas superficiales (SAW, Surface Acoustic Wave) para
su utilizacin en comunicaciones [33]. Sus propiedades electrnicas tambin los
hacen apropiados para su utilizacin como sensores qumicos por interaccin de su
superficie con el medio [156, 167].
En el campo de la optoelectrnica, los nitruros son una referencia obligatoria
en la industria de la iluminacin, dado que son el material ms utilizado en la
fabricacin de diodos emisores de luz (LED, Light Emitting Diode) en el azul y
ultravioleta cercano [104,120,164]. Estos dispositivos consisten tpicamente en una
estructura p-i-n de GaN con pozos cunticos de InGaN en su regin intrnseca.
Recientemente han alcanzado relevancia tambin en el campo del almacenamiento
de datos, debido a la utilizacin de diodos lser de InGaN/GaN en las unidades
Blu-ray Disc, en las que la reduccin hasta los 405 nm de la longitud de onda
utilizada ha permitido incrementar dramticamente la densidad de informacin.4
Tambin se ha propuesto la utilizacin de nitruros en la fabricacin de clulas
solares, aprovechando la posibilidad de cubrir con InGaN la porcin del espectro
donde ms potencia se recibe del Sol [59, 193].
1.1.2.
La deteccin de luz con nitruros del grupo III
Los primeros estudios sobre las propiedades fotoconductivas del GaN fueron
realizados por Pankove y Berkeyheiser en 1974 [128], pero hasta 1982 no se publicaran resultados sobre el primer detector de ultravioleta [65]. Desde este momento
se abre un periodo de exploracin en el que se estudian muy diversos tipos de estructuras: fotoconductores, fotodiodos p-n y p-i-n, diodos de barrera Schottky, dis4
Los otros formatos estndar de almacenamiento ptico, de menor capacidad, son el DVD,
que utiliza un lser de 640 nm, y el CD, de 780 nm.
1. Introduccin
positivos metal-semiconductor-metal (MSM), metal-aislante-semiconductor (MIS,

Metal-Insulator-Semiconductor ), fototransistores, diodos de avalancha, etc. [60,
102, 160, 168, 173]
La mayora de la actividad se ha concentrado en el intervalo de energas del
ultravioleta cercano y lejano, en el desarrollo de detectores ciegos al visible o ciegos
al espectro solar,5 utilizando principalmente AlGaN. Este intervalo de energas
cumpla a la vez tres condiciones: en l la tecnologa permita una mayor calidad de
los detectores, era el camino natural para investigar con materiales de gap ancho,
y es un intervalo en el que los semiconductores de gap estrecho, mejor establecidos,
perdan eficiencia. Merecen especial mencin los trabajos llevados a cabo sobre este
material por investigadores del ISOM entre 10 y 15 aos atrs [9598,101,126,132].
En la actualidad ya es posible encontrar en el mercado electrnico dispositivos
detectores basados en esta tecnologa. Tal es el caso, por ejemplo, de los fotodiodos
de AlGaN para deteccin de ultravioleta comercializados por SGlux con corte en
300 nm y 350 nm. La demanda de detectores en estas bandas responda a diversos
tipos de aplicaciones, entre las que podemos destacar las comunicaciones pticas en
espacio abierto y en agua, curado de materiales polimricos, purificacin de agua,
monitorizacin y control de combustin, deteccin de llama, aplicaciones militares
y de control ambiental. Por otra parte, el desarrollo de dispositivos con contenido en
indio se ha visto retrasado por las dificultades de utilizacin de capas de InGaN, por
problemas de concentracin residual y de fluctuacin y agrupamiento (clustering)
de indio.
El paulatino avance logrado en los distintos parmetros de calidad de los detectores basados en nitruros se ha basado principalmente en tres ejes principales:
la mejora de la calidad cristalina del material (tanto mediante mtodos que permitieran obtener una reduccin en la densidad de defectos de los binarios como en la
optimizacin de condiciones para crecer ternarios de buena calidad), la mejora del
dopaje de tipo p (ms difcil para contenidos altos de aluminio), y la tecnologa de
contactos. La mayora de los fotodetectores desarrollados se han fabricado sobre
capas en volumen, dado que proporcionan, en principio, una mayor sensibilidad
al aumentar la absorcin, y con estructuras como los diodos de barrera Schottky,
diodos p-n y p-i-n, fotoconductores y MSM.
Algunos de los trabajos recientes sobre nitruros van encaminados a la obtencin
de mecanismos de ganancia que permitan la obtencin de una mayor seal. En este
5
Referidos comnmente por los trminos visible-blind y solar-blind.
1.1 Estado de la tcnica
sentido, el acercamiento ms clsico al problema es la obtencin de ganancia por

multiplicacin de portadores o avalancha, habindose logrado un cierto xito en
detectores de AlN [32], GaN [80, 195] y AlGaN [90, 176, 177]. Sin embargo, estos
detectores adolecen de ciertas desventajas, como la necesidad de ser operados a
altas tensiones de polarizacin, lo cual complica la electrnica asociada. Adems,
el hecho de que las calidades cristalinas disponibles a da de hoy degradan su
comportamiento y limitan el rea mxima de estos dispositivos. Se han propuesto
mecanismos alternativos de ganancia, algunos de los cuales aprovechan las cualidades piezoelctricas de esta familia de materiales. Tales soluciones aprovechan la
presencia de pozos cunticos [145, 147] e hilos cunticos [69]. No se debe olvidar la
obtencin en detectores simtricos con ganancia fotoconductiva [44, 64, 101].
Alejndonos de lo que podramos considerar dispositivos estndar basados
en nitruros, podemos encontrar algunos trabajos que proponen la realizacin de
detectores en dos o mltiples bandas [1, 9]. Tambin hay propuestas para utilizar
estos materiales forzando sus lmites de deteccin ms all de sus bandas de deteccin naturales, en deteccin de altas energas [133], o de infrarrojo utilizando
transiciones inter-sub-banda en pozos cunticos [31, 53].
Como se ha comentado anteriormente, el crecimiento de fotodetectores con
un borde de absorcin que incluya regiones en el visible implica el aumento del
contenido de indio en las capas. Este aumento del contenido de indio conlleva
casi ineludiblemente una prdida de calidad cristalina, que es ms acusada cuanto
mayores son el espesor crecido y el contenido de indio, deteriorando las cualidades
pticas del dispositivo. Sin embargo, gran parte de estos problemas pueden ser
superados con la utilizacin de diodos de mltiple pozo cuntico de InGaN/GaN,
habiendo demostrado estos dispositivos ser una solucin prometedora para la deteccin en los intervalos UVA y visible, con bordes de deteccin abruptos, responsividades razonables y bajas corrientes de oscuridad [22, 149]. Adicionalmente, la
presencia de campos de polarizacin permite la adaptacin de los campos internos
del dispositivo [150].
El crecimiento de nitruros sobre planos no polares est recibiendo una creciente
atencin por parte de la comunidad cientfica, que ha visto en esta tecnologa la
posibilidad de eliminar los efectos adversos de los campos de polarizacin en aquellas arquitecturas de dispositivo en las que no se pueden utilizar favorablemente.
El ejemplo ms destacado de esto es el aumento de la eficiencia radiativa en los
pozos cunticos de los LED de InGaN/GaN [17,23,68]. El crecimiento sobre planos
5
1. Introduccin
no polares no slo conlleva la desaparicin de los posibles aspectos adversos de los

campos piezoelctricos, sino que tambin se produce una anisotropa ptica en el
plano de crecimiento que ha sido utilizada para la fabricacin de fotodetectores
sensibles a la polarizacin de la luz en un estrecho margen de frecuencias [46, 148].
1.2.
Demanda de aplicaciones
Tras exponer en la seccin anterior cules son las principales caractersticas de

los nitruros y sus aplicaciones, y cules han sido los principales hitos y desarrollos
en la deteccin de luz utilizndolos, se van a exponer ahora cules son algunas
de las necesidades sin resolver, algunas de las aplicaciones, a las que se puede
dar respuesta utilizando dispositivos de nitruros, o que precisan desarrollo para
mejorar los sistemas actuales. No se pretende hacer una descripcin exhaustiva,
sino hacer un especial nfasis en las reas en las que el trabajo de este doctorado
puede haber supuesto un avance.
Alta temperatura
Si bien la mayora de los fotodetectores son utilizados a temperatura ambiente,
hay aplicaciones en las que es un requisito indispensable la operacin a altas temperaturas. Tal es el caso, por ejemplo, de las aplicaciones espaciales, en las que la
ausencia de una atmsfera que amortige los cambios hace que las temperaturas
puedan variar entre las decenas de kelvin y los 100 o C. Adems, la exploracin de
otros planetas puede requerir el diseo de sistemas completos que sean capaces de
soportar altas temperaturas, de hasta 450 o C en el caso de Venus.
Las aplicaciones militares a menudo han tenido requisitos ms exigentes que las
industriales, en cuanto a temperatura se refiere. Tanto es as, que la mayora de los
productores de semiconductores y componentes electrnicos a nivel mundial ofrecen gamas de productos (o distintas versiones de los mismos) cuyo funcionamiento
se certifica en el intervalo militar de temperaturas, que a menudo alcanza hasta los
125 o C. En ocasiones estas aplicaciones tambin requieren de la utilizacin de un
fotodetector, que debera ser, tambin, capaz de funcionar a altas temperaturas.
Otra de las aplicaciones que requieren la operabilidad de fotodetectores a altas
temperaturas es la deteccin y monitorizacin de llama. La obtencin de informacin espectral de una combustin puede ayudar a mejorar la calidad de esta, lo
6
1.2 Demanda de aplicaciones
cual puede tener enormes repercusiones econmicas en industrias como la metalrgica. Para ello es necesaria la utilizacin de fotodetectores que, en mayor medida,
sufrirn los efectos de una temperatura mayor que las habituales a causa de su
proximidad con una fuente intensa de calor.
Polarizacin
De las distintas cualidades mensurables en la luz, la mayora de los aplicaciones
hoy en da hacen uso nicamente de su distribucin espectral y/o potencia. El grado
y ngulo de polarizacin de la luz, sin embargo, puede dar lugar a distintas e interesantes posibilidades. Por ejemplo, de cara a la fabricacin de sensores qumicos
y biolgicos, como es el caso de la deteccin de glucosa en sangre, la polarizacin
de la luz puede aportar gran cantidad de informacin [27]. En el campo de las
comunicaciones, es conocida posibilidad de duplicar el ancho de banda de un enlace transmitiendo un flujo de datos en cada de las dos polarizaciones ortogonales;
sistemas similares en comunicaciones pticas podran beneficiarse de la existencia
de fotodetectores con sensibilidad a la polarizacin.
Sensores qumicos de fotoluminiscencia

Una de las tcnicas para la medida de distintos parmetros qumicos, biolgicos
y medioambientales con mayor desarrollo y perspectivas de crecimiento es la deteccin de la fotoluminiscencia (fluorescencia, fosforescencia) de distintas sustancias
cuyas caractersticas se ven alteradas por la variacin de dichos parmetros. Tal es
el caso, por ejemplo, de la medida de concentracin de oxgeno utilizando complejos
luminiscentes de rutenio [123].
Dichos sistemas poseen, a menudo, complejos subsistemas pticos, con elementos costosos y separados entre s, utilizando fibras pticas para conducir la luz. El
resultado es un sistema poco porttil y econmicamente costoso. Muchas de estas
aplicaciones se veran altamente beneficiadas de una importante reduccin en su
coste y tamao, de tal manera que se pudiera difundir su utilizacin (evaluacin
de calidad del agua, anlisis de sustancias en sangre, saliva u orina). Sera, por
tanto, enormemente beneficioso, contar con soluciones que permitieran una mayor
integracin en la parte ptica de estos sistemas de luminiscencia.
7
1. Introduccin
1.3.
Objetivos y estructura de la tesis
Dentro de este marco, en esta tesis se plantean una serie de estudios y realizaciones, por un lado, para profundizar en el conocimiento de las propiedades
de ciertos dispositivos, y por otro lado, con el objetivo de fabricar dispositivos
fotodetectores avanzados, que permitan superar algunas dificultades presentes en
los disponibles hoy en da, y que ofrezcan nuevas ventajas y alternativas a la hora
de disear ciertos sistemas optoelectrnicos especficos.
Si su ttulo es Contribucin al desarrollo y caracterizacin de fotodetectores
avanzados basados en nitruros del grupo III, su subttulo podra redactarse de la
siguiente manera:
Aprovechamiento de las cualidades nicas de los nitruros para el desarrollo de
detectores con mejores prestaciones en el visible, con sensibilidad a la
polarizacin de la luz, y la aplicacin en sistemas experimentales de medida del
tiempo de vida de luminiscencia.
1.3.1.
Caracterizacin en temperatura
Uno de los problemas de que adolecen gran parte de los fotodetectores actuales,
principalmente los basados en silicio, es la imposibilidad de ser operados a altas
temperaturas. Los semiconductores con gap estrecho experimentan una gran variacin de sus propiedades electrnicas al aumentar la temperatura, como por ejemplo
la concentracin intrnseca de portadores, que es fuertemente dependiente de la esta. Como consecuencia, estos dispositivos experimentan una rpida degradacin de
sus caractersticas al aumentar la temperatura, y su uso est desaconsejado a partir
de 100 o C. Si bien la demanda de este tipo de fotodetectores no es importante, s es
interesante para determinado tipo de aplicaciones, como por ejemplo la deteccin
y monitorizacin de llama.
Al comienzo de este doctorado se esperaba que la utilizacin de semiconductores
de gap ancho, en concreto los basados en nitruros del grupo III, posibilitara la
fabricacin de dispositivos con mejor comportamiento trmico. Con este propsito
se han estudiado los siguientes tipos de dispositivos:
Dispositivos basados en silicio: si bien el estudio del comportamiento del
silicio en alta temperatura no es novedoso, se ha realizado un estudio terico
8
1.3 Objetivos y estructura de la tesis
de sus lmites y se han analizado los detectores disponibles comercialmente,

como referencia para valorar la mejora que supone el uso de nitruros.
Dispositivos p-i-n de GaN en volumen: el estudio de dispositivos en volumen
permite una interpretacin ms sencilla de los resultados.
Dispositivos p-i-n de GaN con pozos cunticos de InGaN en su regin intrnseca: este tipo de dispositivos permite la deteccin de luz en longitudes
de onda mayores que los anteriores, introducindonos en el intervalo visible.
Una de las ventajas de utilizar pozos cunticos es que las principales propiedades elctricas del dispositivo van a estar marcadas por las caractersticas
electrnicas del GaN, siendo la influencia de los pozos cunticos mnima, y
logrando as independizar el comportamiento elctrico en alta temperatura
de la longitud de onda de deteccin.
Dispositivos p-i-n de InGaN en volumen: el estudio de estos dispositivos
sirve como referencia para comparar la mejora lograda al utilizar dispositivos
basados en pozos cunticos.
La comparacin se ha basado en distintos parmetros de calidad del fotodetector, si bien se va ha hecho especial hincapi en la caracterizacin del ruido, dado
que es en ltimo trmino (a travs de la detectividad), es el factor que limita la
mnima cantidad de luz que el dispositivo es capaz de detectar.
1.3.2.
Dispositivos sensibles a la polarizacin
Si bien los parmetros de inters en la mayora de las medidas optoelectrnicas son la potencia ptica y la longitud de onda, no debemos olvidar que la
luz tiene otras caractersticas cuya medida puede ser interesante en determinadas
situaciones. Una de estas propiedades es el estado de polarizacin de la luz, que
puede proporcionar informacin de inters en distintos campos, como por ejemplo
en comunicaciones o en deteccin de fluorescencia. Con los dispositivos disponibles
a da de hoy, semejante caracterizacin requiere necesariamente la utilizacin de
medios pticos para filtrar la luz incidente sobre el detector, dotando a este de
sensibilidad a la polarizacin.
La utilizacin capas crecidas en planos no polares de GaN puede aportar un
nuevo camino para abordar este problema. El nitruro de galio es un material
9
1. Introduccin
que presenta dicrosmo, debido a la asimetra de la red cristalina hexagonal, que

produce un desplazamiento de la longitud de onda de absorcin para luz polarizada
en orientaciones perpendicular y paralela al eje C, cuando esta incide normal a
alguno de los planos no polares del dispositivo (A y M). Esto ya ha sido demostrado
sobre capas crecidas en el plano M, y en esta tesis se ha llevado a cabo la fabricacin
y caracterizacin de dispositivos crecidos sobre el plano A. Se esperaba que estos
dispositivos presentaran unas mejores caractersticas elctricas, debido a la mayor
calidad de las capas epitaxiales disponibles, que aquellas crecidas en el plano M.
Se han fabricado dispositivos MSM de distintos interdigitados, con tamaos submicromtricos y micromtricos.
La fabricacin de dispositivos con interdigitados nanomtricos plantea el problema de si la sensibilidad a la polarizacin es intrnseca, o por el contrario se debe
al efecto geomtrico de la red de difraccin. Para comprobarlo y poder descartar
esta posibilidad se ha realizado el depsito de redes de difraccin metlicas sobre
fotodiodos de silicio. Adicionalmente, se ha intentado optimizar la fabricacin de
un detector de silicio con una red de difraccin con el objetivo de comparar los
dispositivos fabricados en nitruro de galio con otras posibilidades tecnolgicas.
1.3.3.
Aplicacin en sistemas de medida de fluorescencia
La fluorescencia, o, de una manera ms general, fotoluminiscencia, es una propiedad de algunas sustancias consistente en la reemisin de luz en longitudes de
onda largas tras haber sido excitada con fotones ms energticos. Esta tcnica
proporciona informacin sobre procesos qumicos y biolgicos, y encuentra una
gran aplicacin en diversos campos de qumica analtica, anlisis medioambientales, anlisis clnicos, etc.
Durante el desarrollo de esta tesis doctoral he tenido oportunidad de trabajar
en dos proyectos de investigacin que usan esta tcnica, lo cual me ha permitido
adquirir una visin multidisciplinar del sistema y poner los conocimientos sobre
fotodetectores al servicio de una aplicacin real. Se pretende un estudio lo ms
amplio del sistema de instrumentacin, de tal modo que permita adaptar los fotodetectores y los mtodos de medida para proporcionar unas mejores prestaciones
a estos sistemas.
En concreto, se pretenda funcionalizar con luminforos basados en rutenio un
LED azul basado en InGaN/GaN. De este modo se habra podido lograr una mayor
integracin en el sistema. La eleccin de funcionalizar el emisor en vez del detector
10
1.3 Objetivos y estructura de la tesis
responde al hecho de que es tecnolgicamente ms sencillo alcanzar con nitruros las

longitudes de onda correspondientes a la excitacin de los luminforos utilizados
(en la banda azul) que las correspondientes a su emisin (en la banda roja).
La funcionalizacin del emisor para lograr una mayor integracin presenta un
grave problema instrumental con la seal de fondo proveniente del propio LED,
por lo que se ha estudiado la manera de separar la seal de inters de la seal de
fondo.
11
Captulo 2
Estudio de fotodetectores en alta
temperatura
2.1.
Introduccin
Los nitruros de metales del grupo III, en particular el GaN y el AlN, y los
ternarios o cuaternarios con contenido de indio bajo, son semiconductores de gap
ancho. Esto significa que no son materiales naturalmente dotados para la interaccin (emisin, deteccin) de fotones poco energticos. Los fotones ms energticos
(3.4 eV para el caso del GaN), sin embargo, s son absorbidos por esta familia de
materiales, lo que los hace candidatos a ser utilizados como fotodetectores para
esos intervalos. Sin embargo, estos fotones ms energticos son tambin absorbidos
por otros materiales como pueda ser el silicio, el germanio, u otros semiconductores
compuestos de gap estrecho que han alcanzado mayor madurez tecnolgica que el
GaN. Intuitivamente, la utilizacin de materiales de gap estrecho para la deteccin
de luz de corta longitud de onda es subptima: parece un derroche de energa la
utilizacin de fotones de 3 eV para excitar un electrn de la banda de valencia
a la de conduccin del silicio, que requiere un salto de 1.12 eV. De hecho, las
nuevas tecnologas para la fabricacin de clulas fotovoltaicas permiten un mejor
aprovechamiento de la energa solar mediante la absorcin escalonada de la luz en
capas de semiconductores de gap adaptado a cada banda [70].
Desde el punto de vista de la fotodeteccin, es decir, de la obtencin de alguna
informacin de la luz incidente sobre un detector, tampoco es ptimo utilizar
materiales de gap estrecho para fotones muy energticos. La energa del gap de
13
un semiconductor est estrechamente relacionada con la densidad intrnseca de

portadores del mismo, ni . Esta, a su vez, est directamente relacionada con la
corriente de saturacin de una estructura rectificadora p-i-n. Esta corriente de
saturacin es un parmetro fundamental en la determinacin de la calidad de un
fotodetector, dado que influye negativamente en el nivel de ruido presente en la
medida. Por tanto, y como se ver en detalle ms adelante, cuanto menor sea el
gap del semiconductor utilizado, mayor ser el ruido intrnseco al dispositivo.1
Para medidas a temperatura ambiente (RT, Room Temperature) el lmite intrnseco de ruido de los fotodetectores debido al material de fabricacin no es el
factor limitante ltimo de la sensibilidad del sistema, al menos para fotodetectores de pequeo tamao.2 En las aplicaciones habituales a temperatura ambiente,
usando dispositivos de silicio, el ruido presente en la electrnica (no refrigerada) de
amplificacin de la fotocorriente es superior al causado por el propio fotodetector.
Por ello, al menos en cuanto a ruido, no resulta justificado la utilizacin de una
tecnologa mucho ms cara y menos madura.
Sin embargo, en aplicaciones en las que el fotodetector se encuentra necesariamente a una temperatura elevada, encontramos que las caractersticas de los
fotodetectores basados en materiales de gap estrecho no son adecuados, mientras
que con los de gap ancho s es viable obtener medidas razonablemente libres de
ruido.
Durante el desarrollo de mi Proyecto de Fin de Carrera [111] (PFC),3 colabor
en distintas tareas encaminadas al desarrollo y puesta en funcionamiento de un
sistema de deteccin y monitorizacin de llama para calderas de gas. En este
proyecto se pretenda la deteccin y monitorizacin de la calidad de la llama, como
elemento de seguridad y para optimizar su rendimiento, mediante la deteccin en
dos bandas pticas relacionadas con dos picos de emisin de la quimiluminiscencia
de los radicales OH* y CH* [130]. En una aplicacin como esta, en la que los
fotodetectores estn situados muy cerca de una fuente intensa de calor, resulta de
especial importancia la utilizacin de fotodetectores cuyo comportamiento trmico
es tal que permite su utilizacin con niveles razonables de ruido.
1
Naturalmente tambin es posible, mediante procesos poco optimizados, la fabricacin de
fotodetectores de gap ancho con psimos niveles de ruido.
2
Entendiendo por pequeos los fotodetectores cuya rea activa es menor de 1 cm2 .
3
Para obtener el ttulo de Ingeniero de Telecomunicacin por la Universidad Politcnica de
Madrid (UPM). Realizado durante el curso 2003-2004 en el Instituto de Sistemas Optoelectrnicos
y Microtecnologa (ISOM) y Departamento de Ingeniera Electrnica (DIE) de la Escuela Tcnica
Superior de Ingenieros (ETSI) de Telecomunicacin.
14
2.1 Introduccin
En este captulo, a modo de continuacin del trabajo iniciado durante el PFC,

se ha hecho un estudio terico y experimental del comportamiento con la temperatura de distintos parmetros de calidad de un fotodetector. Se han caracterizado
en alta temperatura fotodetectores basados en silicio, y en distintas estructuras
basadas en nitruros (p-i-n de GaN, p-i-n de InGaN, p-i-n de GaN con pozos cunticos), prestando especial atencin al nivel de ruido. Se presentan sucesivamente
las medidas realizadas a los distintos tipos de diodos, y se incluye finalmente un
apartado en el que se comparan sus rendimientos.
2.1.1.
La Detectividad especfica D
Aunque la caracterizacin en alta temperatura admite muchas dimensiones

(velocidad, ruido, respuesta, degradacin) se ha considerado conveniente establecer
la comparacin en trminos de la detectividad especfica [36, 61]:
D =
A f
NEP
(2.1)
Donde A es el rea activa del detector, f es el ancho de banda elctrico considerado, y NEP es la potencia equivalente de ruido4 (Noise-equivalent power). D se
expresa habitualmente en cm Hz1/2 /W. La ecuacin (2.1) puede ser reescrita de
la siguiente forma [36]:
A f
D =
<
(2.2)
In
Donde < es la responsividad del fotodetector e In es el valor eficaz5 de la corriente
de ruido a la salida. Normalizando el valor de la corriente de ruido por el ancho de
banda considerado, obtenemos:
< A
D =
in
(2.3)
Donde in es la densidad espectral de la corriente de ruido a la salida del detector,
expresada en A/ Hz.
4
La potencia equivalente de ruido se define como la potencia ptica que debe incidir sobre el
detector para que la relacin seal a ruido (SNR, Signal-Noise Ratio) sea 1.
5
Se ha adoptado la notacin utilizada por Sergio Franco en su libro Design with operational
amplifiers and analog integrated circuits
[40]: en , in se refieren, respectivamente,
a la densidad
espectral de la tensin de ruido (V/ Hz) y de corriente de ruido (A/ Hz), e2n , i2n a las densidades
15
La detectividad especfica, que representa la relacin entre la sensibilidad (responsividad) del dispositivo y el ruido, normalizada por el rea y el ancho de banda
elctrico considerado, ofrece una cuantificacin muy apropiada para valorar la calidad de un fotodetector a la hora de medir niveles pequeos de luz. Sin embargo,
no debe olvidarse que, en funcin de la aplicacin, debern considerarse otros
parmetros, como el tiempo de respuesta o la linealidad con la potencia incidente.
Dentro de las fuentes de ruido intrnsecas al fotodetector es interesante destacar
las siguientes [36, 85]:
Ruido trmico o Johnson: causado por el movimiento trmico de las partculas cargadas. Para un resistor de valor R, a una temperatura T , el valor
eficaz de la corriente de ruido est determinado por la expresin:
In,J =
p
4kT f /R
(2.4)
Donde k es la constante de Boltzmann y f es el ancho de banda considerado.

Ruido de disparo o shot: causado por la naturaleza discreta de los portadores
de carga, cuya generacin obedece a una distribucin de Poisson, resultando
en la siguiente expresin para el valor eficaz de la corriente de ruido:
In,shot =
2qif
(2.5)
Donde q es la carga del electrn, y i es la corriente media que atraviesa el

dispositivo.
Ruido de generacin-recombinacin: causado por las fluctuaciones en la generacin de portadores de carga y su recombinacin. Esta contribucin no debe
ser tenida en cuenta para detectores que poseen una barrera de potencial y
funcionan en modo fotovoltaico, sino para aquellos que funcionan en modo
fotoconductivo [36].
Ruido 1/f : este ruido ha sido ampliamente estudiado y se han propuesto
mltiples hiptesis sobre su origen [85]. Recibe su nombre de su distribucin
espectrales de potencia (PSD, Power Spectral Density) de ruido de tensin (V2 /Hz) y de corriente
(V2 /Hz), y En , In a los valores eficaces o rms (root mean square).
16
2.2 Tcnicas experimentales
espectral:
i2n =
i2n,1Hz
,
f
(2.6)
Fluctuaciones de temperatura: la ausencia de un equilibrio trmico en el

sistema de medida y el dispositivo durante la medida es causa de ruido en la
misma.
Microvibraciones: los desplazamientos mecnicos del sistema son tambin
fuente de ruido.
De todas estas fuentes de ruido, se van a considerar especialmente6 el ruido
trmico y el 1/f . En cuanto al 1/f , no se encuentra presente en los detectores
funcionando en modo fotovoltaico, por lo cual ser caracterizado en estudios bajo
polarizacin elctrica. Por tanto, en fotodetectores funcionando en modo fotovoltaico el ruido trmico queda como la contribucin ms relevante al ruido del
dispositivo.
Expresin de la variacin con la temperatura. La detectividad sufre, en
la mayora de los dispositivos, una degradacin con la temperatura que responde
a una ecuacin exponencial. De forma anloga a como es costumbre expresar un
decaimiento exponencial en el tiempo mediante el tiempo de vida, que se corresponde como el tiempo tras el cual la magnitud medida ha disminuido en un factor
1/e, en este texto se va a expresar la tasa de cada de la detectividad utilizando la
expresin una dcada por x Kelvin. Esta forma de expresarlo permite visualizar
inmediatamente la magnitud de la degradacin, dado que proporciona una estimacin directa de la variacin trmica necesaria para producir un cambio de un orden
de magnitud. Sin embargo, tngase en cuenta para aquellas degradaciones que no
son constantes con la temperatura, que, aunque sea expresada de esta manera,
sigue siendo una tasa puntual, y no una tasa media en un intervalo amplio.
2.2.
Tcnicas experimentales
En los siguientes apartados se describen las tcnicas que se han utilizado en

este captulo. En la seccin 2.2.1 se resumen los principales procesos necesarios
6
Para una justificacin, consultar la seccin 2.2.4.
17
para la fabricacin de los fotodetectores. Por otra parte, la caracterizacin de fotodetectores conlleva la utilizacin de distintas tcnicas para estudiar sus distintas
propiedades; en la seccin 2.2.2 se hace un repaso general de las principales, para
profundizar en las siguientes secciones en los mtodos usados para la caracterizacin del ruido.
2.2.1.
Crecimiento y fabricacin de los fotodetectores
El proceso por el cual, a partir de las materias primas, se obtienen fotodetectores como los caracterizados en este captulo se puede dividir en dos grandes
bloques: el crecimiento del material y la fabricacin en s de los dispositivos.
El crecimiento consiste en creacin de una estructura epitaxial con una estructura en capas caracterizadas por su espesor, composicin y dopaje, que hacen de
base para la fabricacin de un dispositivo con unas caractersticas determinadas.
Dado que las propiedades de los semiconductores estn ntimamente relacionadas
con su estructura cristalina, es importante que las capas crecidas reproduzcan
esta estructura lo mximo posible, idealmente formando un nico monocristal sin
defectos. Existen diversidad de tcnicas de crecimiento, de las que es conveniente
destacar las dos por las que se han fabricado los fotodetectores de este captulo: el
epitaxia de haces moleculares (MBE, Molecular Beam Epitaxy) y la epitaxia en fase
gaseosa de organo-metlicos (MOVPE, Metal-Organic Vapor-Phase Epitaxy). En
la primera el crecimiento se produce por la incidencia de haces moleculares de las
sustancias constituyentes del semiconductor sobre un sustrato a alta temperatura
en un ambiente de ultra-alto vaco; en estas condiciones, los tomos tienden a
ocupar posiciones de mnima energa en la superficie, que son, precisamente, las
que les corresponden por la estructura cristalina. En la segunda, los constituyentes
del semiconductor son transportados por complejos orgnicos en un ambiente sin
vaco, reaccionando sobre la superficie del semiconductor, y reproduciendo la estructura cristalina del sustrato. Ambos mtodos poseen ventajas e inconvenientes,
en los que no se va a ahondar aqu al no haber formado parte de mi trabajo el
crecimiento de semiconductores.
En cuanto a la fabricacin, tpicamente abarca los procesos de ataque mesa,
depsito y aleacin de contactos, y soldadura, siendo necesaria la litografa como
paso intermedio en cada uno de los pasos:
Litografa: es el proceso clave para poder hacer procesos en la superficie
18
semiconductora sin afectar a la totalidad de la misma, de manera que se

puedan definir distintas partes con distintas funciones en ella. El proceso de
litografa comienza con el depsito de una capa fina y uniforme de resina
sobre la superficie de la muestra, lo cual se logra por un proceso de girado o
centrifugado (spinning) a 3000-5000 rpm. Esta resina es sensible a la incidencia de luz de determinada energa, tpicamente ultravioleta,7 de modo que
sus propiedades qumicas cambian y su comportamiento al ser introducida en
el lquido revelador (es decir, si se disuelve, o, por el contrario, permanece) es
distinto tras la exposicin. Para discriminar qu parte de la superficie debe
permanecer y cul debe ser eliminada, la exposicin se hace a travs de una
mscara, tpicamente un vidrio o cuarzo con un diseo metlico opaco, a
menudo fabricado en cromo. Una vez la resina ha sido revelada puede ser
utilizada en subsiguientes procesos para diferenciar partes funcionales del
dispositivo.
Ataque mesa: consiste en la eliminacin de parte del material semiconductor
de algunas partes de la oblea para poder acceder a capas inferiores que quedaron enterradas durante el crecimiento (como la capa n en un diodo p-n) o para
aislar distintas partes del dispositivo. Este ataque se puede llevar a cabo por
distintos mtodos, fsicos, qumicos, o hbridos. Los ataques qumicos suelen
ser menos anistropos, produciendo perfiles ms suaves, mientras que los
fsicos producen mejores perfiles pero tienden a daar ms las superficies. El
ataque por iones reactivos (RIE, Reactive Ion Etching) es un mtodo hbrido
que combina la accin fsica de erosin de iones acelerados por un plasma
contra la superficie de la muestra con la accin qumica de algunos de esos
iones, logrando un equilibrio entre ambos mecanismos. Es muy utilizado por
sus buenos resultados y alta reproducibilidad, y gran capacidad de control
del proceso. Para poder diferenciar qu partes se atacan y cules no, ser
necesario un proceso litogrfico para que la resina que permanece proteja las
partes que deben resultar intactas.
Depsito y aleacin de contactos. Este paso es fundamental para poder hacer
una interfaz entre el exterior del dispositivo, donde las seales se mueven por
cables conductores metlicos, y el interior del mismo, donde los electrones y
7
Durante mi doctorado tambin he utilizado resinas sensibles a la incidencia de un haz de

electrones, lo cual permite la definicin de patrones nanomtricos.
19
huecos se mueven en el potencial peridico de una red cristalina semiconductora. Los metales son evaporados en cmaras donde se ha hecho vaco y estos
vapores se depositan sobre la muestra, formando la capa metlica deseada.
Dependiendo de cmo sea esta evaporacin, hablaremos de un depsito Joule
(la evaporacin se produce por el calentamiento de una resistencia metlica
por la que se hace circular una corriente de varios amperios) o por haz de
electrones (la evaporacin se produce por un calentamiento local producido
por un intenso haz de electrones acelerados). Dado que el depsito se realiza
igual en toda la muestra, ser necesario proteger partes de esta por un proceso
litogrfico, realizndose al final un proceso de levantamiento de la resina o
lift-off, que arrastra el metal depositado sobre ella. Tras el depsito, y dependiendo del tipo de contacto que se quiera crear (hmico o Schottky), puede
ser necesario el aleado de los mismos, que consiste en calentar la muestra
a determinada temperatura durante un tiempo en un ambiente inerte para
evitar la oxidacin. Si la temperatura es elevada y el tiempo de calentamiento
crtico de cara al resultado, este proceso se puede realizar en un horno de
aleado trmico rpido (RTA, Rapid Thermal Annealing), que realiza una
subida y/o bajada de temperatura de pendiente controlada y rpida.
Soldadura o bonding: tras los procesos anteriormente descritos, el dispositivo
puede ser caracterizado en una estacin de puntas, pero si bien esto es til
para su caracterizacin preliminar, es poco prctico para su manipulacin
y utilizacin. Por ello las muestras se suelen adherir a un porta-muestras
(los utilizados en esta tesis han sido del tipo TO5 y TO8), y sus contactos
soldados con un hilo metlico de oro o aluminio a un terminal fcilmente
manipulable con los dedos. La microsoldadora logra la adhesin del hilo al
contacto metlico y el terminal mediante la aplicacin de presin, temperatura, y ultrasonidos.
Si bien no todos los dispositivos utilizados en este captulo han sido fabricados
por m, he tenido durante mi tesis la oportunidad de aprender a realizar todos
estos procesos tecnolgicos para la fabricacin de fotodetectores.
2.2.2.
Caracterizacin de fotodetectores
Aunque son muchas las propiedades que se pueden caracterizar en un fotodetector, quiz la ms especfica de este tipo de dispositivos es la respuesta a la
20
luz.
La respuesta espectral de los fotodetectores, es decir, su responsividad (relativa) en funcin de la longitud de onda de deteccin, ha sido caracterizada con
la ayuda de una lmpara de Xenon y un monocromador Jobin Ybon de 25 cm,
utilizando los elementos pticos adecuados para focalizar el haz incidente sobre la
muestra y maximizar la seal. Las medidas se han realizado pulsando el haz con un
troceador o chopper mecnico, y detectando el nivel de alterna con amplificador
lock-in SR530 de Stanford Research Systems. La medida en alterna proporciona
una mayor robustez en la medida, eliminndose automticamente los errores de
continua (luz ambiente, etc.). En todos los casos se ha comprobado que la respuesta del fotodetector es lo suficientemente rpida, de modo que se puede considerar
la respuesta en alterna igual a la respuesta en continua. El espectro de emisin
del conjunto ha sido caracterizado con un fotodiodo S1336-8BQ de Hamamatsu
Photonics, del que se solicit una calibracin entre 200 nm y 1200 nm.
La respuesta absoluta de los fotodetectores, es decir, la medida de su responsividad en A/W, se hizo utilizando un lser de He-Cd de 325 nm.
En cuanto a las medidas elctricas, se realizaron con dos analizadores de parmetros de semiconductores, el 4145B y el 4156C de Hewlett Packard - Agilent.
Para las medidas en baja temperatura se utiliz un criostato estndar de ciclo
cerrado de Helio, con una temperatura mnima de funcionamiento de aproximadamente 10 K. Las medidas en alta temperatura se realizaron con una estacin de
alta temperatura con acceso ptico diseada y fabricada para el ISOM por Jmicro.
Dicha estacin permite realizar medidas en corriente continua y radiofrecuencia de
temperatura ambiente hasta aproximadamente 350 o C.
2.2.3.
Caracterizacin del ruido de baja frecuencia
El ruido de baja frecuencia se ha caracterizado con un analizador dinmico

de seal SR780 de Stanford Research Systems. El SR780 cuenta con dos canales
de entrada de alta sensibilidad cuya entrada se amplifica, digitaliza y procesa
digitalmente para calcular la densidad espectral de seal en un intervalo de frecuencias determinado. Su frecuencia mxima de funcionamiento es de 100 kHz, y
sus entradas tienen un ruido menor de 10 nVrms / Hz.

Dado que lo que se pretende medir es la distribucin espectral del ruido en
corriente, no en tensin, es necesario el uso de un amplificador de transimpedancia
para convertir la seal del fotodetector en tensin. Para ello se dise y fabric
21
un amplificador de bajo ruido, en parte basado en el trabajo realizado por el Dr.

Javier Miguel durante la realizacin de su PFC [154].
El esquema bsico del amplificador se ha representado en la parte (a) de la
figura 2.1, en la que tambin se ha desarrollado el circuito equivalente del fotodetector en modo fotovoltaico (b). Consiste, bsicamente, en un amplificador de
transimpedancia cuya red de realimentacin es un circuito RC paralelo.
Figura 2.1: Esquema del amplificador de transimpedancia conectado a un fotodiodo

(a) y circuito equivalente del mismo (b).
Aunque frecuentemente se encuentran amplificadores de transimpedancia con
red de realimentacin en T, esta configuracin no es apropiada para la fabricacin
de un amplificador de bajo ruido. El efecto principal de la red de realimentacin en
T es la consecucin de una resistencia de realimentacin efectiva alta, aunque si se
hace un estudio riguroso del ruido [40] se puede observar que esta configuracin es
equivalente a la de una sucesin de dos etapas de amplificacin, una de transimpedancia y otra de tensin, en la que el ruido final est limitado por la resistencia de
realimentacin de la primera etapa (que se corresponde con la primera resistencia
de la red en T). Dado que se dispone de un instrumento con alta sensibilidad para
caracterizar el ruido en tensin, se opt por la red de realimentacin simple RC,
en una sola etapa.
En un circuito como el descrito en la figura 2.1, y siendo en y in la tensin y la
corriente de ruido a la entrada del amplificador operacional, el ruido de tensin a
la salida para frecuencias intermedias8 e2no viene dado por la expresin:
e2no

=
Rf + RS
en
RS
2
+ (Rf in )2 + Rf2
4kT
Rf ||RS
(2.7)
en la que se pueden apreciar las contribuciones debidas a la amplificacin de la

8
Frecuencias intermedias es la regin en la que el espectro se corresponde con un ruido blanco,

por encima del ruido de baja frecuencia y por debajo del primer polo o cero del amplificador.
22
tensin y corriente de ruido del amplificador, y al ruido trmico de las resistencias

que forman parte del amplificador. Es importante notar que tanto en el primer
trmino como en el ltimo hay una dependencia con la resistencia paralelo del
dispositivo RS , aunque con distintas implicaciones. En el primer trmino esta dependencia se debe a que el ruido de tensin del operacional es amplificado por
la ganancia no inversora 1 + Rf /RS , por lo que esta contribucin se considerar
parte del fondo del sistema. En el tercer trmino se debe al ruido trmico generado
en la propia resistencia RS . La parte de este ltimo trmino correspondiente a
RS se considerar parte del ruido a medir, mientras que el procedente de Rf se
considerar parte del fondo del sistema.
La eleccin del amplificador operacional variar en funcin de las caractersticas
del dispositivo a medir. As, si la impedancia de este es muy baja, convendr elegir
un amplificador de baja en , mientras que si esta es alta, pasa a ser limitante el valor
de in . En este caso se ha escogido un amplificador con un compromiso entre ambos
extremos, el OPA627 de Burr-Brown, con en = 4.5 nV/ Hz, in = 1.6 fA/ Hz

En la figura 2.2 se ha representado el ruido blanco del sistema a frecuencias
intermedias, en funcin de la resistencia de entrada RS , para varios valores de Rf .
Los smbolos son valores experimentales, y las lneas la prediccin terica a partir
de la ecuacin (2.7). Los smbolos en RS = 1 T corresponden al caso de circuito
abierto a la entrada.
La sensibilidad de este amplificador viene determinada por la corriente de ruido
equivalente a la entrada ini , que se obtiene dividiendo el ruido en tensin a la salida
eno (ecuacin (2.7)) por la ganancia de transimpedancia Rf del amplificador:
i2ni

=
en
RS ||Rf
2
+ i2n +
4kT
RS ||Rf
(2.8)
Aunque de la observacin de la ecuacin (2.7) pueda parecer que al aumentar el

valor de Rf aumenta el ruido del sistema, al considerar la ecuacin (2.8) se puede
deducir que la sensibilidad del sistema de medida de ruido ser mayor cuanto mayor
sea esta. Al aumentar su valor, algunas de las contribuciones a eni crecen con Rf
1/2
y otras crecen con Rf , mientras que la seal de inters crece con Rf , que es la
ganancia del amplificador. Para aumentar la sensibilidad del amplificador usaron
resistencias de hasta 1 G. Es importante notar que este efecto slo se consigue si la
resistencia que se coloca entre los terminales V y Vout del amplificador operacional
tiene este valor, y no si esta ganancia se consigue con una red de realimentacin
23
eno
1G
-1
100M
-2
10M
-3
1M
10
10
rms
/Hz
1/2
10
(V
Densidad espectral de ruido a la salida
Rf
10
10
-4
100k
-5
10k
10
10
-6
10
-7
10
-8
10
100
10k
1M
100M
Resistencia del dispositivo
10G
Rs (
1T
Figura 2.2: Nivel de ruido a la salida del amplificador de bajo ruido: prediccin
terica (lneas) y valores experimentales (smbolos).
en T. En la figura 2.3 se puede observar la prediccin terica de la sensibilidad del

sistema en funcin de las resistencias RS y Rf .
Cuando se pretenden medir bajos niveles de ruido bajo altas ganancias de
transimpedancia, como es el caso, puede suceder que el nivel de continua de la
seal sature completamente la primera etapa del amplificador. Una posible solucin
para esto sera incluir una etapa de filtrado pasoalto. La desventaja de esta ltima
solucin es que esta etapa de filtrado modificara considerablemente el ruido de baja
frecuencia que se pretende medir. Por ello, se ha optado por aadir a la entrada un
restador de corriente, que consiste en unir el terminal negativo del amplificador a
una tensin constante y regulable a travs de una resistencia del valor apropiado.
Para evitar que esta etapa aada ruido al sistema, se ha utilizado en la generacin
de esta tensin continua un potencimetro que hace variar la tensin del cursor
entre dos valores de tensin estabilizados con diodos zener de 5 V.
Para terminar con la descripcin del amplificador es conveniente resumir su
respuesta en frecuencia, dado que hasta ahora slo se ha considerado el nivel de
24
-9
10
-10
10
Rf
-11
10
10k
-12
10
100k
(A
rms
/Hz
1/2
Densidad espectral de ruido a la entrada i
ni
1M
-13
10
10M
100M
-14
10
1G
-15
10
10
100
1k
10k
100k
1M
10M 100M
Resistencia del dispositivo
1G
Rs (
10G 100G
1T
Figura 2.3: Prediccin terica del nivel de ruido a la entrada del amplificador de
bajo ruido.
ruido blanco a frecuencias intermedias. Observando el esquema de la figura 2.1

se puede apreciar que la red de realimentacin corresponde con la de un filtro
paso-bajo, incluso aunque la capacidad Cf est presente nicamente en forma de
parsito. La frecuencia de corte de dicho filtro ser fp = (2Rf Cf )1 [40]. Al
aumentar la ganancia de transimpedancia Rf disminuye la frecuencia fp , como se
puede observar en la figura 2.4. En esta figura tambin se puede apreciar cmo el
propio amplificador tiene ruido de baja frecuencia de tipo 1/f (lo cual concuerda
con las especificaciones, ya que en no es plano). Dicho ruido queda enmascarado por
el ruido blanco de los dos segundos trminos de la ecuacin (2.7) en los intervalos
de frecuencia caracterizados al aumentar Rf por encima de 100 M. Tambin se
pueden apreciar en la figura 2.4 los picos de interferencia de la red elctrica (50 Hz)
y sus armnicos.
25
-5
10
1 G
1/2
100 M
10 M
rms
/Hz
-6
10
(V
Densidad espectral de ruido a la salida
1 M
-7
10
100 k
-8
10
100mHz
1Hz
10Hz
100Hz
1kHz
10kHz
100kHz
Frecuencia (Hz)
Figura 2.4: Densidad espectral de ruido a la salida del amplificador.
2.2.4.
Medida del ruido en modo fotovoltaico en muestras

de alta impedancia
En muchas de las muestras estudiadas la magnitud del ruido en modo fotovoltaico est por debajo del fondo de ruido del sistema experimental utilizado (para un
fondo 1029 A2 /Hz como el de nuestro sistema, esto ocurre para los fotodetectores
con una resistencia paralelo mayor de 1 G).
Tal y como se desarrolla en el tercer captulo del libro Optical Radiation Detectors de E. L. Dereniak y D. G. Crowe [36], para un fotodetector en modo
fotovoltaico, y bajo ciertas premisas, podemos asumir que la mayor contribucin
al ruido es la del ruido trmico. El ruido de tipo 1/f es proporcional a la corriente
de continua que atraviesa el dispositivo, por lo que es posible eliminarlo operando
el dispositivo de manera que se anule la corriente media; adems, ser irrelevante
a la hora de medir una seal ptica modulada, que ser el modo de operacin
normalmente preferido en caso de tratar con fotocorrientes muy bajas. La otra
contribucin relevante, el ruido shot, es intrnseco a la propia radiacin incidente
que se pretende medir, y por tanto nada se puede hacer para reducirlo en el propio
detector. Su valor depende de la tasa media de absorcin de fotones: para tasas
altas, aunque el ruido ser alto, tambin lo ser la propia seal a medir; para tasas
26
bajas, la contribucin del ruido shot ser despreciable en comparacin con el ruido
trmico.
En este modo de operacin, el dispositivo se puede modelar como una fuente
de corriente con una resistencia en paralelo (shunt). Esta resistencia es la que
determina el nivel de ruido trmico presente en el dispositivo y puede ser obtenida
de la siguiente manera:

di
1
RS =
(2.9)
dv v=0
Utilizando las ecuaciones (2.3) y (2.4), la expresin de la detectividad especfica
limitada por ruido trmico quedara [36]:
r
D =<
RS A
4kT
(2.10)
Es comn en la literatura [11, 25, 26, 72, 78] que el valor calculado de la detectividad sea el de la detectividad limitada por ruido trmico, determinado por estas
ltimas ecuaciones. En esta tesis, se ha adoptado este criterio y se utiliza este valor
para todas las medidas realizadas en modo fotovoltaico, incluso para aquellas en
las que el ruido trmico es superior al fondo del sistema experimental de medida
de ruido y podra ser caracterizado experimentalmente de una manera directa.
Es importante notar, sin embargo, que la comparacin directa de la detectividad as obtenida en distintas muestras puede dar lugar a una valoracin errnea
de la bondad de los detectores. La elevada detectividad de un detector cuyo nivel de ruido es muy bajo ( 1029 A2 /Hz) es difcil de aprovechar, dado que si
este est por debajo del fondo del sistema experimental para la medida de ruido,
tambin estar por debajo, generalmente, del ruido generado por la electrnica de
amplificacin del sistema final, por lo que la relacin seal a ruido global estara
limitada por esta electrnica y podra ser peor que en el caso de haber utilizado
un detector de peor detectividad pero mayor responsividad o rea.
2.2.5.
Sistema de medida en alta temperatura
Como se ha expuesto anteriormente, las medidas optoelectrnicas y elctricas

en alta temperatura se realizaron en una estacin diseada y fabricada para el
ISOM. Dicha estacin dispone de dos cabezales para encapsulados de tipo TO5
y TO8. Una vez introducida la muestra, se hace circular un flujo constante de
27
nitrgeno para evitar la oxidacin de las muestras al elevar la temperatura, y se

calienta la muestra mediante una resistencia. La temperatura se estabiliza con un
sensor en el propio cabezal. Dado que existe un importante gradiente trmico y que
este sensor no est situado en la propia muestra, la temperatura real en funcin de
la nominal fue calibrada por el investigador Roberto Cuerdo con una resistencia
de platino.
Un efecto imprevisto de la medida en alta temperatura es la prdida de aislamiento de los materiales que componen los TO al aumentar la temperatura. Estos
encapsulados estn compuestos por una parte circular, sobre la que se pega la
muestra, y que sirve de estructura sobre la que se sustentan las patas en las
que se realiza la soldadura. Estas patas estn aisladas elctricamente de la parte
circular por un vidrio, cuya conductividad elctrica es extremadamente baja a
temperatura ambiente. Sin embargo, se pudo comprobar que, al aumentar la temperatura, la resistividad de este vidrio desciende dramticamente, llegando a ser
un problema para realizar una medida precisa de un dispositivo, especialmente si
lo que se pretende medir es una curva IV de un dispositivo con elevada resistencia
paralelo. Adems de este problema, se pudo observar la aparicin de una tensin
por efecto Seebeck entre terminales. Esto se debe a que los cabezales de medida,
as como los caminos elctricos que conectan las patas del TO con los conectores
coaxiales del exterior, estn compuestos por distintos metales, y a que los puntos
de unin entre metales no se encuentran necesariamente a la misma temperatura
para los distintos contactos. Esta asimetra causa una fuerza electromotriz neta a
lo largo de un camino cerrado, que es fcilmente observable.
En la figura 2.5 se muestra una representacin esquemtica de la situacin
durante la medida (a), en la que se pueden apreciar el encapsulado TO, el vidrio
aislante que separa sus distintas partes conductoras, los conectores coaxiales de
salida, y las distintas uniones entre metales a diferentes temperaturas. A la derecha (b) se puede observar una fotografa de los encapsulados TO5. Debajo (c) se
ha dibujado el circuito equivalente, con las fuentes de tensin Seebeck (VSi ), las
conductancias del vidrio (RG ), el dispositivo a medir (DUT, Device Under Test),
y los terminales en los que se conectaran las unidades de fuente y medida (SMU,
Source and Measurement Unit) del analizador de parmetros de semiconductor.
La resistencia RG del vidrio pasa de ser prcticamente ideal a temperatura
ambiente, a descender hasta aproximadamente 3 M al calentar hasta 350 o C.
Las tensiones Seebeck (VSi ), por otra parte, son difciles de estimar, aunque s es
28
(a)
(b)
DUT
SMU1
VS1
RG
SMU2
RG
VS3
VS2
(c)
Figura 2.5: Representacin esquemtica del cabezal de la estacin de alta temperatura y el encapsulado TO5 durante la medida en alta temperatura (a), fotografa
de un TO5 sin dispositivo (b) y circuito equivalente (c).
fcilmente medible la diferencia de tensiones entre dos caminos elctricos (VSi
VSj ). En concreto, entre el correspondiente a cada uno de los terminales y el de
la carcasa, la diferencia de tensin se mueve en el intervalo entre 0 V y 0.2 V
al efectuar la rampa de temperatura. La tensin Seebeck entre dos terminales de
medida es muy pequea debido a la mayor simetra del gradiente trmico.
La combinacin de estos dos efectos es perjudicial para una correcta medida
slo en el caso de estar midiendo corrientes muy pequeas, es decir, dispositivos
con una resistencia muy alta, como es nuestro caso. En caso que el dispositivo a
medir tuviera una resistencia pequea (R 1 M), sera vlido suponer que el
vidrio sigue siendo aislante. Adems, si bien es cierto que seguira existiendo una
tensin Seebeck, se pudo comprobar que la fuerza electromotriz que la genera es
29
relativamente pequea, y no es capaz de mantener el voltaje durante largo tiempo

al dejar fluir libremente la corriente entre sus extremos.
En nuestro caso, es tpico en las medidas IV de dispositivos con dos terminales
conectar uno de ellos (SMU2) a masa, ya sea virtual o real, y medir la corriente
inyectada en el terminal en el que se aplica la tensin (SMU1). A la vista del
circuito equivalente representado en la figura 2.5, esta configuracin de medida
tendra su sensibilidad limitada por la corriente inyectada en la resistencia RG
correspondiente a ese terminal, siendo imposible medir con exactitud dispositivos
cuya resistencia equivalente fuera mayor que la del aislamiento de vidrio. La manera
de evitar que estos efectos degraden la medida de la corriente es que esta se realice
en el terminal conectado a una tierra virtual (SMU2). Al hacer de este modo la
medida, desaparecen las seales parsitas dependientes de la tensin aplicada, y
slo permanecen una tensin VS1 VS2 en serie aadida al dispositivo (muy pequea
por la simetra trmica) y una corriente inyectada en el terminal SMU2 de valor
(VS3 VS2 )/RG . Esta ltima se puede cancelar fcilmente si la caracterizacin
se hace lo suficientemente lenta, ya que en rgimen esttico y sin iluminacin, a
tensin aplicada cero, la corriente a travs de un diodo debe ser nula.
Aunque en este apartado se ha descrito hasta ahora el sistema de cara, nicamente, a la medida de la IV , esta misma estacin se utiliz tambin para medir
la evolucin de la respuesta espectral de los distintos fotodiodos caracterizados en
funcin de la temperatura. En la mayora de los casos la caracterizacin se hizo,
tras una medida a temperatura ambiente, incrementando la temperatura en saltos
de 50 o C, entre 50 o C y 350 o C. Tpicamente, el tiempo durante el que se mantena
una temperatura se fij en 20 minutos, que es un tiempo adecuado para dejar un
margen para la estabilizacin trmica del dispositivo y efectuar las medidas de IV
y respuesta espectral. Dependiendo del tiempo de medida de la respuesta espectral,
ya que algunos de los dispositivos se caracterizaron en intervalos de longitudes de
onda mayores, en algunos de los dispositivos fue necesario aumentar ligeramente
este tiempo. La mayora de los ciclos trmicos se hicieron repitiendo las medidas
correspondientes a cada temperatura durante la etapa de bajada de la temperatura, por lo que la duracin total del experimento rondaba las 6 horas. Como se ha
comentado, despus de que el termmetro del sistema diera por estable la temperatura, se dejaba sistemticamente transcurrir un tiempo adicional de estabilizacin,
que rondaba los 2 minutos. Para establecer este tiempo, se hicieron una serie de
registros temporales de la corriente de un dispositivo durante la rampa trmica y
30
2.3 Fotodiodos de silicio
posterior estabilizacin, y se pudo verificar que el dispositivo alcanza rpidamente

unos valores estables tras la finalizacin de la rampa.
2.2.6.
Sistema de medida del ruido RTS
En algunas de las muestras caracterizadas se observ la presencia de ruido

Random Telegraph Signal (seal telegrfica aleatoria). Este tipo de ruido consiste
en la alternancia en la seal de dos o ms niveles de corriente, con una apariencia de seal cuadrada y tiempos aleatorios entre transiciones [119, 161, 189]. La
caracterizacin de este ruido debe ser hecha en el dominio del tiempo, y no en el
dominio de la frecuencia. Para ello se amplific la seal con el sistema descrito
en la seccin 2.2.3 y se registr con un osciloscopio digital DL1720 de Yokogawa
Electric Corporation.
2.3.
Fotodiodos de silicio
2.3.1.
Motivacin del estudio
El silicio es, posiblemente, el semiconductor ms utilizado hoy en da, cubriendo un amplio espectro de aplicaciones comerciales. Hasta tal punto esto es as,
que el trmino silicio es asociado actualmente con el mundo tecnolgico, siendo
posiblemente el nico semiconductor que es ampliamente conocido por la sociedad. El silicio encuentra uso en gran cantidad de aplicaciones, particularmente en
electrnica de consumo, donde prcticamente todo el procesado y amplificacin de
informacin se confa en dispositivos de este material.
Tambin en el campo de la optoelectrnica est su uso muy extendido, a pesar de poseer un gap indirecto. Por citar dos de sus principales usos, se puede
mencionar el campo de la produccin de energa fotovoltaica, donde los dispositivos basados en silicio, a pesar de ofrecer peores prestaciones que los basados en
otros materiales, son claramente dominantes, y el campo de la fotografa, en el
que durante la ltima dcada el silicio ha reemplazado al nitrato de plata de los
carretes convencionales como elemento sensor. Hay, incluso, trabajos encaminados
a utilizar el silicio como emisor de luz [153].
Sin embargo, esta mayor utilizacin de la electrnica basada en el silicio responde, en la gran mayora de los casos, a criterios econmicos y de madurez tecnolgica,
y no a que el material en s sea el ms apropiado para la fabricacin de dispositivos.
31
En concreto, en el caso que nos atae, la deteccin de luz en el intervalos

ultravioleta y visible, el silicio tiene distintas caractersticas que hacen pensar que
puede haber alternativas que ofrezcan mejores prestaciones:
El silicio cristalino tiene un gap indirecto, lo cual hace que su coeficiente de
absorcin aumente de una manera muy poco abrupta9 con la energa de los
fotones.
El gap del silicio cristalino es de 1.12 eV, equivalente aproximadamente a
1100 nm, con lo cual es necesario utilizar un filtrado externo si se desea que
el fotodetector no sea sensible a la luz infrarroja.
Al tener un gap relativamente estrecho, la densidad intrnseca de portadores es mucho mayor que en otros semiconductores de gap ancho. Esto tiene
consecuencias perjudiciales sobre sus caractersticas elctricas y su comportamiento trmico.
Dado que en este captulo se pretende caracterizar el comportamiento en alta
temperatura de dispositivos fotodetectores basados en distintas estructuras de semiconductores III-N, se consider interesante caracterizar, como punto de partida
para la comparacin, el comportamiento de fotodetectores comerciales de silicio.
Concretamente se han caracterizado detectores de tipo p-i-n. Estos fotodetectores
presentan diversas ventajas, como su simplicidad de uso (pueden funcionar sin
necesidad de un circuito de polarizacin) o su alta velocidad de respuesta, que
hacen que sean considerados un estndar para una gran variedad de aplicaciones.
2.3.2.
Estudio terico
Detectividad y producto RS A
Como se ha comentado en la introduccin, el principal parmetro en el que
se basa la comparacin es la detectividad especfica D . En su funcionamiento en
modo fotovoltaico, el ruido del dispositivo, y por tanto D , estn determinados
por la resistencia paralelo, que a su vez se obtiene de la curva IV (ecuacin (2.9)).
9
Poco abrupta comparacin con otros materiales de gap directo; esto tiene como consecuencia
que la profundidad de penetracin de la luz y la cantidad de luz absorbida en un espesor fijo
varen mucho en funcin de la longitud de onda.
32
En este apartado se presenta un estudio terico de la dependencia de RS , como

elemento limitante de la detectividad, con la temperatura.
Es conocido que la relacin corriente tensin ideal de un diodo de unin p-n
responde a la ecuacin [162]:

I = I0 eeV /kB T 1
(2.11)
donde I0 es la corriente de saturacin en inversa, e la carga del electrn, V la

tensin aplicada, kB la constante de Boltzmann, y T la temperatura de operacin.
Sustituyendo en la ecuacin (2.9), obtenemos:
RS1 =
I0 e
kB T
(2.12)
En un dispositivo en que los espesores de las capas p y n son suficientemente

grandes, el valor de la corriente de saturacin I0 es:

I0 = eA
Dp pn Dn np
+
Lp
Ln

(2.13)
donde Dp y Dn son los coeficientes de difusin de huecos y electrones, pn y np la

concentracin de huecos en la zona n y de electrones en la zona p, y Lp y Ln las
longitudes de difusin de huecos y electrones. En caso de un diodo estrecho, en el
que las capas p o n del diodo no sean mayores que esta longitud de difusin, estas
se vern sustituidas en la ecuacin por la anchura efectiva de la capa.10
Teniendo en cuenta que np pp = nn pn = n2i , suponiendo que los aceptores y
donantes estn completamente ionizados (nn = Nd , pp = Na ), y combinando las
ecuaciones (2.12) y (2.13), obtenemos:
e2 n2i
RS A =
kB T

Dp
Dn
+
Nd Lp Na Ln
1
(2.14)
Es conveniente trabajar con el valor del producto resistencia-rea RS A ya que,

aparte de ser el que se introduce en la ecuacin (2.10), nos permite proporcionar
un dato caracterstico del material, independiente de la geometra. Lgicamente,
interesa que el valor RS A sea tan alto como sea posible.
A la vista de la ecuacin (2.14), y de cara a obtener un detector con una
10
Es decir, la anchura de la parte que est fuera de la zona de deplexin.
33
alta detectividad especfica, parece intuitivo pensar que es positivo aumentar los
niveles de dopaje tanto como se pueda. Sin embargo, al aumentar la densidad de
dopantes disminuye el tiempo de vida medio de los portadores minoritarios, y,
consecuentemente, la longitud de difusin, de modo que tanto Nd Lp como Na Ln
alcanzan un valor de saturacin. Para el caso del silicio, este valor ronda los 1015
1014 cm2 [178] [35]. Aumentar la concentracin de donantes por encima de 1017
no mejora el valor de RS A, salvo que se trate de un diodo estrecho, en cuyo caso
es conveniente aumentar el dopaje hasta que la longitud de difusin sea del orden
del espesor de la capa.
Si en la ecuacin (2.14) introducimos los valores los coeficientes de difusin y
la concentracin intrnseca de portadores ni [162] es posible calcular valor mximo
del producto RS A a temperatura ambiente. Para el caso del silicio, obtenemos
RS A > 5 1010 cm2 . Esto se traducira, para un fotodetector de silicio con
una respuesta de11 0.6 A/W a 950 nm (correspondiente a una eficiencia cuntica
externa = 0.78), y a temperatura ambiente, en una detectividad D = 1.0
1015 cm Hz1/2 /W.
Sin embargo, este valor de RS A est obtenido para el caso en que el espesor de la
capa superior (tpicamente p) es mayor que la longitud de difusin. El diseo tpico
de un fotodetector de tipo p-i-n incluye una capa superior estrecha para favorecer
que la absorcin de la luz en la regin intrnseca, lo cual aumenta considerablemente
la velocidad de respuesta. Dado que el coeficiente de absorcin del silicio en el
visible es aproximadamente 104 cm1 = 1 m1 , el espesor de la capa
superior va a ser casi inevitablemente menor que la longitud de difusin (para un
dopaje de Na = 1019 cm3 la longitud de difusin en silicio tipo p sera del orden
de 5 m). Aunque un fotodiodo puede tener distintos diseos, en funcin de qu
figura de mrito se desee potenciar para una aplicacin concreta [51], difcilmente
se lograr alcanzar el nivel de RS A mximo. En el cuadro 2.1 se muestran algunos
ejemplos de fotodiodos comerciales de silicio de diversos fabricantes, junto con su
respectivo RS A.
Como se puede observar, los valores estn tpicamente comprendidos entre 107
y 1010 cm2 . Los que mayor producto RS A presentan, de Hamamatsu Photonics,
se quedan aproximadamente a un orden de magnitud del mximo terico.
11
Ntese que 950 nm corresponde a la regin infrarroja del espectro electromagntico. En la

regin visible, la responsividad disminuye por la mayor energa de los fotones, siendo tpicos
valores de 0.2 A/W para luz violeta o 0.4 A/W para luz roja.
34
Fabricante
Hamamatsu Photonics
Centronics
Pacific Sensors
OSI Optoelectronics
rea activa RS
(mm2 )
(G)
S1133
6.6
100
S1136-33
33
0.4
S1227-1010
100
2
S2387-1010
100
5
S2387-130
35
20
OSD100-7
100
0.2
OSD5.8-7
5.8
3
OSD35-5
35
0.1
PS100
100
0.2
PS50
50
0.3
UV-100
100
0.01
Fotodiodo
RS A
( cm2 )
6.6 109
1.3 108
2.0 109
5.0 109
7.0 109
2.0 108
1.7 108
3.5 107
2.0 108
1.5 108
1.0 107
Cuadro 2.1: Producto RS A de algunos fotodiodos comerciales de silicio.

Evolucin trmica
Si analizamos la ecuacin (2.14) y recurrimos a los conocimientos que se tienen
sobre el comportamiento las propiedades de semiconductores en alta temperatura,
podemos observar que casi todos los parmetros presentan una variacin con la
temperatura, como n2i , Dp , Dn , Lp , Ln , y, por supuesto, T . Esta variacin trmica
se puede reducir a la expresin [171]:
I0 T
(3+/2)

Eg
exp
kT
(2.15)
donde Eg es la energa del gap y es una constante relacionada con la variacin

trmica del coeficiente de difusin y del tiempo de vida medio de los portadores
minoritarios. Segn Sze,12 la variacin del trmino potencial de T es despreciable,
y podemos aproximar la variacin trmica de I0 (y por tanto de RS ) al trmino
exponencial exp(Eg /kT ), relacionado con el aumento con la temperatura de la
densidad intrnseca de portadores ni .
Esta dependencia supone una disminucin de la resistencia paralelo RS de un
fotodiodo de aproximadamente una dcada cada 20 K a temperatura ambiente.
Esta prediccin se ajusta notablemente bien a las curvas proporcionadas en las
hojas de caractersticas de Hamamatsu Photonics y OSI Optoelectronics, los nicos
12
Ver Physics of Semiconductor Devices, S. M. Sze, apartado 2.3, para una discusin sobre la
caracterstica IV de los dispositivos de unin pn [171].
35
fabricantes de los anteriormente mencionados que incluyen esta informacin, y

nicamente hasta 80 o C y 100 o C, respectivamente. Esta tendencia conlleva una
prdida en la detectividad de los detectores muy acusada con la temperatura. De
hecho, en las hojas de caractersticas de estos fotodetectores, se especifican unos
intervalos de temperatura mximos para almacenamiento y operacin que rara vez
superan los 125 o C y los 100 o C, respectivamente.
Valores tericos de GaN
Haciendo unos clculos similares para el nitruro de galio, con valores obtenidos
de la literatura [4, 5, 12], se obtiene el valor mximo del producto resistencia-rea:
RS A > 1048 cm2 , casi 40 rdenes de magnitud mayor que la del silicio. Esta
sorprendente diferencia se debe a la gran diferencia en la concentracin intrnseca de portadores ni de ambos semiconductores, que a su vez se explica por su
dependencia exponencial con el gap Eg .13
Este estudio terico deja patente un hecho: no es eficiente utilizar semiconductores de gap estrecho para la deteccin de fotones muy energticos, porque un gap
estrecho significa ms ruido. Por tanto, si se desea utilizar un fotodetector para la
deteccin de luz visible o ultravioleta, ser conveniente, al menos desde el punto
de vista del ruido, utilizar uno cuyo gap se ajuste lo mximo posible a los fotones
objetivo.
En cuanto a la dependencia trmica, la prediccin terica estima una degradacin de una dcada cada 5 K a temperatura ambiente y cada 20 K a 300 o C. El
hecho de que esta disminucin sea mucho ms acusada que la del silicio se debe,
nuevamente, a la dependencia exponencial con el gap.
Desafortunadamente, la tecnologa de nitruros no est tan desarrollada como
la del silicio, y no es posible acercarse tanto al lmite terico como en el caso
de los fotodetectores de silicio. La falta de disponibilidad de un sustrato para
homoepitaxia tiene como consecuencia la gran concentracin de defectos de distintos tipos en el material, y la corriente de oscuridad en uniones pn es mucho
mayor que lo predicho tericamente. An as, como se ver ms adelante en este
captulo, los fotodetectores basados en nitruros presentan unas caractersticas de
13
En el libro Physics of Semiconductor Devices, de S. M. Sze, segunda edicin (no en la tercera),

pgina 748, se puede encontrar una figura en la que se representa la detectividad mxima terica
y la tpica de varios semiconductores en funcin de la longitud de onda, donde se puede observar
claramente este comportamiento exponencial tan acusado.
36
ruido a temperatura ambiente comparables a las del silicio, y un comportamiento

trmico mejor, siendo posible utilizarlos sin degradacin en un amplio intervalo de
temperaturas.
2.3.3.
Caracterizacin
Para la caracterizacin de la evolucin trmica se eligi el fotodiodo de silicio

comercial OSD5.8-7Q de Centronic, cuya superficie til es de 5.8 mm2 . Los fotodiodos de la serie 7 de Centronic estn optimizados para su funcionamiento en la
regin ultravioleta del espectro. Presentan una resistencia paralelo elevada, mucho
mayor que la de la mayora de los fotodiodos de propsito general. Adicionalmente, est disponible comercialmente en encapsulado TO5, muy conveniente para su
caracterizacin en la estacin de alta temperatura del ISOM.
o
25 C (prev.)
Responsividad (A/W)
0.20
25 C (post.)
o
50 C
0.18
75 C
o
0.16
100 C
o
125 C
0.14
150 C
0.12
0.10
0.08
240
260
280
300
320
340
360
380
400
420
Longitud de onda (nm)
Figura 2.6: Respuesta espectral para varias temperaturas del OSD5.8-7Q durante
la subida del ciclo trmico, y al final del mismo (lnea discontinua).
En la figura 2.6 se muestra la respuesta espectral del fotodiodo de silicio entre
250 nm y 400 nm, cada 25 K, entre 25 o C y 150 o C. Tambin se muestra, en lnea
discontinua, la respuesta a temperatura ambiente tras el ciclo trmico. Como se
puede observar, la respuesta vara en aproximadamente un 20 % para fotones muy
37
energticos, mientras que vara menos para luz ms cercana al visible. Esta mayor
variacin se debe, posiblemente, a que al ser el coeficiente de absorcin del silicio
mayor en el ultravioleta que en el visible, la absorcin se produce ms cercana a la
superficie, y por tanto la corriente que produce es ms sensible a variaciones que la
temperatura provoca en la estructura del dispositivo y las propiedades del material
(cambio en movilidad, tiempos de recombinacin, densidad de portadores, ancho
de la zona de carga espacial, etc.). Tambin se puede observar que hasta 100 o C
la variacin es montona y bastante homognea, mientras que a 125 o C parece
haber un cambio de tendencia, con un menor aumento de la fotocorriente o incluso
disminucin cerca del visible, y que a 150 o C la respuesta tiene un importante
descenso. Se puede observar, como era esperable, que el nivel de ruido va claramente
en aumento con la temperatura. Por ltimo, comparando las curvas a 25 o C antes y
despus del ciclo trmico (lneas negras, continua y discontinua, respectivamente),
se observa que las propiedades del dispositivo se han visto afectadas, aumentando
su responsividad. Dado que el silicio no es el material objeto principal de esta
tesis, no se ahond en la caracterizacin de los efectos de la temperatura, pero es
interesante notar que el paso por 150 o C no deja intacto el dispositivo, y que esto,
independientemente de que el cambio sea a mejor o peor, es una desventaja en
trminos de metrologa, dado que una variacin incontrolada en las propiedades
del dispositivo aumenta la incertidumbre de la medida que se pretende hacer con
l.
Durante el ciclo trmico se midi, para cada temperatura, la curva IV del
dispositivo, para obtener la resistencia paralelo a partir de la ecuacin (2.9). Los
valores de esta resistencia se muestran en la figura 2.7.
La resistencia paralelo medida a 25 o C tiene un valor de 1.0 G, por encima
del valor garantizado en la hoja de caractersticas del dispositivo, 0.5 G, pero
por debajo del valor tpico,14 3 G. Teniendo en cuenta que su superficie til es de
5.8 mm2 , obtenemos un valor de RS A = 5.8 107 cm2 , aproximadamente tres
rdenes de magnitud por debajo del lmite terico. En cuanto a la dependencia
trmica, el valor de RS cae aproximadamente a un ritmo de una dcada cada 18 K
a temperatura ambiente, lo cual es perfectamente consistente con los valores predichos tericamente y descritos en las hojas de caractersticas de otros fotodiodos
basados en silicio.
14
El valor tpico, segn la hoja de caractersticas, est medido a 22 o C. Una extrapolacin

de la medida de la resistencia paralelo en nuestro dispositivo a esa temperatura dara un valor
RS = 1.5 G. Ntese cun acusada es la dependencia trmica en el silicio, en el que el valor de
38
10
12
10
D*
10
10
10
11
10
10
10
10
10
10
10
10
25
50
75
100
125
150
10
Detectividad especfica
)
(
RS
Resistencia paralelo
11
10
1/2
13
10
12
10
(cmHz
13
10
/W)
Temperatura ( C)
Figura 2.7: RS y D en funcin de la temperatura del fotodiodo OSD5.8-7Q.

Tambin en la figura 2.7 se ha representado el valor de la detectividad especfica
D en funcin de la temperatura, calculado para este fotodiodo a partir de su
responsividad y el valor de la resistencia paralelo RS . Como se puede observar, la
cada de D con la temperatura es de aproximadamente una dcada cada 40 K a
temperatura ambiente, es decir, muy acusada. A 150 o C la detectividad ha cado
casi tres rdenes de magnitud con respecto a su valor a temperatura ambiente, y
los detectores estn al lmite de sus posibilidades de uso.15
Aunque no se encontraba entre los objetivos de este captulo la realizacin

de un estudio riguroso de los efectos sobre las caractersticas de los dispositivos
de una exposicin prolongada a altas temperaturas, en todos ellos se realiz la
caracterizacin elctrica tras el ciclo trmico (en muchos, de hecho, durante toda la
etapa de bajada de temperatura) y en gran parte de ellos tambin la caracterizacin
de la respuesta espectral. Esta ltima slo se vio modificada en el caso del silicio,
resultando inalterada en todos los dispositivos basados en nitruros analizados,
RS disminuye un 33 % con slo aumentar 3 o C la temperatura.
15
De hecho, bastante sobrepasadas si atendemos a las recomendaciones de la hoja de caractersticas, que para este dispositivo en concreto recomiendan limitar su uso a 70 o C y su
almacenamiento a 125 o C.
39
mientras que las caractersticas elctricas en todos los casos permanecan iguales
o incluso mejoraban ligeramente.
2.4.
Fotodiodos p-i-n de GaN
De cara a establecer una comparacin entre el silicio y los nitruros, resulta muy
conveniente la caracterizacin de un dispositivo fotodetector compuesto ntegramente de GaN. El proceso de crecimiento del GaN est mucho ms maduro que
el del InN, y no presenta las dificultades que se encuentran en el crecimiento de
InGaN, como la separacin de fases [20, 163]. Dado que, como se ha comentado
anteriormente, el rendimiento de los fotodetectores de nitruros se encuentra todava alejado de su mximo terico, estando limitado por factores tecnolgicos, es
importante caracterizar el comportamiento con la temperatura de un fotodetector
de esta familia tan libre de estas limitaciones como sea posible, y, para ello, el GaN
es el mejor candidato.
Por otra parte, en los fotodetectores de pozo cuntico caracterizados en este
captulo el material de barrera (y del resto de la estructura) es, precisamente, GaN.
De hecho, una de las ventajas se espera que presenten es que sus caractersticas
elctricas se parezcan ms a aquellas del GaN, de un gap mayor y ms maduro
tecnolgicamente, que a las de un fotodetector de InGaN en volumen de longitud
de onda de absorcin equivalente. Por ello es importante, para poder establecer la
comparacin, caracterizar un fotodetector fabricado ntegramente en GaN.
Los fotodetectores utilizados en esta seccin son dispositivos de tipo p-i-n de
GaN, crecidos sobre sustrato de zafiro por MOVPE (Metal-Organic Vapor-Phase
Epitaxy, epitaxia en fase gaseosa de organo-metlicos). La anchura de la regin de
carga espacial a temperatura ambiente de la estructura caracterizada (GN1621),
determinada por CV , es de 130 nm. Se fabricaron fotodetectores con y sin acceso
ptico, y de distintos dimetros entre 5 m y 400 m.16 El material fue crecido en
los laboratorios del Engineering and Physical Sciences Research Council (EPSRC)
Centre for Nitride Semiconductors de la Universidad de Sheffield, Reino Unido,
por el equipo del profesor Peter Parbrook, y los dispositivos fueron fabricados por
mi como parte del trabajo de una estancia de tres meses en sus instalaciones. En
la seccin 2.8.3 se dan ms detalles sobre su fabricacin y sobre esta colaboracin.
16
Se utilizaron dos mscaras de fotolitografa: en la primera, de dispositivos con dimetros entre

50 m y 400 m, el contacto superior opaco no cubra la totalidad del dispositivo, pudindose
40
2.4 Fotodiodos p-i-n de GaN
Se caracteriz el comportamiento en alta temperatura de uno de los dispositivos

con acceso ptico, de 100 m dimetro. En la figura 2.8 se muestra la respuesta
espectral de dicho dispositivo, en funcin de la temperatura.
-1
Responsividad (A/W)
10
25 C
o
50 C
o
100 C
-2
10
150 C
o
200 C
o
250 C
o
300 C
o
350 C
-3
10
300
320
340
360
380
400
Figura 2.8: Respuesta espectral del p-i-n de GaN en alta temperatura.

Como se puede observar, la respuesta espectral por encima de gap es prcticamente independiente de la temperatura. El borde de absorcin, como es lgico,
sufre un desplazamiento hacia el rojo correspondiente con la disminucin del gap
con la temperatura. Merece la pena observar que a 350 o C de temperatura la
respuesta de este fotodetector se ha desplazado casi 20 nm y que prcticamente
se introduce en la regin visible del espectro. A la hora de disear un fotodetector
para su funcionamiento en alta temperatura, para lo que los nitruros estn especialmente indicados por su ancho gap, es fundamental considerar la modificacin
del borde de absorcin por la temperatura. El valor de mxima respuesta, aunque se desplaza en longitud de onda, permanece aproximadamente constante en
torno a los 0.17 A/W, con un ligero incremento de un 17 %. Esta responsividad
a temperatura ambiente es un 40 % superior a la del silicio y se corresponde con
iluminar a travs de la superficie del GaN; en la segunda, con dimetros comprendidos entre 5 m
y 100 m, el contacto opaco superior cubra casi totalmente la superficie de la mesa, siendo slo
posible excitarlos a travs de las caras laterales y las escasas reas descubiertas de la superficie
superior.
41
una eficiencia cuntica de en torno al 60 %, cercano al mximo alcanzable en un

fotodetector sin ganancia.
En la figura 2.9 se ha representado la evolucin de la resistencia paralelo RS y
de la detectividad especfica D de uno de los dispositivos de 400 m de dimetro,
en funcin de la temperatura, durante un ciclo trmico completo.
/W)
13
13
10
D*
11
10
10
10
12
10
temperatura en ascenso
temperatura en descenso
10
50
100
150
200
250
300
(cmHz
12
10
RS
1/2
10
350
Temperatura ( C)
Figura 2.9: RS en funcin de la temperatura del p-i-n de GaN.

Se puede observar que la resistencia paralelo a temperatura ambiente no sufre
degradacin a consecuencia del ciclo trmico (as como la corriente de oscuridad
de cuya derivada se ha obtenido RS ) y vuelve a valores aproximadamente iguales
a los de partida. El producto resistencia-rea de este dispositivo es de RS A =
1.3 109 cm2 , unas 20 veces superior a la del fotodiodo de silicio caracterizado, y
ligeramente inferior al de otros fotodetectores de silicio comerciales. El descenso de
la resistencia con la temperatura se corresponde con una tasa de aproximadamente
una dcada cada 110 K, es decir, aproximadamente cinco veces mejor que el de
un fotodiodo de silicio. Tanto es as que el producto RS A de este detector de GaN
sera mejor que el de los mejores fotodetectores de silicio a partir de tan slo 40 o C,
y superara el lmite terico del silicio a partir de 60 o C.
En cuanto a la detectividad especfica, se puede observar, como era esperable del anlisis de RS A y de su buena responsividad, que alcanza un valor de
42
2.5 Fotodiodos p-i-n de InGaN
D = 4.7 1013 cm Hz1/2 /W a temperatura ambiente y que tiene un excelente

comportamiento trmico, con una degradacin de aproximadamente una dcada
cada 200 K.
2.5.
Fotodiodos p-i-n de InGaN
Como se ha visto en la seccin anterior, el GaN presenta unas caractersticas

excelentes en cuanto a deteccin en alta temperatura se refiere. Sin embargo, dado
que su gap es ancho, es un material apropiado para la deteccin de luz en el ultravioleta cercano pero no para la deteccin en el intervalo visible del espectro. Para
desplazar su borde de absorcin hacia este intervalo lo ms natural es introducir
indio en su composicin, formando un ternario. Se consider interesante, por tanto,
estudiar una estructura p-n, pero basada en el ternario InGaN, en vez de en GaN.
Para ello se utiliz la muestra R392, crecida y procesada por el Dr. Juan Pereiro
como parte de los experimentos de su doctorado [143].
La estructura de In0.18 Ga0.82 N fue crecida por MBE (Molecular Beam Epitaxy,
epitaxia de haces moleculares) sobre un template de (0001)-GaN tipo n crecido en
reactor MOVPE por la empresa francesa Lumilog. Se crecieron 400 nm de material
tipo n seguidos por 150 nm de material de tipo p. La anchura de la regin de carga
espacial en modo fotovoltaico a temperatura ambiente, caracterizada por CV , es de
aproximadamente 50 nm. Se fabricaron dispositivos de 3 3 mm2 , con un contacto
hmico semitransparente en la zona p de Ni (5 nm) / Au (5 nm) y un pad de
soldadura de Ni (50 nm) / Au (200 nm), aleados a 450 o C durante 10 minutos, y
contacto sobre la zona n de Ti (50 nm) / Al (200 nm). La responsividad mxima
en modo fotovoltaico a temperatura ambiente de este dispositivo es de 0.01 A/W.
En [143] se dan ms detalles sobre el crecimiento, fabricacin, y caracterizacin a
temperatura ambiente de estos dispositivos.
En la figura 2.10 se muestra la evolucin de la respuesta espectral de este
fotodetector en alta temperatura. En ella se puede observar el desplazamiento
hacia el rojo por el estrechamiento del gap a medida que aumenta la temperatura.17
Tambin se puede observar que inicialmente el aumento de temperatura tiene un
efecto favorable en la fotorrespuesta, especialmente en el intervalo de longitudes
17
Si bien puede parecer que tal desplazamiento no se produce entre 300 o C y 350 o C, al coincidir
sus respuestas por encima de 500 nm, este efecto se debe a la disminucin de responsividad
observada a 350 o C, de modo que si en esta figura se representara cada curva normalizada por
su valor mximo, se podra observar claramente el corrimiento.
43
-2
Responsividad (A/W)
10
25 C
o
50 C
o
100 C
-3
10
150 C
o
200 C
o
250 C
o
300 C
o
350 C
-4
10
380
400
420
440
460
480
500
520
Figura 2.10: Respuesta espectral del p-n de InGaN en alta temperatura.

de onda cercanas al gap del material. A partir de 200 o C, sin embargo, el aumento
de temperatura produce un decremento de la fotorrespuesta aparentemente plano.
Se tomaron medidas durante ambas fases del ciclo trmico (subida y bajada), no
observndose degradacin de la respuesta tras el mismo.
En la figura 2.11 se ha representado la evolucin de la resistencia paralelo RS y
de la detectividad especfica D del fotodiodo en funcin de la temperatura. Como
se puede observar, tras sufrir el ciclo trmico, RS cambia, y aumenta notablemente
(se duplica, aproximadamente). Si bien, como se hizo notar en el caso del silicio,
desde el punto de vista metrolgico, no es deseable que las caractersticas de un
dispositivo se vean afectadas por el ciclo trmico, en este caso la caracterstica que
vara est relacionada con el ruido superpuesto a la medida, y no con la magnitud
de la misma (responsividad), con lo cual podemos considerar este efecto como
beneficioso. No se ha profundizado en el estudio de los efectos de la temperatura
en la estabilidad a largo plazo del dispositivo.
El producto resistencia-rea de este dispositivo a temperatura ambiente tiene
el valor RS A = 6.5 103 cm2 . Este valor est muy por debajo de los valores
obtenidos para el silicio o para el GaN, y muy por debajo tambin de lo que
debera ser el comportamiento ideal del material. Tal discordancia se debe a la
44
2.5 Fotodiodos p-i-n de InGaN

10
10
10
10
D*
(cmHz
10
10
Temperatura en ascenso
Temperatura en descenso
3
10
50
100
150
200
250
300
350
10
RS
1/2
/W)
10
Temperatura ( C)
Figura 2.11: RS y D en funcin de la temperatura del p-n de InGaN.

ya comentada inmadurez tecnolgica del crecimiento del InGaN. A la inexistencia
de un sustrato de calidad para homoepitaxia, intrnseca de los nitruros, se deben
aadir las dificultades propias del crecimiento de un ternario, el InGaN, que se
mueve en un campo marcado por la acusada diferencia entre las propiedades fsicas
(constante de red, coeficiente de expansin, temperatura ptima de crecimiento,
gap, etc.) de los dos binarios de que procede (GaN e InN). Como consecuencia, las
capas gruesas de InGaN, en la actualidad, tienen una calidad cristalina pobre, y
esto se traslada necesariamente a las caractersticas elctricas de los dispositivos.
En cuanto a la variacin trmica, se puede observar que la tasa de disminucin
con la temperatura no es constante, como en el caso del GaN, ni decreciente, como
en el caso del silicio, sino creciente, de aproximadamente una dcada cada 250 K a
temperatura ambiente a aproximadamente una dcada cada 125 K a 300 o C. Esta
tasa de variacin es mejor que la del GaN (una dcada cada 110 K) y mucho mejor
que la del silicio (una dcada cada 18 K).
Como es lgico, dado el bajo valor de RS A de este fotodetector, presenta una
detectividad especfica muy inferior a la medida en silicio, incluso a 150 o C (4
109 cm Hz1/2 /W frente a 1010 cm Hz1/2 /W del silicio), temperatura a la cual este
se encuentra muy degradado.
45
2.6.
Fotodiodos p-i-n de MQW de InGaN/GaN
A la vista de lo expuesto en los apartados anteriores, parece evidente que, de

cara a la obtencin de una detectividad especfica mxima y de su operacin a alta
temperatura, el silicio, con un gap infrarrojo, no es el material ms adecuado para
la fabricacin de fotodetectores en el intervalo visible y ultravioleta. El nitruro
de galio proporciona unas caractersticas muy superiores a pesar de su relativa
inmadurez tecnolgica, aunque tampoco es adecuado para la deteccin en el visible,
debido a su gap demasiado ancho. De cara a la utilizacin en fotodetectores de
visible, no parece viable la utilizacin de capas gruesas de InGaN para cubrir este
hueco, debido a las grandes dificultades que presenta su crecimiento epitaxial.
Una opcin que puede permitir la utilizacin de fotodetectores de nitruros, con
altas prestaciones elctricas en su funcionamiento a alta temperatura, y evitando
las dificultades del crecimiento de capas gruesas de InGaN es la utilizacin de
pozos cunticos. Al introducir una serie de pozos cunticos en la regin intrnseca
de un fotodetector p-i-n de GaN se consigue extender la respuesta de este hacia
el visible, y, sin embargo, al tratarse de capas muy estrechas, no se compromete
significativamente la calidad cristalina del dispositivo.
Hay muy pocos estudios de ruido en estructuras MQW (Multiple Quantum
Well, mltiple pozo cuntico) de InGaN/GaN en la literatura. Bychikhin et l.
caracterizaron el ruido de baja frecuencia a temperatura ambiente, observando la
presencia de ruido RTS con polarizacin tanto positiva como negativa [14]. YuZung Chiou et l. estudiaron el ruido 1/f , sin observar ruido RTS [22].
Por ello se consider interesante la caracterizacin del ruido de baja frecuencia
de los dispositivos p-i-n de GaN con MQW de InGaN en su regin intrnseca, para
estudiar su dependencia de diversos parmetros [115]. Con la intencin de hacer
una caracterizacin ms exhaustiva, se opt por ampliar el intervalo de medida hasta las bajas temperaturas, por lo que se decidi hacer un estudio general del ruido
de baja frecuencia de estos fotodetectores con la temperatura, caracterizndose en
el intervalo de 25 K a 350 o C.
Una de las ventajas de los fotodetectores basados en MQW es que sus caractersticas elctricas vienen determinadas, en su mayor parte, por la estructura p-i-n
de GaN que soporta los pozos cunticos, y, por tanto, deberan ser altamente independientes de la concentracin de indio en los pozos cunticos y consecuentemente
del borde de absorcin. Para verificar esto se caracterizaron dispositivos con dos
contenidos distintos de indio en el pozo cuntico, concretamente del 10 % y del
46
2.6 Fotodiodos p-i-n de MQW de InGaN/GaN
19 %, aproximadamente.
Finalmente, y dado que en modo fotovoltaico el ruido de los fotodetectores se
considera puramente trmico, y est, adems, por debajo del lmite de deteccin
de nuestro sistema experimental, se realizaron medidas a diversas tensiones de
polarizacin inversa.
2.6.1.
Estudio del ruido de baja frecuencia
Dispositivos caracterizados
Ni (50 nm)
Au (200 nm)
Ni (5 nm)
Au (5 nm)
GaN:Mg
250 nm
50 nm
AlGaN:Mg
~150 nm
InGaN / GaN MQW (7x)

3 nm QW / 17.5 nm period
2.0 - 2.5 mm
Ti (50 nm)
Al (200 nm)
GaN:Si
1.5 - 2.0 mm
GaN
Al2O3
(0001)
Figura 2.12: Representacin esquemtica de la estructura de los dispositivos caracterizados.

Los dispositivos utilizados en este estudio fueron fabricados sobre estructuras
p-i-n con MQW de InGaN/GaN crecidas sobre sustratos de zafiro por MOVPE
47
por la empresa taiwanesa Formosa Epitaxy. Se puede observar su estructura en la

figura 2.12. Poseen una zona de MQW con 7 periodos sin dopar (3 nm de anchura
de pozo, 20 nm de periodo) y contenidos de indio nominales del 10 % y 19 %,
y una capa de bloqueo de electrones de Al0.15 Ga0.85 N de 50 nm. Esta capa, que
se suele incluir en los LED para lograr un bloqueo de los electrones y aumentar
la eficiencia del dispositivo, mejora en los fotodetectores la corriente inversa en
oscuridad, como pudo demostrar el Dr. Carlos Rivera [145]. En la figura 2.13
se puede observar una simulacin de la energa de la banda de conduccin en
funcin de la profundidad, para la muestra con un 10 % de indio, realizada por el
Dr. Rivera.18 Es interesante destacar que, debido a la estructura poco optimizada
de estos dispositivos, la mayor parte del campo elctrico se sita en la barrera de
AlGaN, mientras que la mayora de los pozos se encuentran en zona neutra. Los
dispositivos tienen un electrodo superior semitransparente de Ni/Au (5 nm/5 nm)
para facilitar la recoleccin de portadores. Los contactos hmicos de las capas p y
n consisten en sendas capas de Ni/Au (55 nm/200 nm) y Ti/Al (50 nm/200 nm)
depositadas por evaporacin de haz de electrones y aleadas en horno RTA. El rea
activa de estos dispositivos es aproximadamente 0.1 mm2 . En total, se utilizaron
en este estudio aproximadamente 35 dispositivos.
Banda de conduccin (eV)
4
3
[0001]
2
1
0
50
100
150
200
250
300
Z (nm)
Figura 2.13: Energa de la banda de conduccin en funcin de la profundidad de

la estructura p-i-n con MQW de un 10 % de indio caracterizada.
18
La simulacin de ordenador se llev a cabo usando un solucionador de SchrdingerPoisson

unidimensional basado en el mtodo de elementos finitos [149]. Los parmetros fsicos para el
GaN estn extrados de [183] y los del InGaN de [190].
48
Ruido de baja frecuencia

Como se ha explicado anteriormente, se hizo una extensiva caracterizacin con
los siguientes parmetros:
Contenido de indio: se estudiaron dispositivos con distinto contenido de indio
en el pozo cuntico, concretamente del 10 % y del 19 %.
Temperatura: los dispositivos se caraterizaron entre 25 K y 350 o C.
Tensin: se realizaron medidas en modo fotovoltaico y a tensiones en inversa
entre 2.5 V y 7.5 V.
Frecuencia: el ruido se caracteriz en dos intervalos, 1200 Hz y 250 mHz
50 Hz.
Se observ que el ruido de baja frecuencia tiene una forma de tipo 1/f , que se
ajusta a la siguiente relacin:
Id
2
i n = s1
(2.16)
f
donde i2n es la densidad espectral de potencia de la corriente de ruido, Id es la
corriente de oscuridad del diodo, y s1 , y son parmetros de ajuste.
En la figura 2.14 se ha representado la densidad espectral de ruido entre 1 Hz y
200 Hz de un fotodiodo con un 10 % de contenido de indio, tomado a temperatura
ambiente y a distintas tensiones de polarizacin inversa. En ella se puede apreciar
el ruido de baja frecuencia de tipo 1/f , que para bajas tensiones de polarizacin
queda enmascarado por el valor de fondo del sistema de medida.19
En muchas de las medidas, sin embargo, el ajuste a la ecuacin (2.16) de la
densidad espectral de potencia de ruido medida result ser mucho ms problemtico que en el ejemplo representado en la figura 2.14. Esto se debe a dos motivos
principales:
Algunas de las muestras medidas presentan, a determinadas tensiones o temperaturas, una deriva constante de su corriente de oscuridad. Esta deriva
constante produce un espectro de potencia de tipo 1/f 2 , que puede hacer
que los parmetros de ajuste s1 y aumenten considerablemente.
En este caso el fondo del sistema de medida es 1028 A2 /Hz en vez de 1029 A2 /Hz porque
esta medida fue hecha con la resistencia de realimentacin Rs = 100 M para que la ganancia
del amplificador fuera constante en todo el intervalo de frecuencias medido.
19
49
-22
10
-7.5V
Densidad Espectral de Potencia (A /Hz)
-23
10
-6.5V
-5.5V
-24
10
-25
-4.5V
-26
-3.5V
10
10
-2.5V
-27
10
0V
-28
10
10
100
Frequencia (Hz)
Figura 2.14: Ruido de un fotodiodo de MQW de InGaN con 10 % de indio a

temperatura ambiente.
Algunas de las muestras medidas presentan variaciones en su corriente de
oscuridad de tipo RTS. La aparicin de este tipo de comportamiento en las
muestras no pudo ser predicha a partir de su caracterizacin a temperatura
ambiente. El ruido RTS produce, en el dominio de la frecuencia, un espectro
Lorentziano [86, 198] con su frecuencia caracterstica dentro del intervalo de
caracterizacin elegido, enmascarando por completo el ruido de tipo 1/f .
Aquellas medidas cuyos espectros se alejaban patentemente del comportamiento ideal 1/f , bien por el efecto de la deriva o por la presencia de RTS, se descartaron. El ajuste de los datos arroja valores del parmetro de ajuste comprendidos
entre 1.0 y 1.5. Tpicamente el parmetro se encuentra en el intervalo 1.01.1.
Esta desviacin del comportamiento esperado se puede explicar por la presencia
de pequeas derivas en la corriente de oscuridad o presencia de RTS de pequea
magnitud, de tal modo que la medida no se descartara, pero que sufriera el efecto
de estas perturbaciones.
Una inspeccin detallada de la densidad espectral de potencia a 1 Hz (Sn f =
s1 I ) no muestra ninguna variacin significativa del parmetro de de ajuste
con el contenido en indio del pozo, la temperatura o la tensin de polarizacin.
50

-17
-18
10
-19
10
= 1.7
-20
10
s1
-21
10
= 3.210
-8
-22
(A /Hz)
Densidad espectral de potencia a 1Hz
10
10
-23
10
-24
10
-25
10
-26
10
-27
10
-28
10
-29
10
-13
10
-12
10
-11
10
-10
10
-9
10
-8
10
-7
10
-6
10
Corriente de oscuridad (A)
Figura 2.15: PSD a 1 Hz de cada medida en funcin de corriente de oscuridad.

En la figura 2.15 se muestra la densidad espectral de potencia a 1 Hz en funcin
de la corriente de oscuridad para las distintas medidas realizadas (variando tensin,
temperatura y contenido de indio). El ajuste de estos puntos proporciona unos valores de = 1.7 y s1 = 3.2 108 .20 Anlisis adicionales de los datos experimentales,
realizando ajustes fijando = 1.7 = 2 no revelaron, nuevamente, ninguna
dependencia significativa del resto de parmetros con el contenido de indio, la
temperatura, o la tensin. Sin embargo, como se puede observar en la figura 2.15,
existe una gran dispersin de valores, de casi dos rdenes de magnitud, para un
mismo valor de corriente de oscuridad. Esta gran variabilidad puede deberse a los
problemas citados anteriormente, y podra estar enmascarando la existencia de
algn tipo de tendencia.
Ruido RTS
En aproximadamente un 30 % de las muestras se observ la presencia de ruido
RTS. A modo de ejemplo, en la figura 2.16 se muestra un registro temporal de la
corriente de oscuridad de uno de los diodos con un 10 % de contenido de indio a
20
En [22] se reporta el valor = 1.83.
51
6 V, a temperatura ambiente, junto con el histograma de valores.
Corriente
7.0nA
6.8nA
6.6nA
0.0
0.5
1.0
1.5
2.0
Tiempo (s)
10
Cuentas
10
10
10
10
6.6nA
6.8nA
7.0nA
Corriente
Figura 2.16: Registro del ruido RTS de un diodo con un 10 % de indio, a 6 V y

RT; histograma de los valores de corriente.
El comportamiento tpico observado consiste en una sucesin entre mltiples
valores, identificndose en casos hasta 14 estados distintos. Este ruido se observ
tanto a tensiones inversas como a tensiones pequeas21 en directa. A pesar de que
la falta de reproducibilidad del ruido RTS, evidenciada en la gran variacin del
nmero de niveles, los tiempos de vida y las amplitudes, o incluso en su propia
presencia, dificult la realizacin de una caracterizacin sistemtica y rigurosa, se
exponen a continuacin las conclusiones alcanzadas.
Se analizaron muestras con distintos contenidos de indio, haciendo una monitorizacin elctrica bsica (IV ) inicial, y no se observ relacin alguna entre la
presencia de ruido RTS y caractersticas de los dispositivos como el contenido de
21
En torno a 1.5 V.
52
indio o la magnitud de la corriente de oscuridad.

En las muestras con presencia de RTS, se hicieron registros largos para caracterizar estadsticamente los tiempos de vida de los saltos y sus amplitudes. La
principal herramienta para el anlisis de las amplitudes de los distintos estados es
el histograma, en el que se pueden distinguir claramente los distintos estados y
calcular el valor medio de la amplitud de cada uno. Para la caracterizacin de los
tiempos de vida se hicieron una serie de programas que discriminaban los distintos
saltos y analizan las medidas temporales para obtener una distribucin estadstica
de los tiempos entre transiciones de nivel.
En cuanto a la caracterizacin de amplitudes, es relevante destacar que en las
muestras y condiciones en las que se observ un ruido RTS multinivel se pueden
identificar un estado base y una serie de estados-perturbacin, con una amplitud
asociada. En ocasiones distintos tipos de estados-perturbacin se solapan en el
tiempo. Si bien en estas ocasiones podra ser esperable que la amplitud del estadosuperposicin fuera aquella de las dos perturbaciones originales sumadas, este no
fue el caso. En el cuadro 2.2 se muestran los valores del estado base (O), de tres
estados perturbacin (A, B y C) y de las tres combinaciones posibles (A+B, A+C
y B+C) observados en el histograma de la figura 2.16. La columna corriente
marca la corriente real del estado, perturbacin se corresponde con la amplitud
medida del salto correspondiente a ese estado, y superposicin con la amplitud
esperable de un estado compuesto suponiendo una adicin lineal de las amplitudes.
Estado
O
A
B
C
A+B
B+C
A+C
Corriente Perturbacin Superposicin

(nA)
(nA)
(nA)
6,812
6,867
0,055
6,723
-0,089
6,99
0,178
6,781
-0,031
-0,034
6,92
0,108
0,089
7,054
0,242
0,233
Cuadro 2.2: Estados identificados en el ruido RTS de un diodo con un 10 % de

indio, a 6 V y RT.
Como se puede observar, en ocasiones los valores esperado y medido de la
superposicin difieren significativamente, pudindose incluso observar en el registro
temporal. En otras muestras analizadas este comportamiento se aprecia de una
53
manera todava ms evidente, observndose aumentos de un factor 2 o ms en la

amplitud de un estado cuando coincide con otro.
Para los estudios de los tiempos de vida de los estados, se eligieron muestras
con una menor variedad de estados para facilitar el tratamiento automatizado de
los registros temporales. Los tiempos de vida de estos estados varan en el intervalo
entre los pocos milisegundos y las decenas de segundos. Tpicamente existe una
diferencia de ms de un factor 10 entre los tiempos de vida dentro y fuera
del estado.22 En cuanto a la distribucin estadstica de los tiempos de entrada
a y salida de el estado, se pudo comprobar que responde de una manera muy
precisa a una distribucin de Poisson. Esta distribucin se da cuando un suceso
ocurre con una determinada tasa media, y es independiente del tiempo transcurrido
desde la ltima ocurrencia; o lo que es lo mismo, que la probabilidad de ocurrencia
es constante en el tiempo.
Para estudiar la dependencia de los parmetros del ruido RTS con la tensin de
polarizacin, a temperatura ambiente, se hicieron una serie de registros temporales
a distintas tensiones con saltos pequeos, de 0.25 V, de tal modo que se pudiera
identificar el mismo estado en dos medidas consecutivas, por su semejanza en
amplitud y tiempos caractersticos. Se observ una ligera disminucin del tiempo de
vida de los estados (tanto dentro como fuera) al aumentar la tensin de polarizacin
inversa. En cuanto a la amplitud de los estados, se observaron casos de aumento
y de disminucin con la tensin de polarizacin.
El estudio de esta variacin en funcin de la temperatura muestra que la amplitud relativa23 del ruido RTS disminuye de aproximadamente un 10 % a temperatura
ambiente a aproximadamente un 1 % a 150 o C, siendo a partir de ese punto difcilmente distinguible del ruido 1/f . Esta tendencia se corresponde con un incremento
mayor con la temperatura de la corriente de oscuridad en comparacin con el ruido
RTS.
El ruido RTS tambin fue observado en muestras fotoconductoras de GaN con
MQW de InGaN con conduccin en el plano [115] (en los fotodiodos p-i-n descritos
en este apartado la conduccin es perpendicular a los pozos) y sin embargo no fue
observada en ninguna otra muestra de GaN, fotoconductora o rectificadora, de las
22
Es difcil definir qu es dentro y qu es fuera del estado. Intuitivamente consideraremos
estado base al ms preponderante y perturbacin al menos; sin embargo, esto es una decisin
arbitraria.
23
Definida como el cociente entre la amplitud de los escalones de corriente y el valor medio de
la corriente de oscuridad.
54
muchas analizadas durante esta tesis. Por ello parece seguro afirmar que la presencia de este ruido RTS est relacionada con la presencia de indio en la muestra.
Pensamos que las fluctuaciones en el contenido de indio puedan producir efectos
de localizacin de carga, formndose estructuras similares a los puntos cunticos,
en las que el atrapamiento o liberacin de carga tenga una repercusin significativa
en la conductividad de algn canal de conduccin puntual.24 Adicionalmente, el
hecho de que la superposicin de estados no sea siempre lineal parece indicar que
la conduccin de algunos de estos canales puede verse alterada por el atrapamiento
de carga en ms de un punto.
2.6.2.
Figuras de mrito en alta temperatura
Respuesta espectral
Una vez estudiado el comportamiento del ruido de baja frecuencia de estos
dispositivos, se procedi a cuantificar el efecto de este ruido en la limitacin de la
sensibilidad de estos fotodetectores en alta temperatura. Como ya se ha dicho en
la introduccin, el parmetro de calidad estudiado es la detectividad especfica.
En la figura 2.17 se representa la respuesta espectral de uno de los dispositivos
para cada contenido de indio, en modo fotovoltaico, desde temperatura ambiente
hasta 350 o C.
El primer dato relevante que se puede extraer de la caracterizacin de la
respuesta espectral en alta temperatura de estos dispositivos es que, desde una
apreciacin meramente cualitativa, se puede observar que no hay un incremento
significativo del ruido en las curvas correspondientes a temperaturas superiores,
mantenindose la seal sin una degradacin muy patente. Adicionalmente, la responsividad no disminuye, sino que experimenta un ligero incremento al aumentar
la temperatura. Esto puede ser debido a distintas causas, que no necesariamente
se excluyen mutuamente:
Que el aumento de temperatura aumente la energa media de los portadores y
disminuya la altura efectiva de la barrera de AlGaN, permitiendo un aumento
en la eficiencia de recoleccin de portadores fotogenerados.
24
De hecho, una explicacin habitualmente encontrada en la literatura para explicar el ruido

RTS en otros tipos de estructuras es el atrapamiento y liberacin de carga en un defecto, que
hace variar la corriente total del dispositivo, por ejemplo, por efecto tnel [161].
55
10
(b)
Responsividad (u. arb.)
10
(a)
-1
10
350 C
-2
10
300 C
o
200 C
-3
10
100 C
o
20 C
-4
10
300
350
400
450
500
Figura 2.17: Respuesta espectral en funcin de la temperatura para fotodetectores

con un 10 % (a) y 19 % (b) de indio.
Que aumente la probabilidad de escape de los pozos cunticos de los electrones fotogenerados, aumentando por tanto la fotocorriente correspondiente a
los fotones absorbidos en esta zona. Esto explicara, en todo caso, el mayor
aumento de la fotocorriente correspondiente al InGaN que la del GaN.
Otra caracterstica a destacar de las curvas representadas en la figura 2.17 es
que la responsividad en los pozos (en torno a 400 nm y 440 nm a 20 o C para
(a) y (b), respectivamente) es sensiblemente menor que en las longitudes de onda
correspondientes al GaN. Esto se debe a la menor profundidad de absorcin efectiva
del InGaN respecto del GaN, a lo que hay que aadir el hecho de que no todos los
pozos cunticos estn dentro de la regin de carga espacial.
Es sabido que el gap de los semiconductores disminuye al aumentar la temperatura de estos. Al disminuir la energa del gap aumenta la longitud de onda del
borde de absorcin. La relacin entre la energa del gap y la temperatura puede
modelarse con la ecuacin emprica de Varshni [180]:
Eg (T ) = Eg (0)
56
T 2
+T
(2.17)
donde T es la temperatura, Eg la energa del gap, Eg (0) la energa del gap a 0 K,

y y son parmetros de ajuste empricos.
Este efecto se puede observar en la figura 2.17, tanto en el borde de absorcin de
los dispositivos como en la longitud de onda del mximo de responsividad, correspondiente a la absorcin del GaN, que sufren un desplazamiento hacia el rojo. Se
ha estudiado la evolucin de la longitud de onda de un punto representativo de las
respuestas espectrales de cada dispositivo, aproximadamente correspondiente con
la absorcin en los pozos. Este punto se ha hecho corresponder con la longitud de
onda cuya responsividad ha cado un factor 20 con respecto al mximo. Las energas
correspondientes a estos puntos se han ajustado a la ecuacin de Varshni (2.17).
Para ajustar la evolucin de los pozos se ha calculado el gap del InGaN con una
interpolacin parablica cuyo parmetro de bowing, b = 2 para los diodos con 10 %
de indio y b = 1.7 para los de 19 %, se obtuvo de [39], El resto de parmetros (, )
han sido interpolados linealmente. Los parmetros de Varshni del GaN y del InN
para el ajuste y la interpolacin se han tomado de la literatura [129, 172, 191].
Compuesto
GaN
InN
In0.09 Ga0.91 N
In0.18 Ga0.82 N
Eg (0)
3.476
0.690
3.061
2.743
6.77104
4.10104
6.53104
6.30104
772
454
743
716
Cuadro 2.3: Parmetros de ajuste de la ecuacin de Varshni.

En el cuadro 2.3 se muestran los parmetros que ajustan la evolucin con la
temperatura de las energas del gap del GaN y del InGaN de los pozos. Como
se puede observar, los contenidos de indio que arroja el ajuste se ajustan muy
bien a los valores nominales. Esta congruencia, sin embargo, es escasamente significativa, debido a la gran incertidumbre existente en la literatura sobre los parmetros de Varshni [129] y sobre el parmetro de bowing [39]. Adems, la forma
de estimacin del valor del gap de los pozos a partir de las respuestas espectrales (<gap = <max /200) es poco rigurosa, dado que este ajuste no aspiraba ms
que a buscar la consistencia de la evolucin trmica medida con los parmetros
disponibles en la literatura.
La respuesta espectral tambin se caracteriz a 2.5 V and 5 V de polarizacin
inversa a todas las temperaturas. A modo de ejemplo, en la figura 2.18 se muestra
la respuesta espectral a temperatura ambiente y a 0 V, 2.5 V y 5 V de polarizacin
57
inversa de los fotodetectores con 10 % y 19 % de contenido de indio.

4
10
(b)
10
(a)
10
5.0 V
2.5 V
0.0 V
1
10
300
350
400
450
Longitud de Onda (nm)
Figura 2.18: Respuesta espectral en funcin de la tensin temperatura para fotodetectores con un 10 % (a) y 19 % (b) de indio.
Se puede observar un incremento en la fotocorriente al aplicar tensiones crecientes en inversa, a todas las temperaturas. Aunque los valores exactos varan, este
incremento es sistemticamente mayor de 0 V a 2.5 V que de 2.5 V a 5 V, lo cual
indica una saturacin en el mecanismo de ganancia. Tambin se puede observar
que el incremento de fotocorriente es mayor en la regin de correspondiente a los
pozos que en la correspondiente al GaN. Esto es consistente con el comportamiento
de dispositivos similares que se describe en el apartado 2.8.2, que fue publicado
en [149], que consiste en un incremento no homogneo de la fotocorriente correspondiente a la absorcin en los pozos al aumentar la tensin en inversa, debido a la
inclusin de nuevos pozos en la regin de carga espacial. Este comportamiento se
observa aqu en las curvas correspondientes a los fotodiodos con ambos contenidos
de indio, si bien es ms evidente en los dispositivos con un 10 % de indio. Al
aumentar la temperatura, este fenmeno es cada vez menos marcado.
58
Detectividad
Para el clculo de la detectividad en funcin de la temperatura, es preciso disponer de medidas de responsividad absoluta de los fotodetectores. Esta magnitud
se caraceriz haciendo uso de un lser de Helio - Cadmio de 325 nm. Para los
fotodiodos con un 10 % de indio la responsividad de pico result ser de 40 mA/W,
y 28 mA/W para los de 19 % de indio. Los clculos de detectividad, sin embargo,
dado que la introduccin de pozos cunticos de InGaN slo tiene sentido de cara
a la deteccin en energas por debajo del gap del GaN, no se han hecho utilizando
este valor mximo. En lugar de ello, se ha tomado un valor de referencia 20 nm
por encima del mximo de responsividad en el caso de los fotodetectores de 10 %
de indio, y 45 nm para los detectores con un 19 % de indio. Este mtodo permite
evaluar la respuesta en puntos equivalentes al variar la temperatura, siendo una
aproximacin lo suficientemente precisa del desplazamiento de las longitudes de
onda de absorcin por el estrechamiento del gap.25 Si, en lugar de ello, se evaluara
la responsividad a una longitud de onda fija, sera dominante el efecto de aumento
de fotocorriente por el desplazamiento del borde de absorcin.
A temperatura ambiente la respuesta en los pozos del dispositivo con un 10 %
de indio es de 11 mA/W, mientras que la del fotodiodo con un 19 % de indio
es 12 mA/W. Estos valores tan bajos (ms de un factor 10 por debajo de la
del p-i-n de GaN) son debidos, principalmente, a dos razones: el bajo espesor
de absorcin de la zona de pozos y la situacin de la mayora de estos fuera de
la regin de carga espacial. Aunque la absorcin en mltiples pozos no es igual
a la absorcin en un espesor compacto equivalente de material, se puede hacer
una estimacin aproximada de los niveles que seran esperables: 7 pozos de 3 nm
constituyen una capa absorbente de 21 nm, en la que, suponiendo un coeficiente
de absorcin de 105 cm1 , tpico del GaN a energas ligeramente superiores al
gap [105], se absorber el 19 % de la radiacin incidente, que se correspondera
con una responsividad de 60 mA/W a 400 nm. Teniendo en cuenta que, a la
vista de la figura 2.13, slo dos de los pozos parecen estar sometidos a campo
elctrico, esta responsividad se vera reducida a unos 17 mA/W, que supone una
aproximacin razonable a la responsividad medida, teniendo en cuenta la gran
25
Al aumentar la temperatura, el mximo de responsividad sigue dndose en longitudes de

onda correspondientes al gap del GaN modificado por la variacin de temperatura; por tanto,
una medida con un desplazamiento fijo con respecto a esta referencia proporcionar un valor con
una correccin aproximada de este estrechamiento.
59
cantidad de simplificaciones adoptadas.

Durante el ciclo de medida en alta temperatura se caracteriz la curva corrientetensin (IV ) del los dispositivos. En las figura 2.19 y 2.20 se muestra la evolucin
de la corriente de oscuridad en funcin de la tensin aplicada en los dispositivos
con un 10 % y 19 % de indio, respectivamente, de temperatura ambiente a 350 o C.
-3
10
-4
10
-5
10
-6
Corriente (A)
10
-7
10
-8
10
350 C
-9
10
300 C
o
-10
250 C
10
200 C
-11
10
150 C
-12
10
100 C
o
50 C
-13
10
RT
-14
10
-10
-8
-6
-4
-2
Tensin (V)
Figura 2.19: IV de un dispositivo con 10 % de indio en alta temperatura.

Tal y como se explic en el apartado 2.2.4, se toma, para estimar la densidad
espectral de corriente de ruido en modo fotovoltaico, el valor del ruido trmico
correspondiente a una resistencia del valor de la resistencia paralelo equivalente
del dispositivo, que se puede calcular a partir de la curva IV haciendo uso de la
ecuacin (2.9). En la figura 2.21 se muestra la evolucin de la resistencia paralelo
y la detectividad especfica con la temperatura para los dos contenidos de indio.
Como se puede observar, la resistencia paralelo de los dispositivos con 10 % y
19 % de indio son prcticamente iguales, comprobndose que la utilizacin de una
estructura basada en MQW hace independientes las propiedades elctricas de la
longitud de onda del borde de absorcin, tal y como se pretenda. Se encontr que,
a temperatura ambiente, el producto resistencia-rea en estos dispositivos tiene el
valor RS A = 1.3 1010 cm2 . Este valor es un orden de magnitud superior al
obtenido para un diodo p-i-n de GaN, y unas 200 veces mayor que el del diodo
60
-3
10
-4
10
-5
10
-6
Corriente (A)
10
-7
10
-8
10
350 C
-9
10
300 C
-10
10
250 C
o
200 C
-11
10
150 C
-12
10
100 C
o
-13
50 C
10
RT
-14
10
-10
-8
-6
-4
-2
Tensin (V)
17
10
13
10
16
1/2
12
10
14
10
13
D*
10
12
10
11
10
11
10
10
10
10
10
10
10% In
10
19% In
10
(cmHz
15
10
50
100
150
200
250
300
350
10
RS
10
/W)
Figura 2.20: IV de un dispositivo con 19 % de indio en alta temperatura.
Temperatura ( C)
Figura 2.21: RS y D en funcin de la temperatura de los dispositivos con MQW

de InGaN.
61
de silicio caracterizado. Esta diferencia con el GaN se debe, probablemente, a dos

motivos: a la mejor calidad cristalina de este material, y a la presencia de la capa de
bloqueo de electrones de AlGaN, que tiene un efecto beneficioso sobre la corriente
de oscuridad. En cuanto a la dependencia trmica, RS A disminuye aproximadamente una dcada cada 65 K (la detectividad especfica lo hace a una dcada
cada 130 K), lo cual supone una degradacin ms rpida que la obtenida para el
dispositivo de GaN. En comparacin con el dispositivo de InGaN en volumen, los
basados en MQW son varios rdenes de magnitud mejores en todo el intervalo de
temperaturas.
Para calcular los niveles de detectividad en polarizacin inversa, se ha utilizado
el nivel de ruido blanco a frecuencias intermedias, medido a tal efecto. En la figura 2.22 se representa el valor de la detectividad especfica de los fotodiodos p-i-n
de MQW de InGaN/GaN en funcin de la temperatura, en modo fotovoltaico y
distintas tensiones de polarizacin inversa.
14
10% In
10
13
10
0 V
19% In
0 V
10% In 2.5 V
19% In 2.5 V
10% In 5.0 V
19% In 5.0 V
12
11
10
D*
(cmHz
1/2
/ W)
10
10
10
10
10
10
50
100
150
200
250
300
350
Temperatura ( C)
Figura 2.22: Detectividad especfica en funcin de la temperatura en modo fotovoltaico y polarizacin inversa de los dispositivos con 10 % y 19 % de indio.
Como se puede observar, la polarizacin inversa, si bien hace que aumente la
responsividad del dispositivo, no es conveniente de cara a tener una medida lo ms
62
libre de ruido posible, siendo el modo fotovoltaico mucho ms conveniente.
2.6.3.
Detectores p-i-n con MQW optimizados
Los detectores utilizados en la seccin anterior dan unos resultados muy positivos, pero adolecen de una responsividad relativamente baja, aproximadamente 5
veces menor que la de un detector de silicio optimizado para el intervalo ultravioleta, y casi un orden de magnitud por debajo del lmite de eficiencia cuntica unidad
en su mximo de responsividad (la diferencia es an mayor para la absorcin en los
pozos). Esta desventaja es inherente a la eleccin de utilizar pozos cunticos: al ser
relativamente pequeo el espesor total en el que los fotones pueden ser absorbidos,
es pequea la porcin de la luz que genera fotocorriente. Sin embargo, en medidas
con estos fotodetectores se observ que, adems de su limitacin intrnseca, estaban
especialmente desaprovechados al no estar optimizada la estructura: la mayora de
los pozos estn situados, en modo fotovoltaico, fuera de la regin de carga espacial,
cayendo la mayor parte del potencial en la barrera de AlGaN [149], como se puede
observar en el diagrama de bandas representado en la figura 2.13. En consecuencia, los portadores fotogenerados en esos pozos contribuyen muy ineficientemente
a la fotocorriente, ya que slo aquellos portadores minoritarios que alcanzan por
difusin la regin de carga espacial son recolectados, y la mayora se recombinan
sin producir seal.
A consecuencia de esta observacin se decidi optimizar la estructura para
conseguir que la mayor parte de los pozos estuvieran situados en la regin de
carga espacial, y poder aumentar as la fotocorriente del dispositivo. Se crecieron
en MOVPE y procesaron paralelamente, para facilitar la comparacin, dos dispositivos: uno con la estructura no optimizada y otro con la estructura optimizada.
El contenido nominal de indio en los pozos es del 20 % y su espesor de 4 nm. La
muestra no optimizada tiene una capa de 80 nm de Al0.14 Ga0.86 N no intencionalmente dopada y barreras de GaN de 12 nm dopadas con silicio, mientras que en la
optimizada la barrera de AlGaN est dopada con magnesio y las barreras de GaN
son de 9 nm, no intencionalmente dopadas. En la figura 2.23 se ha representado una
simulacin de la energa de la banda de conduccin en funcin de la profundidad,
para la ambos dispositivos, realizada por el Dr. Juan Pereiro.26 Como se puede
observar en la estructura no optimizada todo el potencial en la capa de AlGaN,
estando todos los pozos situados en una zona cuasi neutra, mientras que para el
diodo optimizado prcticamente todos los pozos estn situados en la regin de
63
carga espacial.
Energia (eV)
Optimizado
No optimizado
3
2
1
0
100
150
200
250
300
350
400
450
Z (nm)
Figura 2.23: Energa de la banda de conduccin de las estructuras optimizada y

no optimizada.
Los dispositivos, de 1 1 mm2 , se procesaron con un contacto p opaco de
Ni (50 nm) / Au (200 nm) para mejorar el contacto hmico, y se caracterizaron
iluminndolos a travs del sustrato de zafiro (con lo que se obtiene una respuesta pasobanda por el efecto del filtrado del sustrato de GaN). La mejora de responsividad lograda en el detector optimizado respecto del no optimizado es de
aproximadamente de dos rdenes de magnitud, siendo la responsividad de pico
del optimizado de 80 mA/W y 1 mA/W la del no optimizado (en ambos, es poca
la diferencia de respuesta en el GaN y en los pozos). Esta diferencia tan acusada
se justifica principalmente en base a los diferentes mecanismos de recoleccin de
portadores en ambos dispositivos: difusin en los no optimizados, deriva en los
optimizados. Otra de las razones del aumento de respuesta en estos fotodetectores
con respecto a los descritos en la seccin 2.6.1 es que, al tener un contacto opaco
y estar iluminados por debajo, la luz que atraviesa los pozos sin ser absorbida es
reflejada por el contacto metlico y hace una nueva pasada por los pozos, donde
puede ser absorbida. El crecimiento por MOVPE, fabricacin, y caracterizacin a
temperatura ambiente (es decir, todo lo descrito hasta este punto) fueron llevados
a cabo por el Dr. Juan Pereiro, y se pueden consultar ms detalles al respecto
en [141, 143].
26
La simulacin de ordenador se llev a cabo usando un solucionador de SchrdingerPoisson

unidimensional basado en el mtodo de elementos finitos [141]. Los parmetros fsicos para el
GaN estn extrados de [183] y los del InGaN de [190].
64
Se consider conveniente caracterizar el comportamiento en alta temperatura

de estos dispositivos, para compararlos con los crecidos y fabricados por Formosa
Epitaxy, caracterizados en secciones anteriores. Esta caracterizacin se vio dificultada por el hecho de que los dispositivos tenan un contacto superior opaco. Si bien
esto no es inconveniente para caracterizarlos a temperatura ambiente, la estacin
de alta temperatura que se ha utilizado durante este trabajo no permite la implementacin del montaje necesario para caracterizar muestras iluminndolas a travs
del sustrato. Por ello, las muestras fueron caracterizadas iluminndolas a travs
del contacto superior opaco. La respuesta de los dispositivos en esta configuracin
result ser suficientemente alta para llevar a cabo la medida, probablemente por
causa de los fotones que alcanzan los pozos a travs de zonas desprotegidas por el
contacto y dispersados por el resto de metales y paredes de la mesa del dispositivo.
En la figura 2.24 se muestra la evolucin en funcin de la temperatura de la
respuesta espectral de estos detectores, durante la subida y la bajada de temperatura.
-1
Responsividad (A/W)
10
25 C
o
-2
50 C
10
100 C
o
150 C
o
200 C
o
250 C
o
300 C
-3
10
350 C
320
340
360
380
400
420
440
460
480
500
Figura 2.24: Respuesta espectral en funcin de la temperatura del dispositivo

MQW optimizado.
Como se puede observar, la responsividad mxima apenas vara con el calentamiento (menos de un 10 %), a la vez que se ve un desplazamiento hacia el rojo en
65
la longitud de onda del mximo y del corte de absorcin debido al estrechamiento

del gap.
Comparando la respuesta espectral de estos dispositivos con la de los fabricados
por MOVPE, descritos en el apartado 2.6.2, se puede comprobar que los optimizados tienen una respuesta en los pozos mucho mayor, en trminos absolutos y
comparativamente con la respuesta en el GaN. As, mientras que para los dispositivos no optimizados con un 19 % de indio la respuesta a 400 nm es de 12 mA/W,
para los optimizados, con un 20 % de indio, la respuesta es de 60 mA/W. Si se
compara este fotodetector optimizado con el fabricado paralelamente, con una
estructura especialmente desfavorable, la ganancia de responsividad en los pozos
es an mayor, de aproximadamente dos rdenes de magnitud.
En la figura 2.25 se han representado la resistencia paralelo RS y la detectividad especfica D en funcin de la temperatura, durante las fases ascendente
y descendente del ciclo trmico. El producto resistencia-rea a temperatura ambiente tiene un valor en este dispositivo de RS A = 107 cm2 , sensiblemente
menor que el de los diodos de GaN ( 1010 ), de silicio ( 5 107 ), y de MQW de
InGaN/GaN ( 109 ) caracterizados. Esta diferencia con los fotodetectores de GaN
y de MQW anteriormente descritos se debe, posiblemente, a la diferencia de los
procesos tecnolgicos utilizados, ya que todos ellos han sido crecidos en distintos
reactores, sobre distintos sustratos, y procesados en distintos laboratorios, lo cual
hace que sus caractersticas no sean directamente comparables.
En cuanto a la dependencia trmica de esta resistencia, se ha medido una tasa
de disminucin de una dcada cada 90 K aproximadamente, muy similar a la de
los fotodiodos de GaN. Al igual que en el caso de otros detectores de nitruros,
tras el ciclo trmico se observa una pequea mejora en la resistencia paralelo, y,
consiguientemente, en la detectividad.
El valor de detectividad especfica que se muestra en la figura 2.25 est, a
temperatura ambiente, muy por debajo del obtenido para los diodos no optimizados descritos en el apartado 2.6.2. Sin embargo, gracias al mejor comportamiento
trmico de estos dispositivos optimizados (de una dcada cada 170 K), los valores
de detectividad especfica se igualan a 350 o C.
66
2.7 Comparacin de los distintos dispositivos

12
/W)
10
1/2
11
D*
10
10
10
10
10
10
Temperatura en ascenso
10
Temperatura en descenso
9
10
50
100
150
200
250
300
350
10
RS
10
10
(cmHz
12
10
11
10
Temperatura ( C)
Figura 2.25: RS y D en funcin de la temperatura del dispositivo de MQW optimizado.
2.7.
Comparacin de los distintos dispositivos
Son muchas las magnitudes que se han caracterizado en los diferentes detectores
estudiados en este captulo: corriente de oscuridad, ruido, responsividad, respuesta
espectral, comportamiento trmico, degradacin. La comparacin de los dispositivos estudiados se va a centrar en la evolucin trmica del producto resistenciarea
RS A (figura 2.26), que de alguna manera cuantifica la calidad del dispositivo
en cuanto a su respuesta elctrica y de ruido, y de la responsividad (figura 2.27),
que pone de relieve sus prestaciones optoelectrnicas. Combinando la informacin
de estos dos parmetros se obtiene la evolucin trmica de detectividad especfica
D (figura 2.28). Dado que los fotodetectores tienen intervalos espectrales de deteccin y de inters27 distintos, estos valores de la responsividad (y, por tanto,
de la detectividad) se han calculado para longitudes de onda distintas en cada
fotodetector. En concreto, en los dispositivos en los que el estrechamiento del gap
supone un cambio drstico en la fotodeteccin en las longitudes de onda de inters,
el punto evaluado no es el mismo para todas las temperaturas, sino que se han
tomado puntos aproximadamente equivalentes de la respuesta espectral, y el valor
indicado corresponde a la curva a temperatura ambiente. Ntese, sin embargo, que
67
la variacin de la responsividad con la temperatura no vara ms de una dcada,

mientras que el factor RS A vara varios rdenes de magnitud, siendo, por tanto,
dominante.
Silicio
GaN
11
10
InGaN volumen
InGaN MQW 19%
10
10
InGaN MQW 20% optimizados

9
10
RSA (
cm )
10
10
10
10
10
10
10
50
100
150
200
250
300
350
Temperatura ( C)
Figura 2.26: Evolucin trmica del producto RS A de los detectores caracterizados

en este captulo.
Los mejores detectores, en trminos de RS A, y, por tanto, de ruido, a igualdad
de superficie, son los de GaN y los de MQW de InGaN de Formosa Epitaxy,28
siendo los segundos ligeramente mejores a temperatura ambiente, pero con un peor
comportamiento trmico. Los detectores optimizados se sitan unos dos rdenes
de magnitud por debajo de los de GaN, mientras que los de InGaN en volumen son
claramente los peores a bajas temperaturas debido a la escasa calidad del material.
El detector de silicio caracterizado, por su parte, presenta una acusada degradacin
con la temperatura, llegando a ser peor por encima de aproximadamente 115 o C
que el detector de InGaN en volumen.
27
As, por ejemplo, si bien un dispositivo p-i-n de GaN con MQW de InGaN detecta luz a
360 nm, no es esa su regin de inters, dado que la incorporacin de indio persigue la fotodeteccin
en longitudes de onda mayores.
28
En las figuras 2.26 y 2.28 se han representado los de 19 % de contenido de indio, aunque la
caracterstica de los de 10 % es completamente equivalente.
68
2.7 Comparacin de los distintos dispositivos

Silicio (400 nm)
10
GaN (360 nm)

InGaN volumen (440 nm)
InGaN MQW 19% (405 nm)
Responsividad (A/W)
InGaN MQW 20% optimizados (400 nm)
-1
10
-2
10
50
100
150
200
250
300
350
Temperatura ( C)
Figura 2.27: Evolucin trmica de la responsividad de los detectores caracterizados

en este captulo.
En trminos de responsividad, se puede observar que los detectores de silicio

son prcticamente equivalentes a los de GaN, con la salvedad de que con los de GaN
se pueden alcanzar temperaturas mucho mayores. Los detectores de mltiple pozo
cuntico presentan una respuesta menor que estos ltimos, y es patente la mayor
respuesta de los detectores en los que se ha optimizado la estructura con respecto
a los que no. Los dispositivos de InGaN en volumen, por ltimo, no slo tienen una
responsividad ms baja, sino que su comportamiento trmico es tambin peor.
Por ltimo, en cuanto a la detectividad especfica, se observa en todos los
dispositivos un decremento con la temperatura acorde con la variacin de sus respectivos RS A. Debido a las diferencias de responsividad, sin embargo, se aproximan
sensiblemente los rendimientos de los dos dispositivos de mltiple pozo cuntico.
Los mejores dispositivos para la deteccin son los de GaN, que son mejores que
los de silicio en todo el intervalo de temperaturas considerado. Nuevamente, los
peores dispositivos son los de InGaN en volumen. Los detectores con mltiple
pozo cuntico son mejores que los de silicio sin necesidad de subir prcticamente
la temperatura.
69

Silicio (400 nm)
GaN (360 nm)
15
InGaN volumen (440 nm)
10
InGaN MQW 19% (405 nm)

InGaN MQW 20% optimizados (400 nm)
14
10
13
D*
(cmHz
1/2
/ W)
10
12
10
11
10
10
10
10
10
50
100
150
200
250
300
350
Temperatura ( C)
Figura 2.28: Evolucin trmica de la detectividad especfica de los detectores caracterizados en este captulo.
A la vista de esta comparativa podemos afirmar que, tal y como se pretenda

demostrar, los fotodetectores basados en nitruros, a pesar de su relativa inmadurez
tecnolgica,29 tienen un mejor rendimiento para la deteccin a altas energas debido
a su mayor gap. Los mejores de entre los dispositivos caracterizados son los de
GaN, dado que es el material cuyo crecimiento est ms dominado, y adems
ofrece una profundidad de absorcin mucho mayor. De cara a introducir el visible
en el intervalo de deteccin de estos detectores, aadiendo indio, la mejor opcin es
la fabricacin de dispositivos de GaN con pozos cunticos en su regin intrnseca,
logrndose de este modo una gran detectividad, pese a su respuesta relativamente
baja. Esto sucede gracias a que la inclusin de los pozos de InGaN en un dispositivo
matriz de GaN hace que sus propiedades elctricas dependan, principalmente, de
este ltimo.
29
En concreto, como se ha comentado en la introduccin, la calidad cristalina de estos materiales es manifiestamente mejorable hoy en da, debido a la inexistencia de un sustrato para
homoepitaxia. Asmismo, la baja calidad del dopaje de tipo p con magnesio ha sido tradicionalmente un lastre para el desarrollo de buenos dispositivos en estos materiales.
70
2.8 Otros experimentos realizados con estos dispositivos
2.8.
Otros experimentos realizados con estos dispositivos
Durante mi doctorado, y por diversos motivos, he realizado otros tipos de

medidas sobre los detectores descritos en este captulo (o sobre otros enormemente
similares). Dado que se encuentran lo suficientemente cercanos a los objetivos de
esta tesis (estudio y mejora de los dispositivos fotodetectores basados en nitruros
del grupo III), hago a continuacin una breve exposicin de estos experimentos.
2.8.1.
Medidas de velocidad de respuesta sobre fotodetectores p-i-n de MQW de InGaN/GaN
En el marco de los primeros contactos de nuestro grupo con la problemtica de

la fluorescencia,30 se pens en un primer momento, como el camino natural para
aplicar nuestra experiencia, en la utilizacin de fotodetectores para la deteccin de
la luz fotoluminiscente. Posteriormente se pudo comprobar que, por las condiciones
de esta deteccin (los luminforos utilizados tienen su emisin en torno al rojo en
el visible), esta no se ve especialmente favorecida por la utilizacin de semiconductores de gap ancho y directo en vez del silicio. A esto se aade a la dificultad
de alcanzar longitudes de onda largas con fotodetectores basados en nitruros, por
lo que se decidi abandonar este camino y funcionalizar el emisor de luz, tambin
basado en nitruros. Antes de llegar a esta conclusin, sin embargo, se realizaron
algunas pruebas para verificar la capacidad de estos detectores, e incluso se lleg
a realizar un prototipo31 sencillo para demostrar la posibilidad de obtener una
medida cuantitativa de la amplitud de la fluorescencia [155].
Como parte de las acciones tomadas en este sentido, se decidi evaluar la velocidad de respuesta de los dispositivos p-i-n de GaN con MQW de InGaN en su
zona intrnseca. Si bien las medidas en baja frecuencia son adecuadas para la estimacin de la amplitud de fluorescencia, la mayor parte de los sistemas de deteccin
de fluorescencia usados hoy en da obtienen su informacin del cambio del tiempo
de vida, y por tanto requieren la realizacin de una medida en tiempos cercanos
a este parmetro, intrnseco de la sustancia utilizada. Muchos de los luminforos
usados se mueven en el entorno de los nanosegundos, y algunos otros en el de los
30
31
Ver captulo 4.
Este fue el principal trabajo de Icar Sarasola durante su PFC.
71
microsegundos. La eleccin de este tipo de dispositivos (p-i-n con MQW) responde

a los siguientes criterios:
Como se ha expuesto en este captulo, estos detectores son una de las mejores
opciones a la hora de fabricar dispositivos basados en nitruros.
Los dispositivos p-i-n suelen estar caracterizados por un mejor tiempo de
respuesta, debido a la menor capacidad del dispositivo; la mayora de los
fotodetectores tienen tiempos de vida caractersticos por debajo de 1 s.
La inclusin de pozos cunticos de InGaN permite la fotodeteccin en el
visible sin perjudicar perceptiblemente la calidad de los fotodetectores; la
mayora de los luminforos utilizados emiten en el visible, a menudo ms
cerca del rojo que del violeta.
Para la medida de la velocidad de respuesta, se realiz, inicialmente, una medida con un lser de diodo de InGaN con emisin pulsada en 417 nm de 50 mW y
50 ns de duracin del pulso, fabricado por la empresa polaca Top GaN. Este lser
se hizo incidir primeramente sobre un fotodetector rpido de silicio (AEPX65),
cuyo tiempo de subida est en el orden de 1 ns, para asegurar que el tiempo de
subida del pulso lser es ms rpido que el tiempo medido sobre el detector basado
en nitruros. Posteriormente se hizo incidir el mismo sobre un fotodetector p-i-n de
con MQW de InGaN con una estructura como la descrita en el apartado 2.6.1, con
un contenido de indio nominal de 16 % en los pozos cunticos.32 En la figura 2.29
se puede observar la seal sobre ambos detectores, registrada con el osciloscopio
Yokogawa DL1720 con la entrada en acoplamiento de 50 directamente conectada
a los mismos. Los datos representados corresponden a la sustraccin de una medida
con el lser encendido e incidiendo sobre la muestra y otra con el lser encendido
pero bloqueando su incidencia, para poder eliminar la enorme interferencia electromagntica provocada por la cercana y falta de aislamiento entre la electrnica
de modulacin y el fotodetector.
Como se puede observar la respuesta del fotodetector basado en nitruros es
ligeramente ms lenta que la del detector de silicio, con una constante de tiempo de
32
A pesar de la ligera diferencia en contenido de indio con los otros fotodetectores estudiados
en este captulo, los resultados deberan ser generalizables. El contenido de indio est calculado
a partir de la longitud de onda del pico de la emisin electroluminiscente de los dispositivos,
utilizando las relaciones reportadas en [192].
72
0.05
Tensin (V)
0.04
0.03
InGaN MQW
0.02
AEPX65 (0.15)
0.01
0.00
-0.01
-50ns
0s
50ns
100ns
150ns
200ns
250ns
Tiempo
Figura 2.29: Registro temporal de la seal producida por el pulso lser en un

fotodetector de MQW de InGaN y uno de silicio.
aproximadamente 7 ns.33 Esta velocidad est limitada por el producto resistencia
capacidad de la carga del fotodiodo. Las medidas de CV realizadas muestran que
la capacidad del dispositivo es de 120 pF, que produce una constante de tiempo
de 6 ns sobre la impedancia de 50 del osciloscopio, lo cual es consistente con la
subida observada. Este tiempo de subida se podra haber reducido disminuyendo
la capacidad del dispositivo34 y/o la resistencia de carga.35
Este trabajo fue posteriormente retomado por Icar Sarasola durante su PFC
[155], inicialmente bajo mi supervisin, finalmente con mi colaboracin. Para ello
se adquirieron dos amplificadores de banda ancha de minicircuits, el ZFL-500 y
ZFL-1000, se caracterizaron, y se estudi la manera ptima de acoplarlos al resto
de la electrnica para lograr una buena adaptacin de impedancias. Se hicieron
medidas con un equipo NanoLED de emisin de pulsos cortos (1 ns) de 6 mW
33
Calculado a partir de un ajuste exponencial de la subida de la seal, despreciando el tiempo
de subida del propio pulso lser.
34
Trabajando bajo polarizacin inversa, por ejemplo; a 15 V de tensin inversa la capacidad
en estos dispositivos se reduce a 55 pF, aunque, como se ha visto, esto tiene efectos adversos
sobre la corriente de oscuridad y la detectividad especfica.
35
Utilizando un amplificador de transimpedancia con baja impedancia de entrada, por ejemplo.
73
de potencia a 405 nm de Horiba Scientific - Jobin Ybon, en el laboratorio del

Grupo de Sensores Qumicos pticos y Fotoqumica Aplicada36 (GSOLFA) de la
Facultad de Ciencias Qumicas de la Universidad Complutense de Madrid. Se pudo
comprobar que, si bien se observa una seal que reproduce el pulso de excitacin
con tiempos de respuesta suficientemente rpidos, la seal medida es, a pesar de la
amplificacin, tan pequea, que es difcil distinguirla del fondo de la perturbacin
electromagntica que permanece incluso tras la cancelacin.
2.8.2.
Fotocorriente bajo polarizacin inversa
Se consider interesante tambin realizar una caracterizacin de la variacin de

la respuesta de los fotodetectores con MQW en funcin de la tensin de polarizacin
en inversa. Si bien en la seccin 2.6 ya se han mostrado algunas grficas de respuesta
espectral y detectividad especfica de estos dispositivos para algunas tensiones, no
muestran de una manera clara la evolucin con este parmetro. En concreto, se
muestra a continuacin la evolucin de la fotorespuesta al iluminar con longitudes
de ondas correspondientes con la absorcin en los pozos de InGaN.
Tras un primer acercamiento al problema se pudo comprobar la dificultad que
entraaba semejante medida con el instrumental disponible. Tpicamente una medida de respuesta en funcin de la tensin se habra medido monitorizando la
curva IV del dispositivo con un analizador de parmetros de semiconductor al
hacer incidir sobre l un haz luminoso de la longitud de onda adecuada. Para la
iluminacin en el ultravioleta se dispone en el ISOM de sistemas lser de argn
con doblador y otro de helio-cadmio, con emisin en 244 nm y 325 nm, respectivamente. Sin embargo, para la emisin en la regin de los pozos, por encima de
360 nm, las dos nicas opciones disponibles eran la utilizacin de la lmpara de
xenn monocromada y el lser de TopGaN previamente mencionado. La potencia
media del segundo se puede hacer variar entre 2.5 W y 250 W, en funcin de la
frecuencia de repeticin de pulsos,37 mientras que la de la primera es mucho menor.
Con potencias como esta, y contando con la fotorespuesta relativamente baja de
los dispositivos, la corriente producida es pequea, y al aumentar la tensin inversa
la corriente de oscuridad crece por encima de este valor y dificulta la obtencin de
una medida fiable, incluso haciendo una resta de la curva de oscuridad.
36
La relacin con el grupo del profesor Guillermo Orellana en materia de deteccin del tiempo
de vida de luminiscencia se detalla y desarrolla en el captulo 4.
37
1 kHz, 10 kHz 100 kHz.
74
Para salvar este inconveniente desarroll un sistema con los instrumentos disponibles para aumentar la sensibilidad de la medida. Sobre el fotodiodo se hizo
incidir un haz de luz pulsada de 417 nm procedente del lser de diodo de TopGaN.
Se aplic una rampa de tensin, producida con el analizador de parmetros de
semiconductor HP4145B, sobre uno de los terminales del detector, y se amplific
la corriente a travs del otro terminal con un amplificador de transimpedancia con
cancelacin de DC, cuya salida se introdujo en la entrada de tensin de un amplificador lock-in. La salida analgica del lock-in, que produce una seal de continua
proporcional a la seal medida,38 se realiment al analizador de parmetros de
semiconductor a travs de una resistencia para el registro automtico de la seal.
Conociendo todas las ganancias de conversin entre etapas es posible relacionar,
finalmente, la corriente registrada con la fotocorriente del detector, incluso aunque
esta sea muy inferior al fondo de seal.
Utilizando este sistema se midi la fotocorriente en funcin de la tensin de
polarizacin en inversa de dos detectores p-i-n de GaN con pozos cunticos de
InGaN en su regin intrnseca de aproximadamente 0.1 mm2 de rea activa, con
una estructura como la descrita en el apartado 2.6.1, y con contenidos de indio del
16 % y 28 %.39 Los resultados se muestran en la figura 2.30.
La caracterstica ms destacable de esta figura es el modo en que la fotocorriente
crece de forma escalonada segn se va incrementando la tensin inversa (de hecho,
este fenmeno es apreciable desde una polarizacin en directa de 2 V). La medida
de la CV arroja unos resultados similares, revelando existencia de zonas con mayor
concentracin de carga espaciadas 20 nm. Este tipo de variacin escalonada en la
fotocorriente y en la capacidad se debe precisamente a los pozos cunticos, que,
a pesar de estar situados en la regin intrnseca del dispositivo, no estn todos
situados dentro de la zona de deplexin a 0 V. Al aumentar la tensin inversa,
la anchura de esta regin aumenta, y nuevos pozos van pasando a estar dentro
de ella, sumndose a la fotocorriente del dispositivo la cantidad correspondiente
a los portadores fotogenerados en ellos. Aunque los dispositivos cuya banda de
conduccin se represent en la figura 2.13 no son los mismos que los caracterizados
en este apartado, se puede observar el mismo efecto en ellos: slo tres de los siete
pozos cunticos estn en una regin con campo elctrico.
Este sistema de medida fue utilizado por el Dr. Carlos Rivera para caracterizar
38
10 V corresponde al mximo del fondo de escala.

El contenido de indio est calculado a partir de la longitud de onda del pico de la emisin
electroluminiscente de los dispositivos, utilizando las relaciones reportadas en [192].
39
75

-8
7.0x10
16% In
-8
28% In
Fotocorriente (A)
6.0x10
-8
5.0x10
-8
4.0x10
-8
3.0x10
-8
2.0x10
-8
1.0x10
0.0
-15
-10
-5
Tensin (V)
Figura 2.30: Fotocorriente en funcin de la tensin iluminando en los pozos de

fotodetectores p-i-n de GaN con MQW de InGaN.
los fotodiodos con 10 % y 19 % de indio descritos anteriormente en este captulo,
y elaborar un modelo, apoyado en medidas de fotocorriente, CV , transmitancia,
respuesta espectral y simulaciones por ordenador, que explica en detalle el comportamiento de la fotocorriente de estos dispositivos [149].
2.8.3.
Avalancha
La fabricacin de detectores de avalancha para la deteccin en el ultravioleta

y visible lleva algo ms de una dcada despertando una gran atencin en la comunidad cientfica. Los primeros trabajos en este campo reportaban resultados de
avalancha en estructuras sin capa p [91, 181]. Posteriormente y hasta la actualidad se han ido sucediendo publicaciones de variado rigor, que informaban sobre
la fabricacin y caracterizacin de dispositivos progresivamente mejores en GaN,
casi siempre con dispositivos de dimetros menores que 50 m, y ganancias de
multiplicacin de entre 10 y 1000 [16, 80, 157, 182, 195]. Tambin se han publicado
diversos trabajos que demostraban la utilizacin de estos dispositivos en modo
Geiger [92, 131, 182] y otros que hacen uso de AlGaN [90, 174, 175, 177, 197], con
76
resultados similares a los del GaN. Cabe destacar tambin la existencia de trabajos
con predicciones tericas para los coeficientes de ionizacin y otros parmetros de
la avalancha [10, 121] y algn trabajo de revisin [99].
En verano de 2007 se plante una estancia con el profesor Peter Parbrook, en la
Universidad de Sheffield, para fabricar y caracterizar fotodetectores de avalancha
(APD, Avalanche Photo Diode) y estudiar la ionizacin por impacto en el nitruro
de galio. La estancia se desarroll a lo largo de los meses de junio, julio y agosto,
y en ella se pudieron crecer tres estructuras de diodo de GaN, se fabricaron fotodetectores de diversidad de tamaos, y se pudo caracterizar su comportamiento al
aplicar altas tensiones de polarizacin. Una vez concluida la estancia se hicieron
algunos experimentos complementarios en las instalaciones del ISOM. Durante
esta estancia, colabor con muchos investigadores de la universidad de Sheffield,
entre los que me gustara destacar a Peter Parbrook, John P.R. David, Tao Wang,
Fabio Ranalli, Kean Boon Lee y Robert Airey. Debido a la mayor dificultad de
coordinar una colaboracin en la distancia, en comparacin con otras lneas de
trabajo muy interesantes y para las que dispona de mayor autonoma, se eligi
dedicar los esfuerzos a otros temas. No se pudo, por tanto, redondear este tema lo
suficiente como para merecer una publicacin relevante o un captulo en esta tesis,
pero se reportan en esta seccin los resultados y conclusiones alcanzados.
Se decidi crecer tres muestras p-i-n de GaN en reactor MOVPE, sobre zafiro
plano C, con espesores nominales de 450 nm para la capa n, 200 nm para la capa p,
y regiones intrnsecas de 200 nm, 50 nm y 25 nm (muestras GN1621A, GN1622A y
GN1623A, respectivamente). Tras el crecimiento se proces un fragmento de cada
muestra con dos mscaras distintas, una con diodos de dimetros entre 50 m y
400 m, con acceso ptico (el contacto metlico superior no cubra la totalidad de
la mesa), y otra con diodos de dimetros entre 10 m y 100 m.40 El procesado
consisti en un aleado en RTA para la activacin de la capa p (800 o C, 25 minutos), ataque mesa en reactor ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma - Reactive Ion
Etching, ataque por iones reactivos de plasma acoplado por induccin), y depsito
y aleacin de contactos: Ti/Al/Ti/Au (30/100/45/55 nm) y Ni/Au (20/200 nm),
para las capas n y p, respectivamente.
Tras el procesado se hizo una medida de la capacidad a 0 V y en funcin de
40
Dado que una de las principales razones del mal rendimiento de los APD de GaN son los
defectos cristalinos, se pretenda, al tener dispositivos de reducido tamao, poder obtener algunos
de ellos en los que hubiera estadsticamente una menor cantidad de defectos y que tuvieran un
mejor comportamiento.
77
la tensin, para caracterizar el espesor de la regin de carga espacial y el perfil

de concentracin de dopantes. Los valores obtenidos para el espesor de la zona
de deplexin en las muestras GN1621A, GN1622A y GN1623A fueron de 132 nn,
26 nm y 24 nm, respectivamente, en lugar de los esperados 200 nm, 50 nm y 25 nm.
Por algn motivo que no alcanzamos a dilucidar,41 algo durante el crecimiento no
haba resultado segn lo esperado, y como consecuencia tenamos nicamente un
diodo p-i-n y dos uniones p-n. La densidad de dopantes, determinada por CV , de
la regin intrnseca de la muestra GN1621 rondaba los 31016 cm3 , mientras que
las regiones dopadas estaban en el entorno de 1018 cm3 .
Seguidamente, se realizaron medidas IV de todos los dispositivos fabricados
para realizar un cribado y eliminar aquellos con una corriente de oscuridad excesiva,
y se procedi a caracterizar la fotomultiplicacin de los mejores dispositivos con
un lser de helio-cadmio de 325 nm. Las curvas de multiplicacin se obtuvieron
mediante la medida de la fotocorriente y la sustraccin de la corriente de oscuridad.
Diodos p-n
Se analizaron varios dispositivos de ambos crecimientos (GN1622 y GN1623),
obtenindose en ambas resultados muy similares, como era de esperar de la gran
similitud de sus estructuras. En la figura 2.31 se muestra, por ilustrar su comportamiento, la fotocorriente normalizada de varios dispositivos de 50 m y 100 m
de dimetro de la muestra GN1623, donde se ha resaltado uno de ellos (de 50 m),
en el que se tomaron datos ms detallados.42
En estos dispositivos se pudo obtener una ganancia reproducible de avalancha
de 10, y en algunos de ellos se alcanz y super la ganancia 20 sin llegar a degradarse. En la figura se puede observar que, a mayores tensiones aplicadas, la tasa
de crecimiento de la ganancia parece disminuir. Sin embargo, esto es en realidad
debido a que, por causa de la resistencia serie del diodo debida a los contactos,
a altas tensiones existe un desfase entre la tensin aplicada y la tensin entre
extremos de la zona de carga espacial.
En la figura 2.32 se muestra la densidad de corriente en funcin de la tensin
41
Se revisaron los registros de crecimiento y nada pareca indicar un error en la programacin
o en la ejecucin del proceso.
42
La adquisicin de curvas de multiplicacin en la Universidad de Sheffield no est automatizada, con lo cual el tiempo de la estancia no dio para medir en mucho detalle un gran nmero
de dispositivos, sino que se midieron algunos con granularidad de tensiones ms fina, y en otros
se realiz un muestreo menos denso de puntos.
78
Fotorrespuesta normalizada
10
1
0
10
15
20
25
30
Tensin (V)
Figura 2.31: Fotorrespuesta normalizada de varios fotodiodos GN1623.

de dispositivos de la muestra GN1623 de dimetros entre 10 m y 400 m de
dimetro, que para altas tensiones adquiere una magnitud equivalente a la de la
propia fotocorriente.
Diodos p-i-n de 130 nm
En la figura 2.33 se muestran las curvas de fotorrespuesta normalizada de varios
fotodiodos de 20 m de dimetro de la muestra p-i-n. Como se puede observar,
se alcanza una ganancia en modo lineal de aproximadamente 50, y la tensin de
ruptura se encuentra alrededor de los 65 V, lo cual equivale a un campo elctrico de
3.1 MV/cm (a esta tensin la regin de carga espacial tiene un espesor de 192 nm,
determinado por CV ). La responsividad a 0 V de estos dispositivos a 325 nm es
de 0.032 A/W.
En la figura 2.34 se ha representado la densidad de corriente sin iluminacin en
funcin de la tensin para un dispositivo del mismo dimetro. Se puede observar
nuevamente que la tensin de ruptura se encuentra en torno a los 65 V. En las cercanas de esta tensin la corriente de oscuridad se vuelve elevada y comparable a la
fotocorriente, adems de ms ruidosa, y es por ello que las curvas de multiplicacin
tienen una mayor dispersin a mayores tensiones.
79
10
10
Densidad de corriente (A/cm )
10
10
-1
10
-2
10
-3
10
-4
10
-5
10
-6
10
-7
10
-8
10
-9
10
10
15
20
25
Tensin (V)
Figura 2.32: Densidad de corriente en funcin de la tensin para varios dispositivos

de la muestra GN1623.
Fotorrespuesta normalizada
100
10
1
0
10
20
30
40
50
60
Tensin (V)
Figura 2.33: Fotorrespuesta normalizada de varios fotodiodos GN1621.

80
2.9 Resumen y conclusiones

1
10
Densidad de corriente (A/cm )
10
-1
10
-2
10
-3
10
-4
10
-5
10
-6
10
30
40
50
60
Tensin (V)
Figura 2.34: Densidad de corriente en funcin de la tensin para varios dispositivos

de la muestra GN1621.
2.9.
Resumen y conclusiones
Se ha diseado, caracterizado, y utilizado un sistema verstil de medidas
de alta sensibilidad y bajo ruido, para la caracterizacin del ruido de baja
frecuencia de fotodiodos.
Se ha realizado un estudio sobre la limitacin intrnseca del material utilizado
de la detectividad especfica de fotodetectores en modo fotovoltaico. Se ha
aplicado este estudio a la familia de materiales de inters, los nitruros del
grupo III, y al silicio como material de referencia.
Se ha caracterizado experimentalmente la detectividad especfica y el producto RS A de fotodiodos de silicio, GaN, InGaN en volumen, y de MQW de
InGaN, con distintos contenidos de indio.
Se observa que, as como en los fotodetectores de silicio su rendimiento real
est prximo al lmite terico, en el caso de los nitruros se encuentra fuertemente limitado por la inmadurez tecnolgica de estos.
81
Se ha observado que esta limitacin es ms severa en los fotodiodos de InGaN

en volumen, y que, actualmente, para conseguir respuesta en el visible, es
mejor solucin la inclusin de pozos cunticos de InGaN en una estructura
de GaN.
Se observa que a temperatura ambiente el rendimiento de los fotodiodos de
GaN y de MQW de InGaN es comparable al de los fotodiodos de silicio
existentes, siendo su comportamiento en alta temperatura muy superior.
Se ha probado que la utilizacin de nitruros del grupo III es una alternativa
viable para la deteccin de luz ultravioleta y visible en temperaturas hasta,
al menos, 350 o C.
Se ha hecho un estudio del ruido de baja frecuencia de los fotodiodos de
MQW de InGaN.
No se ha podido detectar ninguna tendencia de los parmetros de ajuste del
ruido 1/f con el contenido de indio, la tensin o la temperatura.
Se ha detectado la presencia y caracterizado con cierto detalle los parmetros
del ruido RTS en las muestras con MQW de InGaN. Los indicios encontrados apuntan a una relacin de este ruido con las inhomogeneidades en el
contenido de indio.
Se ha medido el tiempo de respuesta de los dispositivos MQW, obtenindose
un valor de 7 ns, limitado por RC.
Se ha caracterizado la dependencia con la tensin en inversa de la fotocorriente en dispositivos MQW, observndose un crecimiento escalonado debido a
la incorporacin de nuevos pozos a la regin de deplexin.
Se ha caracterizado la multiplicacin por avalancha de estructuras p-n y p-i-n
de GaN, obteniendo ganancias reproducibles de 10 y 50, respectivamente.
82
Captulo 3
Fotodetectores sensibles a la
polarizacin
3.1.
Introduccin
El nitruro de galio puede cristalizar siguiendo una estructura de wurtzita o de

zinc-blenda. En la figura 3.1 se muestra una representacin esquemtica de la red
cristalina tipo wurtzita, y tambin los planos que se mencionan en este captulo.1
La gran mayora de los dispositivos comerciales basados en nitruros, as como de los
trabajos cientficos publicados, estn basados en GaN con estructura de wurtzita,
habitualmente, aunque no siempre, crecido sobre un sustrato de zafiro plano C.
Esto es debido, principalmente, a su mayor madurez tecnolgica y disponibilidad
y precio de los sustratos.
Como se puede observar, dicha estructura cristalina es polar, lo cual supone
aadir una variable adicional al diseo, fabricacin, y caracterizacin de dispositivos basados en nitruros. Esto en ocasiones puede ser perjudicial para el rendimiento
de los dispositivos, pero tambin puede utilizarse como un nuevo parmetro de diseo que permite aadir flexibilidad y prestaciones superiores. Por ejemplo, en el
caso concreto de los diodos emisores de luz crecidos sobre el plano C, la presencia
de fuertes campos piezoelctricos en los pozos provoca la separacin espacial de
los portadores en el pozo (efecto Stark confinado cunticamente o QCSE), dificultando su recombinacin y disminuyendo su eficiencia radiativa [34]. Sin embargo,
este misma presencia de campos puede ser utilizada en el diseo de fotodetectores
1
El eje c se corresponde con la direccin perpendicular al plano C.
83
para la obtencin de mecanismos novedosos de ganancia [147].
Figura 3.1: Red cristalina Wurtzita y tres planos significativos.

Como medio para evitar el problema de la separacin de portadores en los
pozos se ha propuesto el crecimiento de GaN sobre planos no polares, como el M
o el A [23, 184]. El material crecido sobre estos planos no presenta campos piezoelctricos en la direccin de crecimiento, evitando por tanto la formacin de pozos
triangulares. Para ello, se ha tenido que recurrir a nuevos sustratos, diferentes del
silicio (100) y (111) y del zafiro plano C (0001), sobre los que habitualmente se crece
el GaN plano C [71]. El GaN plano M se crece habitualmente sobre sustratos de
-LiAlO2 (100) [184] y el GaN plano A sobre sustratos de zafiro (1102) plano R [28].
Otro efecto que provoca el crecimiento de GaN con estructura wurtzita sobre
planos no polares es la ruptura de la simetra cristalina en el plano de crecimiento.
En la figura 3.2 se ha representado un diagrama equemtico de la estructura de
bandas del GaN (wurtzita) sin tensin, en la que se puede observar el desdoblamiento intrnseco de la banda de valencia en tres sub-bandas, as como las transiciones correspondientes a los tres excitones: A, B y C [45]. El estudio detallado
de las fuerzas del oscilador revela que, incluso para el caso de GaN completamente
relajado, estas transiciones excitnicas estn polarizadas [94]. La aplicacin de
tensin en la capa provoca cambios adicionales en la las reglas de seleccin de
polarizacin en el plano y en el desdoblamiento de la banda de valencia. Estudios

tericos para GaN plano M, utilizando clculos basados en perturbaciones k
p
muestran que las transiciones entre la banda de conduccin y las dos sub-bandas de
valencia superiores quedan completamente polarizadas linealmente para direcciones ortogonales en el plano, en un intervalo determinado de valores de tensin en el
plano [47]. A la vez, el desdoblamiento de las dos sub-bandas de valencia superiores
se incrementa con esta tensin. Estos resultados se pueden aplicar tambin al caso
84
del GaN plano A. Por tanto, es esperable una anisotropa ptica en las cercanas
del gap para la fotodeteccin perpendicular y paralela al eje c.2
Figura 3.2: Esquema de la estructura electrnica de bandas del GaN sin tensin
junto con las transiciones excitnicas A, B y C.
Esta propiedad ya ha sido utilizada en el ISOM para la fabricacin de fotodetectores sensibles a la polarizacin sobre capas de GaN plano M crecidas sobre
sustratos -LiAlO2 (100) [46, 148]. Adems de ser utilizados para aplicaciones de
sensibilidad a la polarizacin, estos detectores tambin pueden ser usados para la
deteccin en banda estrecha, como se ha demostrado utilizando una configuracin
que combina dos o cuatro detectores del mismo material orientados en distintos
ngulos respecto de un eje de referencia [146]. Sin embargo, estos detectores presentan algunas limitaciones, sobre todo desde el punto de vista elctrico, debido a
su alta corriente de fugas, incluso aplicando tensiones muy pequeas.
En este captulo se describe la fabricacin y caracterizacin de fotodetectores
MSM (Metal-Semiconductor-Metal) sensibles a la polarizacin basados en nitruro
de galio plano A [116].
3.2.
En el desarrollo del trabajo cuyo resultados se exponen en este captulo se

han utilizado una gran variedad de tcnicas experimentales, cubriendo la caracterizacin estructural del material sobre el que se fabricaron los dispositivos, la
2
Estos aspectos tericos fueron estudiados en profundidad por el Dr. Carlos Rivera, y en ellos
se profundiza ms en [116].
85
fabricacin de los interdigitados metlicos para los contactos Schottky y la caracterizacin elctrica y opto-electrnica de los mismos.
Crecimiento
Los fotodetectores descritos en este captulo fueron fabricados sobre GaN plano A,
crecido por LP-MOVPE (Low-Pressure Metal-Organic Vapor-Phase Epitaxy, epitaxia en fase gaseosa de organo-metlicos de baja presin) sobre un sustrato de
zafiro plano R [28]. Las muestras fueron crecidas por la Dra. Bilge Imer, bajo la supervisin de los profesores Steven P. DenBaars y James S. Speck en la Universidad
de California, Santa Brbara (UCSB).
Caracterizacin del material
Existen una serie de mtodos utilizados habitualmente en la caracterizacin
del material tras el crecimiento, y previo a su procesado para la fabricacin de
dispositivos. Estos mtodos proporcionan una informacin valiosa e interesante
sobre las caractersticas fsicas, estructurales del semiconductor, a menudo dando
explicacin de caractersticas funcionales que se observan cuando el dispositivo
est terminado.
En este captulo se han utilizado o intentado utilizar algunas de ellas; concretamente:
Fotoluminiscencia o PL (Photoluminescence): consiste en la generacin de
pares electrn-hueco por medio de la iluminacin del material semiconductor por un lser de energa mayor que el gap. Estos pares se recombinan
radiativamente y la luz reemitida se mide con un espectrmetro.3 El espectro obtenido, a menudo realizado a bajas temperaturas, puede dar mucha
informacin sobre estructura y defectos del semiconductor.
Transmitancia: Consiste en iluminar la muestra con un haz monocromado y
medir la fraccin de luz que es capaz de atravesarla. En este captulo se ha
3
En el ISOM existen dos montajes paralelos para la medida de los espectros pticos de emisin
de la PL: un monocromador THR 1000 de Jobin Yvon seguido de un fotomultiplicador, y un
montaje compuesto por monocromador y cmara CCD (Charge-Coupled Device, dispositivo de
carga acoplada) de Andor acoplados por medio de una fibra ptica a la muestra semiconductora.
El primero permite una medida mucho ms sensible y con mayor resolucin, mientras que el
segundo permite la medida de espectros en un tiempo mucho menor. Para la excitacin se dispone
de un lser de He-Cd de 325 nm y de uno de argn con doblador que produce fotones de 244 nm.
86
medido la transmitancia para luz polarizada a varios ngulos con respecto

al eje c de la muestra, con el objeto de comprobar la anisotropa ptica del
material, previamente a la fabricacin de los fotodetectores. Estas medidas
se realizaron en un espectrofotmetro4 Jasco V-650. Tanto en estas medidas
como en la de respuesta espectral polarizada se utiliz un prisma Glan-Taylor
de calcita de Melles Griot.
Difraccin de rayos X o XRD (X-Ray Diffraction): esta tcnica consiste en la

iluminacin de la muestra con un haz de rayos X incidentes con determinado
ngulo. Al estar la longitud de onda de estos fotones en el mismo orden
de magnitud que las distancias inter-atmicas en la red cristalina del semiconductor, estos sufren difraccin y abandonan la muestra en una serie de
ngulos distintos. Esta tcnica proporciona informacin sobre la composicin
de la muestra, el estado de tensin de las capas, y la calidad cristalina de la
misma. El difractmetro de rayos X utilizado es un Bede Scientific D3.
Medidas elctricas: es comn realizar, al menos, dos tipos de medidas elctricas en el material sin procesar: la CV y la medida de efecto Hall. La primera,
realizada con una punta de mercurio que forma un contacto Schottky y uno
pseudo-hmico,5 da informacin sobre la concentracin de dopantes, estn
o no ionizados, en la capa ms superficial del semiconductor. La segunda
consiste en hacer pasar una corriente elctrica por una muestra situada en
el seno de un potente campo magntico, y medir la diferencia de potencial
inducida en una direccin perpendicular a la corriente. Proporciona informacin sobre el tipo de portadores mayoritarios y la concentracin y movilidad
de los mismos.
4
Existe una cierta confusin en cuanto a los aparatos a los que se refieren los trminos espectrmetro, espectroscopio, espectrofotmetro, espectrgrafo. En esta tesis, basndome
en lo que creo que es el criterio ms extendido y utilizado por los fabricantes, utilizo el trmino
espectrmetro para referirme a un aparato que es capaz de medir el espectro ptico de un haz
de luz incidente, y espectrofotmetro para denotar el que posee un sistema de generacin de
un haz de luz monocromtica que se puede hacer incidir sobre una muestra, para luego medir la
luz transmitida/reflejada/dispersada.
5
Ambos contactos son de mercurio, pero existe una gran diferencia de superficie entre ambos.
El contacto mayor, al tener una gran superficie de contacto, es atravesado por gran cantidad de
portadores con facilidad, siendo en la prcica equivalente a un contacto hmico.
87
Fabricacin de los dispositivos

La fabricacin de los dispositivos fue realizada ntegramente por m en el ISOM,
y requiri de la utilizacin de diversas tcnicas, como la litografa ptica, el depsito de capas metlicas para los interdigitados y los contactos, ataque qumico,
microsoldadura y litografa por haz de electrones. Todas estas tcnicas, salvo la
ltima, se describen en la seccin 2.2.1, por lo cual no se repetirn aqu.
Con litografa ptica se pueden alcanzar resoluciones mximas en el orden de
la longitud de onda de la luz utilizada. Por tanto, con esta tcnica es difcil obtener
motivos de tamaos menores a 1 m. La litografa por haz de electrones logra, en
cambio, resoluciones mejores, utilizando para exponer la resina un haz enfocado
de electrones acelerados a decenas de keV, pudindose obtener resoluciones en el
orden de los 10 nm. El ISOM incorpor a sus instalaciones en 2007 un sistema
de litografa por haz de electrones de CRESTED, con el que se han procesado los
dispositivos descritos en este captulo. He tenido el placer, y, a veces, la frustracin,
de ser uno de los primeros usuarios de este equipo.
Caracterizacin de los dispositivos
La caracterizacin de estos dispositivos, una vez fabricados, requiri la utilizacin de distintas tcnicas elctricas y optoelectrnicas.
La medida de ms inters es precisamente la de la respuesta espectral en funcin
de la polarizacin. Para realizar esta medida es importante mantener el polarizador fijo y rotar la muestra con respecto al eje ptico. Hacer el montaje de esta
manera asegura una mayor tolerancia de la medida a pequeos desalineamientos
del sistema, ya que la cantidad de luz que atraviesa el prisma es altamente dependiente del ngulo de incidencia. Adems, al proceder la luz que lo atraviesa de
un monocromador, que logra su efecto por el uso de una red de difraccin, viene
ya parcialmente polarizada, por lo que no podramos nunca considerar igual la
potencia ptica incidentes sobre la muestra en ambas configuraciones.
El segundo conjunto importante de medidas consiste en medir la corriente, con
y sin iluminacin, en funcin de la tensin aplicada en los contactos del dispositivo.
Dado que los fotodetectores fabricados y caracterizados son simtricos, no tiene
sentido en principio la medida en modo fotovoltaico, por lo que es importante
determinar cul es la tensin idnea para polarizarlo. Se realizaron medidas de
respuesta hasta un mximo de 100 V y de corriente de oscuridad hasta un mximo
88
3.3 Caracterizacin del material
de 200 V, dependiendo del dispositivo concreto.

Por ltimo, tambin se caracteriz el ruido de los dispositivos con un montaje
similar al descrito anteriormente, y la linealidad de la respuesta de los dispositivos
en funcin de la potencia ptica incidente.
3.3.
Caracterizacin del material
Nada ms recibir el material se midi el espesor de la capa medida para verificar

los datos nominales del crecedor. Esta caracterizacin, realizada con una medida
de interferometra Fabry-Prot en la trasmitancia medida sin polarizacin en el
espectrofotmetro,6 dio como resultado un espesor de 1 m.
Para obtener una primera visin estimativa de la calidad morfolgica de la capa,
se introdujo en el SEM (Scanning Electron Microscope, microscopio electrnico de
barrido). En la figura 3.3 se presenta una imagen del perfil de esta muestra. La
morfologa observada en esta imagen es bastante rugosa, aunque se ha de tener en
cuenta que este perfil corresponde al canto de una muestra partida (cleaved ), y por
lo tanto no es representativo como podra serlo una imagen de TEM (Transmission
Electron Microscope, microscopio electrnico de transmisin). Por otra parte en
esta imagen se puede observar que la medida del espesor coincide con la obtenida
por interferometra. En esta medida se tuvo la oportunidad de experimentar por
primera vez los efectos de la bajsima conductividad de la muestra, que se describirn con ms detalle ms adelante. La obtencin de la imagen SEM requiere que
los electrones que penetran en la muestra sean evacuados, y si esto no sucede bien,
esta empieza a adquirir carga que deflecta el haz incidente y la imagen se deforma.
El Dr. Juan Pereiro realiz una medida 2 de difraccin de rayos X, que
se ha representado en la figura 3.4. En esta figura se pueden observar los picos
correspondientes al zafiro plano R y a la capa de GaN plano A. Se ha incluido,
para referencia, la posicin del GaN plano A completamente relajado [54, 169]. El
pico obtenido se encuentra en el ngulo = 28.82o , lo cual se corresponde con
dilatacin fuera de plano de xx = 0.11 %.
Se realiz una medida de fotoluminiscencia a baja temperatura, que se ha representado en la figura 3.5. Las caractersticas observadas parecen corresponder a
6
Conociendo a priori el ndice de refraccin de una capa, y midiendo la posicin en longitud

de onda de los mximos y mnimos de transmisin, provocados por la interferencia constructiva
y destructiva, respectivamente, de los frentes de onda correspondientes a sucesivas reflexiones en
la muestra, es posible calcular el espesor de la misma.
89
Figura 3.3: Imagen SEM del perfil de la muestra de GaN plano A.
Reflectividad (cuentas)
GaN plano A
Zafiro plano R
10
relajado
10
GaN plano A (28.82 )
10
[1120]
FWHM =162 arc sec
10
10
26
27
28
ngulo
29
(grados)
Figura 3.4: Barrido de XRD 2 del GaN plano A.
90
3.3 Caracterizacin del material
excitones ligados a defectos de apilado (Stacking Faults: SF,X) y sus correspondientes rplicas fonnicas (Longitudinal Optical : LO1, LO2), a defectos estructurales
(I1 ) y al excitn ligado a donor (D0 ,X). Se intent hacer una medida de la PL de
la muestra polarizando el haz de luz colectada, con intencin de detectar la anisotropa ptica. Sin embargo, esta medida es muy compleja experimentalmente, ya
que es mucho ms sensible a los defectos de alineacin del sistema, y la amplitud
de la PL vara mucho al girar el prisma polarizador, por lo que no pudo obtenerse
ninguna medida concluyente.
(SF,X)
Intensidad PL (u. arb.)
T = 10 K
LO1 - (SF,X)
10
LO2 - (SF,X)
(D ,X)
10
2.9
3.0
3.1
3.2
3.3
3.4
3.5
3.6
Energa (eV)
Figura 3.5: PL del GaN plano A.

Quiz la caracterizacin estructural ms relevante de las realizadas de cara
al objetivo de este captulo es la de la transmitancia en funcin de la longitud
de onda para distintos ngulos de luz polarizada. Tal medida se realiz, como
se ha comentado, en un espectrofotmetro Jasco V-650 modificado para tener la
capacidad de polarizar uno de los haces luminosos y para albergar una muestra
adherida a una etapa de giro. La medida, realizada para 0o (Ekc), 45o y 90o (Ec),
se muestra en la figura 3.6, donde se ha representado tanto en escala lineal como
en escala logartmica.
Se observa un claro desplazamiento de aproximadamente 2 nm entre las curvas
correspondientes a ambas polarizaciones, consecuencia de la ya mencionada an91

0.75
o
90 (E
45
c)
0.50
-log(transmitancia)
Transmitancia
0 (E||c)
0.25
0
360
365
370
375

0.00
360
370
380
390
Figura 3.6: Transmitancia del GaN plano A en eje lineal y logartmico.

isotropa ptica causada por la prdida de simetra cristalina. Esta separacin se
traducir en un desplazamiento en la fotorrespuesta del dispositivo.
Dado que no fue posible realizar una medida del gap para las diferentes polarizaciones por fotoluminiscencia, esta medida se infiri de las curvas de transimisin
a temperatura ambiente, realizando un ajuste sigmoidal. Los valores obtenidos son
de 3.420 para el gap correspondiente a Ec y 3.436 para el correspondiente a Ekc.
En cuanto a la caracterizacin elctrica del material, no se pudo realizar ninguna de las medidas que habitualmente se realizan, como la CV con punta de
mercurio o la medida de movilidad y concentracin de portadores por efecto Hall,
debido a la bajsima conductividad de la muestra. No se pudieron realizar buenos
contactos hmicos y la profundidad de la zona de carga espacial es comparable al
espesor de la capa.
3.4.
Fabricacin de los dispositivos
Se fabricaron dispositivos MSM con distintas reas activas, formados por contactos Schottky de nquel de 100 nm, depositados por evaporacin trmica. Los
interdigitados tienen periodos de 0.8, 2, 4, 8 y 20 m, siendo la anchura de los
92
3.4 Fabricacin de los dispositivos
dedos, respectivamente, de 0.175, 0.5, 1, 2 y 5 m. Estos dispositivos se referenciarn de ahora en adelante como P08, P2, P4, P8 y P20, respectivamente. Para
facilitar la soldadura de los dispositivos, se depositaron contactos metlicos de
Ni/Au (100 nm/400 nm). En la figura 3.7 se ha representado un esquema de la
estructura de los dispositivos MSM.
Figura 3.7: Representacin esquemtica de la estructura de los dispositivos MSM

fabricados.
La fabricacin de estos dispositivos fue un proceso especialmente complejo y
delicado, debido a sus dimensiones nanomtricas, y a la gran cantidad de pasos que
fueron necesarios para su finalizacin. La figura 3.8 es una representacin esquemtica de estas distintas etapas de la fabricacin. Aquellas etapas ms especficas
de este procesado o que han requerido una mayor dedicacin o cuidado se detallan
a continuacin.
Diseo de la mscara
Se dise una mscara en un programa de CAD (Computer-Aided Design,
diseo asistido por ordenador), en la que haba dispositivos de 50 50 m2 , de
100 100 m2 y de 250 250 m2 . Estos ltimos, al ocupar mayor superficie
de semiconductor, se hicieron en menor nmero (4 por cada tipo de dispositivo),
en previsin de que, si la respuesta fuera excesivamente pequea, se pudieran
caracterizar dispositivos con mayor seal. En cuanto a los de 50 y 100 m (8 y
12, respectivamente, por cada tipo de dispositivo), se dise la mscara de modo
que hubiera algunos de ellos orientados en direccin perpendicular, con el objetivo
93
Figura 3.8: Pasos del proceso de fabricacin de los MSM de GaN plano A.
94
de poder descartar el efecto de los interdigitados metlicos en la respuesta a la

polarizacin.
Para aprovechar mejor la superficie semiconductora, se disearon los contactos
de modo que uno de ellos es comn a todos los dispositivos, no siendo necesario,
de este modo, habilitar un gran espacio para la soldadura en cada detector, y
siendo posible medirlos individualmente. Debido a que la mquina de nanolitografa
tiene unos tamaos de campo de escritura predefinidos para los que se encuentra
ptimamente calibrada, y a que es mejor, para lograr la continuidad de los patrones
dibujados, no hacer motivos delicados que crucen estos lmites de campo, se hizo
coincidir la mscara con una rejilla de 600 m.
Para optimizar el tiempo de uso de la mquina de litografa, y por otros motivos que se detallarn ms adelante, relacionados con el depsito de metales, se
fabric una mscara de litografa ptica de cromo sobre vidrio para definir los
motivos menos finos. Para facilitar el alineado de esta etapa se aadieron marcas
de alineamiento 2 m.
Figura 3.9: Mscara diseada para los MSM de GaN plano A.

En la figura 3.9 se ha representado esquemticamente la mscara diseada. A
la derecha se muestra una columna bsica, con 4 dispositivos 50 m, 6 de 100 m y
2 de 250 m de lado. En gris se muestra la mscara ptica, y en negro los patrones
realizados con litografa por haz de electrones. Se puede observar que 4 de los
dispositivos tienen una orientacin perpendicular al resto. Esta columna bsica se
repite horizontalmente 10 veces, dos por cada tipo de dispositivo. Para aprovechar
95
al mximo el material disponible, se situ esta estructura bsica en el centro de la

muestra y se replic hacia los bordes, para fabricar tantos dispositivos como fuera
posible. Esto se puede observar en la parte izquierda de la figura 3.9, donde se ha
dibujado con lnea continua la forma aproximada de la muestra utilizada.
La necesidad de fabricar una mscara ptica proviene de dos motivos fundamentales: la mayor velocidad de exposicin y la capacidad de depositar capas ms
gruesas de metal. En litografa ptica, una vez la mscara est alineada con el
motivo subyacente, la exposicin dura tpicamente menos de 20 segundos, y es
independiente de la superficie expuesta. En litografa por haz de electrones, por
el contrario, el tiempo de exposicin aumenta con el rea expuesta, y, si bien este
tiempo se puede reducir utilizando corrientes de haz y tiempos de revelado mayores, suele ser muy largo para barrer grandes superficies. Por ello, disponer de una
mscara de litografa ptica disminuye el tiempo de procesado y libera tiempo de
utilizacin de un recurso que es muy solicitado. Por otra parte, con litografa ptica,
dado que tiene una resolucin peor, suelen utilizarse resinas mucho ms gruesas
que en litografa por haz de electrones. En concreto, para el caso de las resinas
disponibles en el ISOM, el espesor tpico es de 1.5 m para litografa ptica y de
300 nm para litografa por haz de electrones. En aquellos procesos que necesitan
lift-off o levantamiento de la resina tras un depsito (tpicamente de metales) es
importante que el espesor depositado sea menor de aproximadamente un tercio del
espesor total de resina. Por ello, con un slo paso de litografa por haz de electrones
no es ptimo depositar ms de 100 nm, lo cual es algo escaso para un pad sobre el
que se planea hacer una microsoldadura. Utilizando resina ptica, sin embargo, es
fcil realizar el lift-off de un espesor depositado de 500 nm, mucho ms adecuado
para esta finalidad.
Evacuacin de los electrones
La litografa por haz de electrones o e-beam consiste en la modificacin de
las propiedades qumicas de una capa de resina al ser atravesada por un haz de
electrones acelerados (50 keV en nuestro caso). Estos electrones son concentrados con gran precisin por medio de unas lentes electromagnticas, obtenindose
una resolucin mxima de aproximadamente 10 nm. El principio de operacin
es el mismo que el de un SEM. Los electrones acelerados, una vez atraviesan y
exponen la resina, acaban siendo absorbidos en el semiconductor, por lo que es
necesario evacuarlos. Cuando esta evacuacin no se produce, la carga acumulada
96
genera un campo elctrico que modifica la trayectoria de los electrones incidentes,

deformando la imagen impresa (litografa) o captada (microscopa). En muestras
suficientemente conductoras esta evacuacin se produce a travs de una pinza o
algn otro medio en contacto con el semiconductor que permite la salida de la
carga. Sin embargo, en muestras muy aislantes, como era el caso de las de GaN
plano A disponibles, no es posible realizar la evacuacin de esta forma, lo que
supone un importante problema tanto para la microscopa como para la litografa.
La solucin en uso actualmente en el ISOM es la utilizacin de un polmero
conductor que se deposita sobre la resina y se elimina con agua desionizada justo
antes del revelado. Sin embargo, en el momento de la fabricacin de estos detectores
esta solucin todava no estaba disponible, as que fue necesario recurrir a otras
alternativas, haciendo uso de la experiencia previa de otros investigadores del ISOM
(el Dr. Toms Palacios [125]) y de los intercambios con compaeros (David Lpez,
Jorge Pedrs). Siguiendo un proceso anlogo al seguido por el Dr. Palacios aos
antes, se hicieron varias pruebas, depositando diversos metales encima y debajo la
capa de resina, y con distintas tcnicas para su eliminacin, y finalmente se opt
por la utilizacin de una capa de oro entre el semiconductor y la resina para la
evacuacin de los electrones, como se puede ver en los pasos 1 a 8 de la figura 3.8.
Se deposit, mediante evaporacin trmica, una fina capa (20 nm) de oro, y sobre
ella se hizo el centrifugado (spinning) de la resina, de 0.3 m de espesor. Tras esto
se realiz la litografa por haz de electrones con normalidad, pues la presencia de
la capa de oro serva de va de evacuacin de carga acumulada.
Despus de la litografa (pasos 34), y dado que el metal con el que se deseaba
hacer el contacto Schottky era nquel y no oro, fue necesario eliminar esta capa. A
pesar de que habra sido interesante eliminar esta fina capa de oro en el RIE, para
conseguir un borde del ataque perfectamente ajustado a la litografa, este ataque es
ligeramente erosivo sobre la superficie semiconductora, y esto podra haber alterado
significativamente las propiedades elctricas de los dispositivos finales, y por ello se
opt por un ataque qumico, ms inocuo para la superficie de GaN. Se escogi como
atacante una solucin de KI:I2 diluida en agua (paso 5). Este ataque es altamente
especfico, no afecta a la resina ni a otros muchos metales, entre los que se incluye
el nquel, lo cual es una gran ventaja, dado que es necesario eliminar el resto del
oro en una etapa posterior en la que ya hay nquel presente en la muestra (paso
8). La desventaja de utilizar un ataque qumico es que este es muy istropo, y por
tanto con el tiempo ataca el oro bajo la resina, haciendo que esta pierda su base y
97
por tanto destruyendo el motivo litografiado. Fue necesario un cuidadoso control

de la concentracin de KI:I2 y del tiempo de ataque para asegurar la eliminacin
del oro sin la destruccin de la litografa.
En la figura 3.10 se presenta una imagen obtenida en el SEM de la mquina de
litografa por haz de electrones de la muestra, en una de las pruebas, tras el paso
7 (fig. 3.8), en el que se puede observar una parte del interdigitado de nquel, y
los restos de oro en la regin que haba quedado protegida por la resina. A pesar
de que, idealmente, debera haber oro inmediatamente en contacto con el nquel,
se puede observar que la solucin de ataque ha penetrado algo por debajo de la
resina, llevndose parte del oro.
Figura 3.10: Imagen SEM de los interdigitados de nquel y la capa de oro.
Calibracin de la anchura de los dedos

Como se puede observar en la figura 3.10, los dedos metlicos no tienen la
misma anchura que los espaciados entre ellos. Si bien, cuando los detalles a litografiar son grandes, como en el caso de los interdigitados P4 (1 m/1 m), es fcil
hacer que estos sean de aproximadamente igual tamao, simplemente diseando
la mscara en consecuencia, cuando las dimensiones se reducen hasta las centenas
de nanmetros esta tarea ya no es tan sencilla.
La distribucin espacial del haz de electrones no es un escaln abrupto, sino
una gradacin suave desde el mximo, en el centro, hasta los extremos. Por tanto, cuando se traza una un motivo, las zonas tericamente no expuestas estn
recibiendo tambin cierta dosis. Esto cobra mayor importancia cuando se estn
98
litografiando detalles pequeos muy juntos los unos a los otros, ya que la dosis de
los motivos adyacentes y su cercana influyen en el tamao final de los dems. Esto
se denomina efecto de proximidad. Adems, esta distribucin espacial vara con
una variedad de factores, como la corriente del haz, la precisin del enfoque y del
ajuste del astigmatismo, parmetros que varan de una utilizacin de la mquina
a la siguiente, ya que entre medias han podido tener acceso a ella varios usuarios
ms. Tambin influye la adherencia de la muestra a la resina en una litografa de
estas caractersticas, en la que, tras el revelado, quedan bandas de resina sobre
la muestra de hasta 250 m de longitud y tan slo 200 nm de anchura. Cuanto
ms delgada es esta lnea de resina, ms probable es que durante el proceso de
revelado esta pierda adherencia y se levante, perdindose por tanto la litografa.
Por ltimo, tambin es importante notar que no es la litografa lo que se desea sea
de una determinada anchura, sino los dedos metlicos tras el proceso de depsito
y lift-off. El hecho de que una litografa, al observarla en el SEM tras el revelado,
tenga una relacin 200 nm/200 nm, no significa que tras el lift-off se tenga esa
misma relacin de nquel/hueco, sino que ms probablemente el nquel es ms
estrecho de lo esperado.
Por todos estos motivos, es prcticamente imposible saber, a priori, cul es el

diseo ptimo de una mscara para obtener interdigitados de las caractersticas
deseadas. Para superar este problema desarroll un procedimiento de prueba a
realizar antes de cada litografa definitiva, que ha sido usado posteriormente por
otros compaeros [58]. Este procedimiento consiste en la exposicin de una mscara
en la que hay dispositivos de un tamao suficientemente grande (si el rea fuera
demasiado pequea el efecto de proximidad podra no afectar de igual manera),
y de distintos grosores de dedo para cada periodo del interdigitado. Esta mscara
se expone repetidas veces en distintas posiciones de la muestra, variando en cada
vez el tiempo de exposicin, y, opcionalmente, la corriente de haz. Por ltimo, la
litografa se revela, se deposita la capa metlica deseada, y se hace el lift-off. Esta
muestra de calibracin se introduce en el SEM, y se determina cul de las distintas
pruebas (anchura de la mscara, tiempo de exposicin, corriente del haz) es la que
ms se ajusta a lo deseado. Tras esta prueba, se dibuja el interdigitado adecuado
en la mscara definitiva, y se realiza la litografa con las mismas condiciones.
99
3.5.
Caracterizacin elctrica
La medida de caracterizacin elctrica ms relevante realizada a estos dispositivos fue la de su IV , representada en la figura 3.11. La medida de estos dispositivos
-8
Corriente de oscuridad (A)
10
-9
10
VB
-10
10
P08
P2
P4
P8
-11
10
P20
-12
10
Nd
-13
10
5-7 10
15
-3
cm
-14
10
50
100
150
200
Tensin (V)
Figura 3.11: Corriente de oscuridad de los dispositivos de 100 100 m2 .

hubo de hacerse con especial cuidado, debido a lo dispar de sus caractersticas:
mientras los dispositivos de menor interdigitado tienen un fuerte incremento de
corriente en tensiones inferiores a 10 V, los de mayor interdigitado presentan corriente muy baja hasta 200 V.7
Los crculos de la figura 3.11 son los puntos experimentales. Como se puede
observar, la corriente de oscuridad tiene un comportamiento diferenciado en dos
regiones: inicialmente, la corriente aumenta quasi-exponencialmente desde 0 V
hasta una tensin crtica VB , que depende del espaciado entre electrodos, y, por
encima de esta tensin la corriente empieza a aumentar a una tasa mayor.
El Dr. Carlos Rivera realiz un estudio y ajuste terico de estos resultados [116],
concluyendo que el incremento inicial puede identificarse con la inyeccin de electrones desde el contacto polarizado en inversa, mientras que la segunda zona de
7
Esta medida se realiz con un analizador de parmetros de semiconductor de Hewlett Packard

capaz de producir hasta 100 V. La medida hasta 200 V se hizo aplicando tensiones simtricas en
ambos terminales: 100 V (100 V ) = 200 V .
100
3.5 Caracterizacin elctrica
mayor pendiente. La dependencia de la densidad de corriente en oscuridad J ha sido

ajustada (lneas continuas en la figura 3.11) utilizando la siguiente expresin [170]:
"
q
J Jns exp
kT
q V + VF B
V + VF B
+
4S
L
L
!#
(3.1)
donde Jns es la densidad de corriente de saturacin de los electrones, q es la carga del electrn, k es la constante de Boltzmann, T es la temperatura, S es la
permitividad elctrica, y L es el espaciado entre electrodos. El parmetro de correccin puede estar relacionado con diversas causas [116], como por ejemplo la
presencia de una capa semiaislante, debida a los procesos tecnolgicos, de espesor,
segn el ajuste, entre 1 y 3 nm. La concentracin de donantes (donnors) ND se
puede extraer a partir de la tensin de banda plana VF B , que viene dada por
qND L2 /2S . Los resultados del ajuste proporcionan valores de ND en el intervalo
(5 7) 1015 cm3 , lo cual confirma la naturaleza altamente resistiva del GaN
plano A. Jns ajusta a 5 1011 A/cm2 excepto para los de menor interdigitado,
P08 y P2, en los que este valor es mayor, probablemente por razones tecnolgicas
o efectos relacionados con el menor tamao.
Como se ha comentado con anterioridad, en la figura 3.11 se puede observar
que a partir de determinado punto, diferente para cada dispositivo, la corriente de
oscuridad aumenta drsticamente con respecto a su tendencia a menores tensiones.
La tensin a la que se produce este aumento no parece tener relacin con la tensin
de banda plana, cuya relacin con el espaciado entre dedos es cuadrtico, sino que
se incrementa linealmente con este espaciado, reproducindose para un campo
elctrico medio de 4.4 5.8 105 V/cm. Si bien este efecto se asoci inicialmente a
fenmenos de multiplicacin de portadores [116], los valores de campo elctrico a
los que se produce son cerca de un orden de magnitud inferiores a los tpicamente
reportados en la literatura [16, 89, 182]. Podra estar relacionado, sin embargo, con
multiplicacin en pequeas inhomogeneidades del contacto metlico en las que el
campo es localmente mayor.
Los dispositivos MSM presentan una dificultad aadida para su modelado: si
bien en dispositivos como los p-i-n, o los diodos de barrera Schottky, se puede
considerar que las diferentes magnitudes varan nicamente a lo largo de un eje
(profundidad), en este tipo de dispositivos cualquier modelado debe ser bidimensional. El diagrama de energas de las bandas de conduccin y valencia de estos
dispositivos, con el que normalmente son ilustrados (figura 3.12), representa la
101

M
(a)
(b)
(c)
Figura 3.12: Diagrama de bandas de un dispositivo MSM estndar, sin polarizacin

(a), con tensin aplicada baja (b) y en condiciones de banda plana (c).
progresiva deplexin del dispositivo al aplicar tensiones crecientes en sus terminales a lo largo del camino ms corto entre ambos contactos, que es, precisamente,
la superficie del dispositivo. Si bien en este tipo de diagramas se supone que las
caractersticas de la superficie no difieren significativamente de las del material
en volumen, esto no tiene por qu ser cierto en general, y quiz especialmente en
estos dispositivos, en los que la superficie no ha sido pasivada. Otro factor, propio
de estos dispositivos en concreto, que aade complejidad a su anlisis es el hecho
de que la relacin entre el espesor del material D y el espaciado entre dedos L
vara significativamente entre dispositivos: D/L 4.5 para los dispositivos P08,
mientras que D/L = 0.2 para los dispositivos P20. Por todos estos motivos, y, principalmente, porque no era el objetivo de este doctorado la vertiente de modelado
y simulacin de los dispositivos utilizados, no se profundiz en este anlisis.
Tambin se caracteriz el ruido en todas las muestras, para distintas tensiones
de polarizacin, utilizando el sistema con un amplificador de transimpedancia de
bajo ruido y el analizador dinmico de seal SR780 descrito en el apartado 2.2.3.
Para tensiones en las que la corriente de oscuridad es menor que 10 pA, la corriente
de ruido est por debajo del lmite de medida del sistema. La corriente de oscuridad
pasa a ser muy inestable aproximadamente a partir de 10 pA, y por ello el ruido
medido se incrementa significativamente por encima de los valores tericos de ruido
trmico o shot.
3.6.
Caracterizacin optoelectrnica
Sensibilidad a la polarizacin
Para comprobar la sensibilidad a la polarizacin de los detectores, se midi la
respuesta espectral para distintos ngulos de polarizacin de los fotones inciden102
3.6 Caracterizacin optoelectrnica
tes, a 2.5 V para los fotodetectores P08 y a 10 V para los P2, P4, P8 y P20. Las
respuestas espectrales de estos dispositivos resultaron ser muy similares, variando
principalmente en el nivel de seal y ruido presente en la medida, y siendo completamente equivalente su dependencia con la polarizacin. En la figura 3.13 se
muestra la respuesta normalizada al mximo de uno de los detectores de tipo P4
(1 m nquel/1 m espacio) aplicando una tensin de 10 V y bajo cuatro ngulos
de incidencia de la luz polarizada con respecto al eje c.
||
0.2
R -R
Responsividad normalizada
1.0
0.8
0.1
0.6
0.0
350
0.4
90 (
60
0.2
30
355
360
365
370
375
R)
0 (
R)
||
0.0
355
360
365
370
375
Figura 3.13: Respuesta espectral normalizada en funcin de la polarizacin de un

fotodetector tipo P4 a 10 V; respuesta del sistema de fotodetectores en configuracin diferencial.
El comportamiento de estos dispositivos con la luz polarizada es precisamente
el que se buscaba, y el esperado a la vista de los resultados de la medida de transmisin con la polarizacin (figura 3.6). Se puede observar una separacin espectral
de aproximadamente 2 nm entre la respuesta de las curvas correspondientes a Ec
(i. e., R ) y Ekc (i. e., Rk ). El mximo contraste de sensibilidad a la polarizacin
para un fotodetector es R /Rk = 1.8, peor que en el caso de los fotodetectores
de plano M, cuyo contraste mximo es de 7.25 [148]. Estos detectores pueden ser
utilizados en una configuracin diferencial [152], en la que la respuesta de dos
fotodetectores orientados perpendicularmente se resta para obtener una respuesta
pasobanda como la representada en insercin de la figura 3.13, donde la respuesta
103
en el mximo es de aproximadamente un 20 % del mximo de la responsividad de

los fotodetectores en el GaN. En este caso, dado que la selectividad espectral se obtiene de modo diferencial, no es tan crtico el contraste anteriormente mencionado,
sino que esta ser mejor cuanto mayor sea la detectividad de ambos detectores.
Como se ver ms adelante, los fotodetectores de GaN plano A presentan una
respuesta muy buena, con niveles de ruido y corriente de oscuridad muy bajos.
El contraste ultravioleta/visible de estos fotodetectores es mayor de 103 , limitado por el sistema de medida.
Para una longitud de onda determinada, la respuesta un haz de luz incidente
con polarizacin lineal arbitraria viene dada por la relacin:
R = R sin2 + Rk cos2
(3.2)
Para comprobar la bondad del alineamiento del eje c del GaN con la direccin
de la anisotropa ptcia se hizo una medida de la respuesta a luz polarizada en
incrementos de 30o , entre 0o y 150o , a longitud de onda fija. El resultado, junto
con el ajuste a la ecuacin (3.2), se muestra en la figura 3.14
1.0
= 362 nm
0.9
0.8
0.7
30
60
90
120
150
ngulo de polarizacin (grados)
Figura 3.14: Responsividad en funcin del ngulo de polarizacin a fija.

Como se puede observar, la correspondencia es excelente, existiendo una desviacin de ngulo de tan slo 1.3o .
En la descripcin del proceso de fabricacin de los fotodetectores se ha comentado que se incluyeron algunos interdigitados con orientacin perpendicular para
descartar el posible efecto de la difraccin en los electrodos en la sensibilidad a la
radiacin. Lamentablemente, los interdigitados en orientacin perpendicular de los
104
3.6 Caracterizacin optoelectrnica
fotodetectores P08 no quedaron correctamente dibujados tras la eliminacin de la

capa de oro, y no se pudo obtener su respuesta espectral. En todos los dems, sin
embargo, se obtuvo una respuesta totalmente equivalente a la de los fotodetectores con orientacin normal. Si a este hecho sumamos el que la sensibilidad a la
polarizacin es equivalente en fotodetectores con redes de difraccin de periodos
tan dispares (de 400 nm a 10 m), y que la respuesta de una red de difraccin
nunca podra mostrar un patrn tan estrecho y claramente centrado en el gap del
GaN como el que tenemos, podemos atribuir con un alto grado de confianza la
sensibilidad a la polarizacin a la anisotropa ptica del GaN plano A y descartar la influencia de las redes de difraccin. Esta conclusin se apoya tambin en
las pruebas realizadas sobre redes de difraccin metlicas que se describen en el
apartado 3.7.
Responsividad absoluta
Dado que los MSM no son, a priori, asimtricos, no tienen respuesta a 0 V, y
su responsividad vara con la tensin aplicada en sus terminales. Se caracteriz la
responsividad absoluta de estos fotodetectores en funcin de la tensin aplicada,
iluminndolos con un LED de GaN comercial con emisin centrada en 360 nm. Las
curvas se han representado para todos las dimensiones de interdigitado en doble
eje logartmico hasta8 100 V en la figura 3.15. Para evitar que se produjera dao
en los fotodetectores se limit la corriente a 10 nA.
Se puede observar que la responsividad se incrementa linealmente con la tensin
aplicada en una primera regin. A partir de determinada tensin, en la regin II,
la responsividad sigue aumentando linealmente9 con la tensin aplicada, pero a
una tasa mayor. En los fotodetectores P4 y P8 se puede observar, de hecho, el
comienzo de una tercera regin, en la que es difcil evaluar la dependencia debido
al reducido nmero de puntos. En la figura 3.15 se ha incluido una lnea representando la responsividad de un fotodetector con eficiencia cuntica = 1 a 360 nm.
Esto no significa que estos fotodetectores alcancen un 100 % de coleccin de portadores fotogenerados, sino que debido a poseer ganancia llegan a proporcionar una
8
Para poder diferenciar adecuadamente la seal fotoexcitada de la de fondo, la medida se hizo
pulsando el LED, aplicando tensin en una de los terminales de los fotodetectores y amplificando
la corriente a travs del otro con un amplificador de transimpedancia cuya salida era demodulada
por un amplificador lock-in. Esta es la razn por la que no se pudo aplicar la misma configuracin
de tensiones simtricas que para la medida de la corriente de oscuridad y no se pudo medir la
responsividad de los fotodetectores tipo P20 por encima de los 100 V.
105

1
10
Responsividad (A/W)
10
= 1
-1
10
-2
P08
10
P2
P4
-3
10
P8
Regin I
-4
P20
Regin II
10
0.1
10
100
Tensin (V)
Figura 3.15: Responsividad en funcin de la tensin de polarizacin.

responsividad equivalente.
La responsividad absoluta de los fotodetectores fue calibrada utilizando un lser
de He-Cd, cuya emisin se sita en 325 nm. La respuesta de los dispositivos es lineal
con la potencia ptica incidente en el intervalo medido, de 105 a 0.4 W/cm2 ,
independientemente del periodo de los contactos interdigitados y de la tensin
aplicada (en ambas regiones de responsividad, I y II).
La mxima responsividad alcanzada antes de que la corriente de oscuridad sea
comparable a la fotocorriente es aproximadamente 2 A/W. Este valor tan elevado
parece indicar la presencia de ganancia fotoconductiva en la regin II. Esta hiptesis es apoyada por las medidas de respuesta temporal, explicadas ms adelante.
Los valores de responsividad medidos en la regin I (por ejemplo, 6 mA/W a 1 V
para un espaciado entre contactos de 0.5 m) son comparables a los que se pueden encontrar en la literatura para fotodetectores MSM con geometras similares
crecidos sobre GaN plano C [37, 126]. En la literatura tambin se pueden encontrar fotodetectores MSM de GaN con mayor ganancia fotoconductiva y valores de
9
En la figura 3.15 puede parecer difcil asociar con un crecimiento lineal el representado en
la regin II. Esto es debido a que los puntos correspondientes a una recta con ordenada en
el origen no aparecen alineados en una representacin doble logartimica; sin embargo, en una
representacin lineal o en la tabla de valores esta linealidad se aprecia perfectamente.
106
3.7 Estudio de redes de difraccin metlicas
corriente de oscuridad comparables [13].

La respuesta temporal de los fotodetectores se midi utilizando el LED de GaN
mencionado con anterioridad, cuyo tiempo de respuesta es aproximadamente 1 s.
En la regin I la respuesta de todos los fotodetectores es rpida, ms corta que la
del LED. En la regin II esta respuesta temporal se hace del orden de 10 s.
Con la caracterstica de ruido medida (apartado 3.5) y los valores de responsividad absoluta se calcul la detectividad especfica D de los fotodetectores.
Operando en el rgimen de corriente de oscuridad estable (Id < 10 pA), la mxima
detectividad especfica es mayor que D = 6.3 1012 cm Hz1/2 W1 , obtenida para
una responsividad de 2 A/W correspondiente a un fotodetector P4 a 30 V. Si se
calcula la relacin responsividad/corriente de oscuridad para todos los tipos de
detectores, se observa que todos ellos presentan una regin de tensiones relativamente ancha con unos valores similares, si bien la de los fotodetectores P4 (1 m
de espaciado) es ligeramente mejor que la de los dems.
3.7.
Estudio de redes de difraccin metlicas
3.7.1.
Introduccin
Dado que los fotodiodos medidos presentan sobre su rea activa una red de
difraccin metlica, formada por los propios electrodos interdigitados, se consider
interesante profundizar en el estudio del efecto de estas redes sobre la sensibilidad a
la polarizacin de fotodetectores. Si bien la posibilidad de que esta red de difraccin
influya determinantemente en las caractersticas de sensibilidad a la polarizacin
de los fotodetectores caracterizados en este captulo ha quedado descartada como
se indic anteriormente, se decidi an as continuar con este estudio por varios
motivos:
Es interesante, como evaluacin de la calidad de los detectores fabricados,
la comparacin con otras alternativas para obtener detectores sensibles a la
polarizacin, que no precisen de la adicin de un filtro tras el proceso de
fabricacin.
A pesar de que la difraccin, y, en concreto, el efecto de las redes de difraccin metlicas, no es un tema novedoso, no se ha encontrado en la literatura
ningn trabajo que reporte la fabricacin de fotodetectores sensibles a la polarizacin con una red de difraccin metlica depositada sobre su superficie.
107
Dado que la litografa y el depsito de metales son tareas habituales durante el proceso de fabricacin de fotodetectores de estado slido, parece, a
priori, interesante, ahondar en la posibilidad de aadir la sensibilidad a la
polarizacin a los fotodetectores durante el proceso de fabricacin.
3.7.2.
Desarrollo de las pruebas
Primeras pruebas sobre nitruros

Dado que la idea inicial era imitar a travs de las redes de difraccin la sensibilidad a la polarizacin intrnseca del GaN plano A, en parte con la intencin
de descartar el efecto de los interdigitados [19], se plante la fabricacin de fotodetectores sobre GaN plano C cuyo contacto superior consista en un conjunto de
hilos metlicos. Para extender hacia el visible la sensibilidad de estos fotodetectores y facilitar la medida espectral en un intervalo mayor de longitudes de onda,
se recurri a fotodiodos con pozos cunticos de InGaN como los descritos en el
captulo 2, pero con el corte de deteccin en torno a los 525 nm. Con intencin de
unir en el mismo patrn metlico las funciones de polarizador y de contacto tipo p,
se depositaron capas de nquel de 100 nm. El periodo de la red de difraccin fue de
400 nm, con distintos anchuras de lnea. Se midi la respuesta espectral polarizada
en estos dispositivos, y se observ que el grado de sensibilidad a la polarizacin
era psimo.10
Depsito de interdigitados dobles sobre fotodetectores de silicio
Un estudio en mayor profundidad de la literatura existente sobre polarizadores
de banda ancha basados en rejilla de nanohilos [185, 196] permiti identificar los
fallos cometidos en el primer experimento y disear un segundo intento. Esta vez
se eligi depositar la rejilla metlica sobre fotodiodos comerciales de silicio, en vez
de utilizar fotodetectores basados en nitruros. Los fotodiodos de silicio presentan
una mayor responsividad que las muestras disponibles de nitruros, siendo tambin
mayor la porcin del espectro electromagntico a la que son sensibles. Por otra
parte, hacerlo sobre nitruros no ofrece ninguna ventaja aadida evidente para la
fabricacin de fotodetectores sensibles a la polarizacin por esta tcnica, mientras
que el silicio es un estndar en el mercado y es fcil conseguir dispositivos de
10
Principalmente debido al metal elegido, nquel, y el periodo de la red de difraccin, demasiado

grande.
108
gran rea y tener una gran uniformidad en las muestras procesadas. Se utilizaron
distintos fotodiodos de silicio comerciales en las sucesivas pruebas de litografa y
depsito, aunque los dispositivos finales se fabricaron sobre fotodiodos OSD155T de Centronic, con un rea activa de 15 mm2 , suficiente como para permitir
un centrifugado uniforme de la resina y poder litografiar una rejilla grande que
facilitara la caracterizacin posterior.
En la literatura consultada se observ un mejor comportamiento del aluminio
como polarizador comparado con otros metales, debido a poseer un gran coeficiente
de extincin k y un ndice de refraccin n relativamente bajo. Se hizo un estudio
de los parmetros n y k disponibles en la literatura [57] de los distintos metales
disponibles en el ISOM para realizar depsitos por evaporacin (Au, Cr, Al, Ni, Ti,
AuGe, Pt), y se opt finalmente por el aluminio. En cuanto al mtodo de depsito,
se emple la evaporacin trmica, principalmente debido a la mayor facilidad para
realizar muchas pruebas en cortos periodos de tiempo.11
Figura 3.16: Esquema del polarizador doble fabricado.

En cuanto a la geometra a utilizar, se decidi fabricar un polarizador doble
como el que se ilustra en la figura 3.16. Tras el revelado de las lneas trazadas
por litografa electrnica, se deposita una capa de aluminio, y se caracteriza el
dispositivo tal cual, en vez de realizar el habitual proceso de levantamiento o liftoff. De este modo conseguimos tener dos redes de difraccin superpuestas, una
en contacto directo con el fotodetector de silicio y otra sobre las lneas de resina
(marcadas r en la figura), duplicando el efecto polarizador de la estructura [196].
11
Esto no es una ventaja intrnseca de la evaporacin trmica frente a la evaporacin por haz
de electrones, tambin disponible en el ISOM, sino que responde al hecho de que yo conoca el
funcionamiento de los equipos para realizar la primera y no la segunda, para la cual dependa de
la disponibilidad de los usuarios autorizados.
109
Se realizaron distintas pruebas con el objetivo de fabricar un conjunto de dispositivos en los que se variara el periodo de la rejilla y el espesor de aluminio
depositado. En principio, cuanto mayor sea el espesor depositado y cuanto menor
sea el periodo, mayor ser la razn de polarizacin lograda. Tcnolgicamente,
sin embargo, la dificultad se incrementa tanto con el aumento del espesor metlico como con la disminucin del periodo. Dado que el proceso de evaporacin
no es perfectamente anisotrpico,12 con periodos muy pequeos y/o espesores de
aluminio muy grandes, tenda a producirse coalescencia del aluminio depositado
sobre la resina, tapando los surcos y formando una capa compacta. Un ejemplo
de esto puede verse en la figura 3.17, correspondiente a la evaporacin de 80 nm
de aluminio sobre un patrn de resina de periodo 160 nm. En esta muestra en
concreto todava pueden apreciarse los surcos, ya prcticamente tapados.
Figura 3.17: Imagen SEM de una rejilla cuyos surcos se han tapado.
De los mltiples intentos de conseguir distintos interdigitados con el mnimo
periodo y mximo espesor de aluminio posibles, se logr obtener nicamente una
muestra cuya inspeccin por SEM fue completamente satisfactoria, correspondiente a un periodo de 80 nm, un espesor de resina de 60 nm y un espesor de aluminio
depositado de 30 nm. Para facilitar la evaluacin de la calidad del depsito se hizo
un pequeo araazo en la muestra con la punta de unas pinzas; en la figura 3.18 se
muestran dos imgenes de zonas afectadas. A la izquierda, el araazo est cercano
12
Se observ que en la evaporacin era ms anisotrpica (mejor) cuanto mayor era la temperatura de la navecilla y, por tanto, la velocidad de evaporacin. Esto, sin embargo, dificulta la
precisin en el espesor deseado del depsito.
110
a la zona de unin entre dos campos de litografa. Como se puede ver, en esta zona
la exposicin ha sido mayor y se ha producido al revelar la resina una lnea en
direccin perpendicular al resto. Esto facilita distinguir claramente los dos niveles
de metal depositados. A la derecha, algunas de estas lneas se han levantado, y
es posible intuir el perfil de los nanohilos de aluminio. Se puede observar que los
hilos superiores estn ligados a los inferiores, de modo que se levantan adheridos
el uno al otro. Posiblemente esto es sntoma de que el tapado de los surcos est
comenzando, y que los hilos superiores no estn aislados elctricamente de los
inferiores.
Figura 3.18: Imagen SEM de la rejilla caracterizada.
Caracterizacin del polarizador fabricado

Se caracteriz la fotorrespuesta del detector de silicio iluminndolo con el lser
de He-Cd de 325 nm a travs del polarizador Glan-Taylor, girando el dispositivo
con respecto al eje de incidencia de la luz. Los resultados pueden verse en la
figura 3.19, donde 0o corresponden a la posicin en la que el plano de incidencia
del campo elctrico de la luz polarizada es paralelo a la direccin de las lneas de
la rejilla de aluminio. En la misma figura se representa tambin un ajuste de los
puntos experimentales a la ecuacin (3.2).
La razn de polarizacin obtenida del ajuste es de 4.6. En el estudio terico
de redes de difraccin metlicas publicado por Yang y Lu [196] estiman que la
razn de polarizacin de una estructura de difraccin doble con hilos de aluminio
40 nm de espesor, con 80 nm de periodo y 40 nm de espaciado entre los planos de
111
Fotorrespuesta (u.arb.)
5
= 325 nm
4
3
2
1
0
30
60
90
o
ngulo de incidencia de la polarizacin ( )
Figura 3.19: Responsividad en funcin del ngulo de polarizacin a fija.

hilos debera ser de 10. Si tenemos en cuenta que el espesor depositado en nuestro
caso es de 30 nm en vez de 40 nm, el valor 4.6 es completamente coherente con el
estudio.
Habra sido interesante realizar una caracterizacin espectral completa de este
dispositivo y haber perfeccionado la tecnologa del depsito, pero se consider
mejor dedicar mayor tiempo y esfuerzos a otras partes de esta tesis.
Conclusin sobre los interdigitados de nquel en los detectores de GaN
Tras estos experimentos, se pudo descartar definitivamente la posibilidad de
que las redes de difraccin metlicas que constituyen el interdigitado MSM tengan
efecto alguno sobre la sensibilidad a la polarizacin. Se recopila a continuacin la
evidencia al respecto:
La sensibilidad al ngulo formado por el plano de polarizacin de la luz con el
eje cristalino C del GaN no parece verse afectada al rotar 90o los dispositivos.
La sensibilidad al ngulo formado por el plano de polarizacin de la luz con
el eje cristalino C del GaN no parece depender del periodo del interdigitado,
que se mueve en el intervalo de 400 nm a 10 m.13
13
Estos son los periodo correspondientes a considerar el interdigitado una red de difraccin,
sin hacer distincin, por tanto, entre contactos adyacentes.
112
La sensibilidad a la polarizacin observada en las muestras de GaN se produce

en una banda muy estrecha centrada en el gap del GaN, mientras que el efecto
de las redes de difraccin metlicas se produce en bandas ms anchas [196].
El nquel no es un material apropiado para fabricar polarizadores de red de
difraccin metlica, debido a su poco elevado coeficiente de extincin y su
moderado ndice de refraccin [57, 196].
El periodo de los contactos interdigitados (> 400 nm) es demasiado grande
como para producir una polarizacin efectiva en el ultravioleta [196].
3.8.
Se ha caracterizado ptica y estructuralmente una capa de 1 m de espesor de
GaN plano A, verificando que se observa un desplazamiento en la longitud de
onda de absorcin al variar el ngulo de polarizacin lineal de la luz incidente
que es consistente con las predicciones tericas.
Se ha diseado una mscara mixta de litografa por haz de electrones y
ptica para fabricar dispositivos MSM con distintos tamaos y periodos del
interdigitado que permite un aprovechamiento mximo de la muestra de GaN
disponible.
Se han fabricado dispositivos fotodetectores metal-semiconductor-metal sobre una capa de GaN plano A con una conductividad extremadamente baja,
para lo cual ha sido necesario desarrollar un mtodo de depsito y eliminacin de una capa de oro de evacuacin de electrones para poder realizar la
litografa por haz de electrones de dimensiones nanomtricas.
Se han caracterizado elctricamente los dispositivos MSM fabricados, observndose que presentan una corriente de oscuridad extremadamente baja,
siendo posible polarizar algunos de ellos hasta 200 V.
Se ha caracterizado el ruido de los dispositivos MSM fabricados, comprobando que est en niveles extremadamente bajos, permitiendo as una deteccin
muy sensible.
113
Se ha caracterizado la respuesta a la polarizacin de la luz incidente, observndose un contraste R /Rk = 1.8, que, si bien no es muy elevado, permite
la utilizacin para la deteccin de polarizacin en banda estrecha en modo
diferencial con una gran sensibilidad.
Se ha medido la responsividad absoluta en funcin de la tensin aplicada,
alcanzndose valores en el orden de 5 A/W, debidos posiblemente a una gran
ganancia fotoconductiva del dispositivo.
Se ha caracterizado la linealidad, velocidad de respuesta, y evaluado la detectividad especfica de estos dispositivos.
Se han depositado redes de difraccin dobles sobre fotodetectores de silicio,
optimizando los procesos tecnolgicos hasta ser capaz de depositar 20 nm de
aluminio sobre una rejilla de resina de 80 nm de periodo sin que se llegaran
a tapar los surcos.
Se ha caracterizado la sensibilidad a la polarizacin de estos dispositivos
obtenindose un contraste a 350 nm de 4.6.
114
Captulo 4
Aplicacin en sistemas de
luminiscencia
4.1.
Introduccin
Cualquier experto en dispositivos y teora de semiconductores estar profundamente familiarizado con la tcnica de la fotoluminscencia. En este mbito, es
una tcnica bsica de caracterizacin de materiales, que consiste en la generacin
de pares electrn-hueco mediante la excitacin con fotones de alta energa. Estos
pares electrn-hueco se recombinan posteriormente reemitiendo un fotn con una
energa menor, cuya medida proporciona gran cantidad de informacin sobre la
calidad y composicin del material. La fluorescencia y fosforescencia son procesos
fotoluminiscentes (emisin de fotones tras la excitacin con luz), pero en los que
se entiende que en vez de ser el blanco un cristal semiconductor, es un tomo o
molcula capaz de absorber un fotn y pasar a un estado excitado, para luego
emitir otro fotn de energa menor al volver al estado de reposo. Esta tcnica
es ampliamente utilizada en qumica analtica y bioqumica, pues es capaz de
proporcionar una gran cantidad de informacin. Una excelente introduccin a la
fluorescencia, sus fundamentos, su relevancia, y su tcnica, se puede encontrar en
el libro Principles of Fluorescence Spectroscopy de Joseph R. Lakowicz [73]. La
diferencia entre fluorescencia y fosforescencia en el tipo de transicin que genera
el fotn: en la primera es una relajacin singlete a singlete, mientras que en la segunda es triplete a singlete. Dado que la primera est cunticamente permitida y
la segunda no, los tiempos tpicos de fluorescencia son tpicamente mucho menores
115
que los de fosforescencia. En este captulo, nos referiremos, en general, a ambos

fenmenos sin particularizar, usando los trminos fotoluminiscencia referindose
a un sistema en el que la excitacin es especficamente fotnica, y luminiscencia
cuando se discutan propiedades y caractersticas de la luz emitida.
El inters de esta tcnica reside en su gran versatilidad. Hay una gran disponibilidad de luminforos con sensibilidad a diferentes parmetros ambientales
o sustancias. En el captulo 19 del ya mencionado libro de J.R. Lakowicz [73] se
hace un extenso recorrido por estas sustancias. Con ellas es posible medir oxgeno,
in cloruro, dixido de azufre, anestsicos halogenados, hidrocarburos clorados,
monxido de nitrgeno, pH, pCO2 , glucosa, Ca2+ , Mg2+ , temperatura, protenas,
etc. Adems, con est tcnica es posible medir concentracin de analitos disueltos
en sangre de una forma no invasiva, ya que en condiciones propicias es posible
excitar y medir la fluorescencia a travs de la piel.
Desde un punto de vista del ingeniero que afronta el diseo de un sistema
basado en la fotoluminiscencia, obviando los detalles qumicos del proceso, esta
consiste en un proceso mediante el cual, al iluminar una sustancia con luz de
determinada longitud de onda dentro del intervalo de absorcin de la misma, se
observa una emisin de luz en un intervalo de longitudes de onda mayores que
las de la seal de excitacin. Este fenmeno se puede caracterizar con diferentes
magnitudes, como los intervalos de longitudes de onda de excitacin y emisin, la
intensidad de dichas seales, el estado de polarizacin de la luz emitida, o el tiempo
de vida media de la emisin. El estudio de cada una de estas magnitudes puede
proporcionar informacin valiosa sobre el estado qumico o fsico de la sustancia
luminiscente, o de su entorno.
En los ltimos aos ha habido un inters creciente en lograr una mayor integracin en los sistemas analticos, especialmente en aquellos relacionados con el
mbito de la salud humana, directa (anlisis clnicos) o indirectamente (calidad
de aguas, deteccin de txicos qumicos y biolgicos, etc.). La aproximacin a
lo que se ha dado en llamar lab-on-a-chip o sensor-on-a-chip obedece a muchas
razones: econmicas, de portabilidad, consumo elctrico, etc. Muchos de los trabajos orientados en esta direccin se centran en la utilizacin de distintos tipos
de dispositivos basados en nitruros del grupo III [7, 63, 167]. La miniaturizacin
pasa necesariamente por un acercamiento entre el elemento sensor y el transductor,
y los nitruros poseen un conjunto de caractersticas que los hacen muy apropiados para estos fines, como son su gran estabilidad qumica y robustez fsica, sus
116
4.1 Introduccin
propiedades elctricas y pticas, la gran correspondencia entre el gap del sistema

AlN - GaN con las energas HOMO/LUMO (Highest Occupied Molecular Orbital
- Lowest Unoccupied Molecular Orbital ) de las molculas orgnicas,1 o su gran
biocompatibilidad [166].
Los sistemas de fotoluminiscencia, en particular, se han visto fuertemente beneficiados del desarrollo reciente de la tecnologa de nitruros, y, concretamente,
con el desarrollo, principalmente por Shuji Nakamura, de emisores de luz azul
en la dcada de los 90 [107, 108]. Las medidas de fotoluminiscencia requieren la
utilizacin de una fuente de fotones de energas adecuadas al intervalo de absorcin
del marcador utilizado. Si bien existe una gran variedad de sustancias, son muchas
aquellas cuyos intervalos de absorcin se mueven entre el ultravioleta cercano y el
azul-cian, intervalos donde la introduccin de los emisores de luz de estado slido
basados en nitruros ha supuesto una revolucin. Adicionalmente, las medidas de
fotoluminiscencia requieren, cuando se pretende caracterizar el tiempo de vida
medio de la emisin, de la utilizacin de una fuente de luz pulsada o modulada.
Tradicionalmente se han usado con este fin fuentes de luz continuas seguidas por
algn tipo de electromodulador, o bien distintos tipos de lser pulsado, por lo que
la introduccin de los LED y Lser de nitruros han supuesto un gran avance en
cuanto a simplicidad, economa, y compacidad.
Durante el desarrollo de mi doctorado, he tenido la oportunidad de colaborar
con diferentes expertos del mundo qumico y biolgico, con el objetivo de desarrollar nuevos sensores integrados. Cabe destacar a este propsito la colaboracin
surgida en el seno de los proyectos GaNano (mbito europeo) y FUTURSEN (mbito regional).
Parte de mi trabajo en la colaboracin FUTURSEN ha estado encaminado hacia la integracin de la muestra luminiscente y el emisor ptico, mediante estudios
de funcionalizacin qumica de capas semiconductoras de GaN. De este modo se
acerca enormemente el emisor de luz a la muestra luminiscente, de modo que el
acoplamiento ptico es mucho mejor. Adicionalmente, esto permite eliminar los
elementos pticos utilizados habitualmente para conducir la luz del emisor a la
muestra. Si se llegaran a obtener microsistemas en los cuales la integracin fuera
tal que permitiera tener todos los elementos pticos, optoelectrnicos y qumicos
en un espacio no superior a unos pocos milmetros, se habra dado un enorme
1
En molculas orgnicas no es posible hablar de bandas del mismo modo que se habla en un
semiconductor, en vez de ello se habla del orbital molecular ocupado ms alto (HOMO) y del
orbital molecular desocupado ms bajo (LUMO).
117
paso hacia la fabricacin de elementos del tipo lab-on-a-phone, que permitieran la

reduccin de instrumentacin mdica fundamental para determinados sujetos en
espacios del tamao de un telfono, o incluso en el propio telfono. En este captulo
se describen los resultados obtenidos en esta lnea.
La mayor simplicidad del sistema ptico, consecuencia de la mayor integracin
del mismo, implica, sin embargo, una mayor dificultad para extraer la informacin
de la emisin luminiscente. Concretamente, la obtencin del tiempo de vida medio
se ve muy dificultada cuando la seal luminiscente de inters est inseparablemente acompaada por una seal de fondo de determinadas caractersticas, como
ocurre en el caso de no poder hacer un filtrado ptico de la excitacin. Con este
objetivo se ha hecho un esfuerzo terico e instrumental para mejorar los mtodos
existentes en la actualidad de modo que permitan la recuperacin de la seal de
inters en sistemas portables y con un sistema ptico poco exigente. Este trabajo
ha dado origen a la solicitud de una patente [112]. En este captulo se describe
este mtodo, y tambin las medidas experimentales realizadas para comprobar su
validez y efectividad.
4.2.
4.2.1.
TC-SPC
El conteo de fotones individuales correlacionados con el tiempo (Time-Correlated

Single Photon Counting o TC-SPC) es una de las ms importantes de las tcnicas
usadas en la caracterizacin del tiempo de vida y del patrn de decaimiento de la
emisin luminiscente. Consiste en la excitacin de la luminiscencia con un pulso
estrecho en el tiempo,2 y el registro de la seal reemitida mediante un fotodetector
que permita la deteccin de fotones individuales.3 Se registra el tiempo de llegada
de cada uno de estos fotones con respecto al pulso de excitacin, y se acumulan
gran cantidad de medidas, hasta que se puede representar un perfil de la cada de la
intensidad de luminiscencia en funcin del tiempo. Modernamente esta tcnica es
referida ms comnmente por las siglas SPT (Single Photon Timing, cronometraje
2
Tpicamente el tiempo de cada del pulso debera ser muy inferior al tiempo de vida de la
luminiscencia a caracterizar, aunque es posible recuperar informacin de la medida mediante
deconvolucin en el caso de que la duracin del pulso sea del mismo orden.
3
Normalmente se usa un fotomultiplicador, aunque es posible la utilizacin de otros tipos de
detectores.
118
de fotones individuales).
4.2.2.
Microscopa confocal
La microscopa confocal consiste en la utilizacin de una fuente de luz puntual

y de un pinhole u orificio interpuesto en el camino de deteccin para la eliminacin
de la luz procedente de planos desenfocados. Esta tcnica ha sido utilizada para la
caracterizacin por TC-SPC, con un fotomultiplicador, del tiempo de vida de las
muestras de GaN funcionalizadas. El microscopio utilizado est capacitado para la
toma de imgenes de microscopa de imagen del tiempo de fluorescencia (FLIM,
Fluorescent Lifetime Imaging Microscopy), y, aunque no se han llegado a utilizar
estas capacidades, es por estas siglas por las que nos referiremos de aqu en adelante
a este tipo de medidas.
Todas estas medidas han sido realizadas por el Dr. Juan Lpez Gejo en la
facultad de Ciencias Qumicas de la Universidad Complutense de Madrid.
4.2.3.
XPS
La espectroscopa de fotoelectrones emitidos por rayos X (XPS, X-ray Photoelectron Spectroscopy) consiste en el anlisis de la cantidad y energa de los
electrones emitidos por una muestra al hacerse incidir un haz de rayos X sobre
la misma. Los datos obtenidos aportan informacin sobre la composicin y estado
qumico de los tomos que forman parte de los pocos nanmetros ms superficiales
de la muestra.
Una variante de esta tcnica es la obtencin de datos en funcin del ngulo
de salida de los fotoelectrones.4 La variacin del ngulo de deteccin modifica la
proporcin en la que son capaces de abandonar la muestra, y, por tanto, el espesor
analizado por la tcnica, proporcionando informacin sobre la uniformidad espacial
de la composicin en profundidad.
Las medidas de XPS fueron realizadas y analizadas por el profesor Antonio
Arranz, del grupo de Fsico-Qumica de Superficies del departamento de Fsica
Aplicada de la facultad de Ciencias de la Universidad Autnoma de Madrid, dirigido por el profesor Carlos Palacio. Se utiliz un analizador hemisfrico SPECS
Phoibos 100 MCD-5.
4
Esta variante se denomina AR-XPS, Angle-Resolved XPS o XPS resuela en ngulo.
119
4.3.
Mtodo para la medida del tiempo de vida de

la fotoluminiscencia con altos niveles de seal
de fondo
En esta seccin se describe tericamente un mtodo que permite la correcta

recuperacin de la informacin temporal sobre la cada de la intensidad de la
flurorescencia de una substancia en diversos casos en los que esta medida se ve
dificultada por la presencia de seales de fondo. Ha dado lugar a la presentacin
de una solicitud de patente [112].
Si bien el contenido de este apartado es el mismo que el de la citada patente, al
ser este un documento acadmico y aquel industrial, la estructura de los mismos
difiere significativamente. En la patente se intenta hacer una descripcin lo ms
generalista posible, concretando nicamente los aspectos que son esenciales a la invencin, para evitar restringir innecesariamente el mbito de la proteccin. En esta
seccin, sin embargo, tras una introduccin general al problema (apartado 4.3.1),
se describe con mayor detalle una de las posibles opciones de diseo, la que es,
a mi entender, ms completa, representativa y prctica (apartado 4.3.2), y que,
adems, se ha validado experimentalmente (seccin 4.4). Por ltimo se incluyen
algunas otras alternativas de diseo que tambin forman parte de la patente y que
ofrecen ventajas en determinados casos (apartado 4.3.3).
4.3.1.
Introduccin y estado de la tcnica
Como se ha comentado anteriormente, se recomienda la consulta del libro Principles of Fluorescence Spectroscopy de Joseph R. Lakowicz [73] para una introduccin general a la fluorescencia, en su mayor parte aplicable a la fotoluminiscencia
en general. Las bases matemticas necesarias para seguir los desarrollos se pueden
consultar en el libro Signals and Systems de Alan V. Oppenheim [122].
El tiempo de vida de la emisin luminiscente es una de sus caractersticas que
ms informacin proporcionan, y la que es de inters en el caso de los compuestos con los que se ha trabajado en la colaboracin FUTURSEN. Adems de su
inters intrnseco, la medida del tiempo de vida de la luminiscencia presenta una
enorme ventaja instrumental: su obtencin hace que la informacin de la medida
sea independiente de la cantidad; es decir, el experimento est exento de cualquier
perturbacin que haga variar la magnitud de dicha luminiscencia, como desali120
4.3 Mtodo de medida del de la fotoluminiscencia
neamientos, degradacin de sus componentes, prdida de cantidad del luminforo,

etc. El perfil de decaimiento de la emisin luminiscente viene caracterizado por
la cada de la intensidad con el tiempo una vez suprimida la fuente de excitacin. Dicha cada toma a menudo una forma de cada monoexponencial, aunque
diferentes circunstancias, como la presencia de varios luminforos o la inhomogeneidad de la muestra, hacen que dicho perfil se aproxime a menudo a una cada
multiexponencial. En la figura 4.1 se puede observar un ejemplo del tpico patrn
de decaimiento de una emisin luminiscente. El pulso de excitacin (1) activa la
emisin luminiscente (2 y 3) de distintos luminforos. La seal compuesta de cada
en este ejemplo sera una cada biexponencial (4). Ntese que, si bien se ha representado una cada biexponencial, a modo de ejemplo, para ilustrar la composicin
de dos cadas exponenciales, este no es en absoluto un caso tpico. Lo ms habitual
en sistemas de luminiscencia es observar una cada multiexponencial compleja, o
en todo caso una cada exponencial en caso de ser un sistema homogneo.
10
Excitacin
Intensidad (u. arb.)
1
0
10
4 - Luminiscencia (biexponencial)
2
-1
10
-2
10
-3
10
-1
Tiempo (u. arb.)
Figura 4.1: Patrn de cada en el dominio del tiempo de la intensidad de una

emisin luminiscente con cada biexponencial, excitada con un pulso estrecho de
luz.
121
Mtodos en el dominio del tiempo y de la frecuencia

Para medir dicho tiempo de vida, existen, principalmente, dos tipos de mtodos,
los basados en medidas en el dominio del tiempo y aquellos basados en medidas
en el dominio de la frecuencia, ambos de uso muy extendido. Los basados en el
dominio del tiempo se basan en la medida directa del tiempo de cada, a veces
con instrumentacin compleja y sofisticada en laboratorio, como es el TC-SPC, o
bien con sistemas ms porttiles como los basados en digitalizacin electrnica.
Los mtodos basados en el dominio de la frecuencia consisten en la excitacin de
la muestra con una intensidad de luz modulada a determinada frecuencia, y la
deteccin de la informacin de fase y amplitud de la seal luminiscente emitida.
La respuesta de una sustancia fotoluminiscente ante una excitacin modulada
a una frecuencia determinada f es una seal tambin modulada a esa misma frecuencia y caracterizada por una determinada amplitud y un desfase con respecto
a la seal de excitacin. Dado que las seales de excitacin y de luminiscencia
comparten la misma frecuencia y se diferencian en su amplitud y fase, es comn
representar ambas por un vector complejo llamado fasor, cuyo mdulo y fase se
corresponden con la amplitud y el desfase de la sinusoidal correspondiente, respectivamente. Dado que el fasor es un nmero complejo, queda tambin completamente
definido expresndolo en su forma cartesiana (a + jb), refirindonos a l entonces
por su parte real y su parte imaginaria. De ahora en adelante se usar la referencia
al mdulo, fase, parte o componente real o imaginaria de una seal para referirse
a la caracterstica correspondiente del fasor asociado. La relacin entre el patrn
de decaimiento en el dominio de tiempo de la emisin luminiscente y la variacin
frecuencial del fasor complejo viene dada por la transformada de Fourier, correspondindose estas funciones con lo que en teora de seal se conoce por respuesta
al impulso h(t) y funcin de transferencia H(f ).
Para una sustancia cuya luminiscencia presenta una evolucin temporal que se
aproxima a una cada multi-exponencial, de acuerdo con la siguiente expresin:
Ilum (t) =
i et/i
(4.1)
la dependencia de la amplitud (normalizada al valor de bajas frecuencias) y la fase

de la seal luminiscente (con respecto a la seal de excitacin) viene determinada
por el mdulo y la fase del fasor complejo Ilum (f ) (siendo j = 1 la unidad

122
imaginaria):
i i
i 1+j2f i
P
Ilum (f ) =
i i
1
i i i
=P
X
i
i i
j
1 + (2f i )2
i 2f i2
1 + (2f i )2
Que, para el caso de una cada mono-exponencial, se simplifica a:
A(f ) = 1
1 j2f
1+(2f )2
Ilum (f ) =
2
(f ) = arctan(2f )
1 + (2f )
!
(4.2)
(4.3)
siendo A(f ) el mdulo del fasor y (f ) la fase del mismo.5

De estas ecuaciones se deduce que al excitar la sustancia fotoluminiscente con
luz modulada sinusoidalmente, la emisin ser tambin una seal modulada sinusoidalmente, cuya amplitud de modulacin disminuir, y cuya fase crecer con la
frecuencia. Este efecto se ilustra en la figura 4.2 en el dominio del tiempo, y en
la figura 4.3 en el dominio de la frecuencia para una cada monoexponencial. En
la figura 4.2 se representa la amplitud de modulacin normalizada de la seal de
excitacin y la seal luminiscente para el caso de f = 1/2 . Se puede observar
que la seal luminiscente se ha desfasado con respecto de la de excitacin. En la
figura 4.3 se representa la amplitud y la fase de la seal luminiscente en funcin de
la frecuencia (normalizada al valor 1/2 ). Como se puede observar, la amplitud
decrece al aumentar la frecuencia, mientras que el desfase aumenta de 0o a 90o .
De ahora en adelante, se entender que se toma como referencia de fase = 0o
a la de la seal de excitacin, y por tanto, el desfase de la seal de luminiscencia
con respecto a esta primera quedar definida por la fase de su fasor en este sistema,
y como tal ser referida. En sistemas como los que se describirn ms adelante,
en los que la fase de la seal de excitacin ptica es desconocida, se trabajar
temporalmente con la fase de esta seal de excitacin (en realidad, con su fasor
completo) de cara a poder restituir el sistema en el que la luminiscencia se mide
con respecto a una excitacin de = 0o .
A partir de datos sobre la amplitud y la fase de modulacin de la seal lumi5
En la formulacin usada habitualmente en teora de seal, la fase de este tipo de filtros es
negativa, yendo de 0 a /2 rad, mientras que en los documentos de qumica analtica, por
simplicidad, esta fase se toma siempre en positivo. En este texto se utilizarn indistintamente
ambas nomenclaturas, segn sea ms apropiado por el contexto, pues no existe posibilidad de
ambigedad.
123
Excitacin
Intensidad
Luminiscencia
Tiempo
Figura 4.2: Representacin temporal del desfase y prdida de modulacin de una
seal luminiscente al acercarse el periodo de la oscilacin a su tiempo de vida
medio.
niscente en el dominio de la frecuencia se puede, por tanto, obtener informacin
sobre las constantes que caracterizan la cada temporal de la luminiscencia. Segn
la cantidad de datos aportados, sean estos una exploracin continua del espectro
de frecuencias en amplitud y fase, o incluso la simple medida de la fase a una
frecuencia determinada, ser mayor o menor la informacin que se pueda deducir.
Segn la informacin que se desee obtener en cada experimento y los lmites en los
que se conoce a priori que puede variar dicha informacin, ser necesario realizar
un barrido ms o menos exhaustivo.
En los sistemas ms completos, se realiza un barrido exhaustivo de frecuencias
registrando la amplitud de la modulacin y el desfase, y se hace un ajuste de los
resultados a un modelo uni- o multi-exponencial, obteniendo como resultado los
valores de tiempos de vida i e intensidades relativas i deseados. En equipos para
aplicaciones ms especficas o con mayores requisitos de portabilidad, a menudo no
es necesario obtener informacin tan completa o tan robusta sobre los tiempos de
vida. En estas aplicaciones a menudo se ignora la informacin de amplitud, ya que
esta est sujeta a derivas, como por ejemplo por la disminucin de molculas de
luminforo o las variaciones a largo plazo de intensidad de la fuente de excitacin, y
124

90
75
60
0.6
45
(adimensional)
0.8
Fase ( )
Amplitud Normalizada
1.0
0.4
30
0.2
15
0.0
0
0.01
0.1
10
100
Frecuencia Normalizada (adimensional)
Figura 4.3: Variacin de la amplitud normalizada y la fase de modulacin de una

seal luminiscente monoexponencial frente a la frecuencia normalizada.
se trabaja nicamente con la fase, proporcionando una medida ms robusta frente

a este tipo de variaciones. Existen aparatos en el mercado, de hecho, en los que la
medida se obtiene nicamente de la medida de la fase a una nica frecuencia de
modulacin, ya que esto es suficiente para obtener la informacin que se desea en
la aplicacin para la que estn diseados. Habitualmente se obtiene la amplitud
de la modulacin y/o la fase a travs de un esquema de correlacin cruzada o
desmodulacin heterodina de la seal (siendo la frecuencia de modulacin de la
excitacin fs , se multiplica la seal por una portadora de una frecuencia fs + fi ,
con el resultado de obtener una seal en una frecuencia intermedia fi , que contiene
la informacin de la amplitud y la fase inicial).
Presencia de seales de fondo

En un sistema real la seal medida Im se encuentra contaminada por un fondo
de medida (background ) debido a una serie de seales que dificultan la correcta
125
medida de la informacin de amplitud y fase.

Im (f ) = Ilum (f ) + Ibg (f )
(4.4)
Entre estas seales interferentes Ibg (f ) podemos contar, entre otras:

Luz procedente de la fuente de excitacin que alcanza el detector. Esto puede
suceder por varios motivos, y, por lo general, se intenta evitar en el mayor
grado posible a la hora de disear el sistema, con la utilizacin de filtros
pticos y disposiciones geomtricas que minimicen este efecto. Esta luz puede
ser del intervalo de longitudes de onda usado para excitacin (lo cual se suele
solucionar con un filtro de luminiscencia que la elimina entre la muestra y el
fotodetector) o en el intervalo de longitudes de onda de la luminiscencia6 (lo
que se suele solucionar con un filtro de excitacin entre la muestra y la fuente
de excitacin). Esta seal de fondo tiene siempre fase 0 con respecto a la seal
de excitacin y su amplitud sufrir muy pequeas o nulas variaciones con la
frecuencia. En la figura 4.4 se representa el efecto de la presencia de radiacin
procedente de la fuente de excitacin en la medida de luminiscencia en el
dominio de la frecuencia, sobre la amplitud y la fase de la seal, para valores
del cociente |Ibg /Ilum | de 0, 0.5, 1, 2 y 5. Cuanto mayor es la proporcin
de seal de fondo, ms se aleja el comportamiento en frecuencia del ideal,
ilustrado en la figura 4.3.
Luz procedente de autofluorescencia: la muestra a caracterizar puede contener otras sustancias luminiscentes que no sean de inters. Cuanto ms similares sean estas seales a la de inters, ms difcil ser separar su efecto del de la
seal. Las diferencias entre la seal de luminiscencia y la de autofluorescencia
pueden ser, principalmente, de intervalos de longitud de onda de excitacin
y luminiscencia (en cuyo caso se podr eliminar o reducir mediante filtrado
ptico), y de separacin de su(s) tiempo(s) de vida caracterstico(s) con el
(los) de la sustancia de inters (si son mucho mayores sern de poco inters
pues la seal se habr extinguido a la frecuencia de exploracin, mientras
que si son mucho menores su efecto sobre la medida ser similar al de la luz
procedente de la excitacin).
6
En el caso concreto de la utilizacin de dispositivos basados en nitruros como fuente de

excitacin, es relevante mencionar la presencia de la denominada banda amarilla de emisin
electroluminiscente [77, 79], que introduce luz precisamente en la banda de emisin de algunas
substancias luminiscentes, como los complejos basados en rutenio utilizados en esta tesis.
126

90
1.0
75
60
0.6
45
(adimensional)
0.8
Fase ( )
Amplitud Normalizada
Amplitud
0.4
30
0.2
15
Fase
0.0
0.01
0.1
10
100
Figura 4.4: Variacin de la amplitud normalizada y la fase de modulacin de una

seal luminiscente monoexponencial frente a la frecuencia normalizada, con niveles
crecientes de seal de fondo.
Interferencia electromagntica entre el subsistema de modulacin de intensidad de la excitacin y el de amplificacin de la seal luminiscente. Dado
que las frecuencias de funcionamiento de estos sistemas suelen estar entre
10 kHz y 1 GHz, existe la posibilidad que en un sistema en el que la fuente
de excitacin y el fotodetector estn fsicamente cerca, y no lo suficientemente bien apantallados, se produzca un acoplamiento de esta seal en el
circuito de amplificacin de la seal medida. Una seal de esta naturaleza
tendr una fase y una amplitud fuertemente dependientes de la frecuencia
de modulacin.
La presencia de estas seales de fondo dificulta la extraccin de informacin
til de la medida de luminiscencia. En la medida de lo posible, y en funcin de la
naturaleza de esta seal de fondo, se podr intentar eliminar por diversas tcnicas,
atacando la causa del problema o intentando caracterizarla para poder restarla de
la medida a posteriori. La sustraccin de la seal de fondo, sin embargo, presenta el
problema de la propagacin de errores. Si la seal de fondo es mayor que la propia
seal luminiscente, una pequea indeterminacin en su medida se transformar en
un error de magnitud comparable a la propia seal de luminiscencia. La manera
127
de aliviar este problema es la mejor determinacin de la seal de fondo.

La presencia de estas seales de fondo es precisamente uno de los mayores
inconvenientes a la hora de conseguir un sistema de bajo coste y alto grado de
miniaturizacin, dado que su cancelacin requiere frecuentemente el diseo de
un sistema con mayor complejidad ptica, con filtros, lentes, con componentes
optoelectrnicos alejados entre s y con fotodetectores de alta sensibilidad (fotomultiplicadores y fotodiodos de avalancha).
El desarrollo de tcnicas que permitan eliminar o reducir la influencia de las
seales de fondo en la medida ha despertado y despierta un gran inters en la
comunidad cientfica internacional.
Joseph R. Lakowicz, en el artculo Correction for Contaminant Fluorescence
in Frequency-Domain Fluorometry [75] describe las bases de la sustraccin de
la seal de fondo, prestando atencin especial a la propagacin de errores. Sin
embargo, su mtodo requiere una medida previa de las caractersticas de la seal
de fondo con una muestra que no presente luminiscencia.
Gregory D. Reinhart, en el artculo A Method for On-Line Background Subtraction in Frequency Domain Fluorometry [144] describe un mtodo en el que no
es relevante la complejidad de la cada de la amplitud de fluorescencia. Sin embargo,
nuevamente, es necesaria una medida en la que slo se encuentra presente la seal
atribuida al fondo.
Joseph R. Lakowicz, en el artculo Background Suppression in FrequencyDomain Fluorometry [74] propone un mtodo para eliminar la influencia de la
seal de autofluorescencia cuando esta es de un tiempo de vida mucho menor que
el de la seal de inters, y en el que no requiere la medida de una muestra en
blanco, gracias a la utilizacin de un fotomultiplicador con desactivacin de la
ganancia en determinadas ventanas temporales (gating). Sin embargo, es necesario
tener una referencia simultnea a la medida de una muestra patrn con tiempo
de vida conocido. La demostracin experimental de este mtodo fue reportada
por Petr Herman en el artculo Real-time background supresin during frequency
domain lifetime measurements [52].
En el documento [186] se describe un mtodo para la eliminacin de la autofluorescencia cuando esta tiene un espectro ptico de emisin mucho ms ancho
que el de la muestra de inters, y se sugiere la posibilidad de eliminarlo por gating
en el dominio del tiempo.
128
4.3.2.
Descripcin del mtodo
El propsito de este mtodo es la recuperacin de la seal de inters de una

medida del tiempo de vida de luminiscencia en el dominio de la frecuencia, en la
que dicha seal puede ser mucho menor que la seal de fondo presente en la medida,
sin la necesidad de realizar previa o paralelamente una calibracin de dicho fondo
con una muestra patrn. La recuperacin se basa en la inspeccin de la amplitud
y la fase de modulacin de la seal medida, y la exploracin secuencial a travs
de varios estados en los que la seal de fondo se mantiene constante, para poder
recuperar la seal de inters mediante la extraccin de la seal cuya variacin es
sncrona con el control de la variacin entre estados. Esto permite la recuperacin
de una seal de luminiscencia mucho menor que el nivel de fondo, lo cual flexibiliza
el diseo del sistema ptico, permitiendo el abaratamiento del mismo y una mayor
miniaturizacin, al poder lograrse una mayor integracin espacial sin aumentar
con ello el efecto de las seales interferentes sobre la medida.
Por lo general, la variacin entre los distintos estados se repetir peridicamente, de tal manera que se mejore la robustez contra derivas de distintos componentes
opto-electrnicos u otros factores ambientales que puedan modificar la medida, y
que cambien en intervalos temporales ms lentos que la frecuencia de repeticin.
Adems de esto, una exploracin peridica permite aumentar en tiempo real el
tiempo de integracin de la medida en caso de que sea necesario reducir el ruido
presente en la medida, o para conseguir recuperar una seal ms pequea de lo
habitual. Este esquema de realizacin es ms robusto a ruido, interferencias externas, y derivas de los componentes, ya que slo las componentes de seal que varan
de manera sncrona con el cambio de estado son detectadas.
Generalmente el sistema optoelectrnico constar de:
Un subsistema de generacin de luz de excitacin modulada: tpicamente un
diodo emisor de luz (LED) o diodo lser (LD).
Una muestra fotoluminiscente a caracterizar
Un subsistema de deteccin de luz: tpicamente compuesto por un fotodetector y la electrnica de amplificacin y/o desmodulacin apropiado.
Un subsistema de cancelacin de la seal comn: tpicamente esta tarea ser
realizada por un procesador digital.
129
Por simplicidad, y sin prdida de generalidad, se van a utilizar en esta descripcin las ecuaciones correspondientes al caso de que la luminiscencia presente una
cada monoexponencial. Se producir un anlisis de la seal medida para extraer
la informacin de amplitud y fase por cualquiera de los mtodos utilizados habitualmente (desmodulacin superheterodina, desmodulacin digital). La seal a la
salida de este sistema ser analizada para recuperar la componente cuya variacin
es sncrona con el cambio de estado del sistema, y eliminar la componente comn.
La manera concreta en la que se realiza esta cancelacin depender del caso concreto, aunque por lo general supondr la realizacin de determinadas operaciones
matemticas en un sistema electrnico digital tras la digitalizacin de la seal.
A continuacin se van a describir los principios de la eliminacin de los dos
principales tipos de seales de fondo: la seal de fondo ptica y la interferencia
electromagntica.
Eliminacin de la seal de fondo ptica
Para poder ser eliminada utilizando este mtodo, la seal de fondo ptica presente en la medida debe permanecer constante (o tener una variacin conocida)
al variar la frecuencia de modulacin. Esta seal se corresponde con la seal de
la fuente de excitacin que alcanza el fotodetector, generalmente por deficiencias
en el filtrado ptico. Esta condicin tambin puede ser aplicable a la autofluorescencia de la muestra, que puede producirse, por ejemplo, por la presencia de
otras sustancias luminiscentes en la misma, y cuya medicin no es de inters. En
este caso, ser preciso que el tiempo de vida de esta luminiscencia parsita que
se desea eliminar sea o bien mayor o bien menor que el de la muestra a medir,
pero con una separacin espectral suficiente como para que se pueda separar su
efecto y ser considerada una seal de amplitud y fase constantes (si su tiempo
de vida es mucho menor que el de la muestra) o de amplitud despreciable y fase
irrelevante (si su tiempo de vida es mucho mayor que el de la muestra). Tambin es
aplicable este mtodo para eliminar la posible luminiscencia del filtro ptico pasolargo utilizado para impedir la llegada de luz en longitudes de onda de excitacin
al fotodetector (es sabido que los filtros de vidrio coloreado presentan un cierto
grado de fotoluminiscencia).
Este mtodo se basa en que la seal ptica de excitacin permanece constante al
realizar una exploracin de frecuencias, mientras que la seal luminiscente decrece
en amplitud y se desfasa con respecto a la de excitacin al aumentar la frecuencia
130
de modulacin. En el caso ms general, sin embargo, no se cumplir que la seal

correspondiente al fondo permanezca constante con la frecuencia, dado que son
muchos los componentes del sistema cuya respuesta puede no serlo. En el caso
de que esta seal de excitacin no sea constante (y por tanto que la seal de
luminiscencia de inters se encuentra tambin modificada por este mismo patrn),
habra que realizar una correccin sobre la seal medida (que incluye la seal de
luminiscencia de inters y la seal de fondo) para corregir esta desviacin, y poder
anular el efecto de la seal de fondo y hacer significativa la medida de luminiscencia.
Este puede ser el caso, por ejemplo, de un sistema en el que se use como fuente
de luz de excitacin un LED cuya velocidad de respuesta no es lo suficientemente
alta y, por tanto, cuya amplitud de modulacin disminuye con la frecuencia, o un
sistema con un cierto retardo constante, que se manifestara como un aumento
lineal de la fase de la seal medida con la frecuencia.
Dado que el principio de funcionamiento del mtodo se basa en la cancelacin
de la seal de fondo constante, se desarrolla primeramente el mtodo de cancelacin
de esta, dejando para ms adelante el mtodo propuesto para corregir la variacin
en frecuencia del fasor de la seal de excitacin.
Cancelacin de la seal de fondo ptica constante. La eliminacin se realiza haciendo una exploracin secuencial de un determinado nmero de frecuencias
de modulacin de la excitacin en el intervalo apropiado para obtener informacin
sobre el tiempo de vida de la sustancia de inters. Si consideramos un sistema en
el que se encuentran presentes, adems de la seal de luminiscencia, seal debida
a la excitacin y a autofluorescencia de mayor y menor tiempo de vida, se puede
expresar la seal que llega al fotodetector por el fasor complejo (se ha supuesto,
por simplicidad y sin prdida de generalidad, que todas las contribuciones son
monoexponenciales):
Im (f ) = A0 +
alum
ahf
alf
+
+
1 + j2f lf
1 + j2f lum 1 + j2f hf
(4.5)
Donde A0 representa la seal invariante con la frecuencia y en fase 0, que se

correspondera con la excitacin, el segundo trmino agrupa las contribuciones
luminiscentes con un tiempo de vida largo (lf lum ), el tercer trmino se corresponde con la seal luminiscente de inters, y el cuarto trmino representa las
contribuciones luminiscentes con un tiempo de vida corto (hf lum ). El segundo
131
trmino, correspondiente a seales con tiempo de vida largo, se puede despreciar,

ya que a las frecuencias de exploracin su amplitud habr disminuido en gran
medida, y no afectar a la medida:
f
1
alf
0
2hf
1 + j2f lf
(4.6)
El cuarto trmino, por el contrario, no se puede despreciar, pero su efecto se puede

incluir dentro de del primero, el de la excitacin, ya que para las frecuencias de
excitacin que se explorarn, se cumplir:
f
1
ahf
ahf
2hf
1 + j2f hf
(4.7)
Por tanto, la expresin del fasor de seal medida de la ecuacin (4.5) ser
equivalente a la siguiente, en el que se han separado adems la parte real y la
imaginaria:

alum
alum 2f lum
alum
= A0 +
Im (f ) = A0 +
+j
(4.8)
1 + j2f lum
1 + (2f lum )2
1 + (2f lum )2
Dado que la presencia de un alto valor de A0 dificulta y llega a imposibilitar
la obtencin de una medida correcta tanto de la fase como de la amplitud de
la luminiscencia, es necesario eliminarlo. Al realizar una exploracin en varias
frecuencias alrededor de la frecuencia de inters es posible eliminar el efecto de la
seal que permanece constante en todas ellas (A0 ) y extraer la informacin que
vara (alum /[1 + j2f lum ]).
Para llevar a cabo esta eliminacin, se hace un barrido por un determinado
conjunto de frecuencias que se repite peridicamente, y se registra el valor del fasor
de seal medida en un sistema digital, acumulndolo al valor medido en ciclos
anteriores. Tras cada ciclo, se genera un nuevo conjunto de valores, resultantes
de restar al fasor de cada frecuencia el de la frecuencia de mayor valor (u otra
cualquiera). Al realizar esta sustraccin, tenemos un conjunto de valores en los que
la parte comn ha sido eliminada. De este modo, tras una sucesin suficientemente
alta de ciclos de medida, se tienen los valores acumulados correspondientes a cada
una de las frecuencias, libres de ruido y libres de la influencia de la seal de fondo.
Estos valores se podrn ajustar con la frmula correspondiente o realizar algn
otro tipo de procesamiento que permita deducir la informacin til deseada de la
132
medida.
La gran ventaja de este mtodo consiste en que la cancelacin de la seal de
fondo correspondiente a la excitacin y a la autofluorescencia se elimina durante
la propia medida sin necesidad de hacer ninguna medida ni calibracin previa con
una muestra patrn. La cancelacin se basa precisamente en el hecho de que por
su propia naturaleza, la seal de inters tiene unas caractersticas variables con la
frecuencia, mientras que la seal de fondo se mantiene constante. En los mtodos
existentes en el estado de la tcnica, la cancelacin de esta seal siempre se lleva
a cabo mediante una anulacin real (mediante elementos pticos) o mediante la
sustraccin de la seal de fondo, caracterizada en otra medida con una muestra
patrn.
Calibracin de la variacin de la seal de fondo. El caso ms general,

ser, sin embargo, el de un sistema en el que la propia seal de excitacin vara
al modificar la frecuencia, dado que la mayor parte de los elementos electrnicos
y optoelectrnicos no tendrn una respuesta en frecuencia plana. Por ello ser
necesario llevar a cabo una calibracin del patrn de variacin de esta seal de
fondo, y corregir el valor medido por este patrn. Dado que la luminiscencia es
excitada precisamente con esta seal, su amplitud y fase se ven modificadas en la
misma manera, por lo que la intensidad medida podra ser expresada como:
a0lum
Im (f ) = A0 (f ) + A0 (f )
1 + j2f lum

a0lum
= A0 (f ) 1 +
1 + j2f lum
(4.9)
(4.10)
Donde esta vez A0 (f ) no se considera un valor real constante sino un nmero

complejo variable con la frecuencia. En la ecuacin (4.9) se pretende ilustrar cmo
la seal medida es suma de la seal de excitacin y de la seal de luminiscencia,
que a su vez es producto de multiplicar la seal de excitacin por el fasor que
representa la disminucin de amplitud y desfase que introduce la luminiscencia.
En la ecuacin (4.10) se ha extrado el factor comn para ilustrar que, si es posible
llegar a conocer su patrn de variacin con la frecuencia A0 (f ), se puede llevar a
cabo una calibracin sobre la seal medida que nos deje en la situacin de seal
de fondo constante, previamente explicada.
Para obtener la informacin sobre este patrn de variacin, es preciso realizar
133
una medida de la respuesta frecuencial de la excitacin contaminada con el

mnimo posible de seal luminiscente. Para ello hay varias alternativas, pero se
propone utilizar un sistema como el ilustrado en la figura 4.5. En este esquema, la
fuente de excitacin modulada, en nuestro caso un LED, emite luz en la banda de
excitacin (en nuestro caso azul, lnea continua) y en la banda de luminiscencia
(lnea punteada roja). La luz alcanza la muestra fotoluminiscente, producindose
la seal luminiscente (lnea discontinua roja). La luz procedente de la muestra
puede alcanzar el fotodetector por dos caminos alternativos, que se seleccionarn
cambiando las caractersticas de transmisin pticas de sendos elementos moduladores de la intensidad de la luz (en nuestro caso se propone la utilizacin de dos
lminas LCD7 ). En uno de los caminos la luz procedente de la muestra atraviesa
un filtro pasolargo (LPF, Long Pass Filter ), alcanzando el fotodetector la luz del
emisor en banda de luminiscencia y la seal luminiscente de inters. En el otro
camino luz atraviesa un filtro pasocorto (SPF, Short Pass Filter ) que deja pasar
slo la componente azul de la excitacin antes de incidir sobre el fotodetector. La
seal obtenida en los periodos en los que el LCDr (del filtro pasocorto) transmite
la luz y el LCDm (del pasolargo) la bloquea puede ser utilizada como referencia de
fase y amplitud que proporciona informacin sobre A0 (f ), que ser utilizada para
corregir la variacin con la frecuencia de la seal obtenida en las fases en las que
la luz que alcanza el fotodetector es la que procede del filtro pasolargo.
LCDr
LPF
LCDm
Fotodetector
SPF
LED
Luminforo
Figura 4.5: Representacin del sistema de calibracin con un nico fotodetector y

dos caminos pticos distintos.
Con un sistema como el descrito, la seal de medida responder a una expresin como la de la ecuacin (4.10), mientras que la de referencia ser se
corresponder, salvo un factor constante, con la variacin de la excitacin en fun7
Liquid Crystal Display, visualizador de cristal lquido.
134
cin de la frecuencia A0 (f ). Por tanto, dividiendo la primera entre la segunda

obtendremos una seal que se ajusta al caso ya analizado en el que la seal de
fondo ptica es constante:
Im (f )
=
Ir (f )
h
k A0 (f ) 1 +
a0lum
1+j2f lum
A0 (f )
a0lum
=k 1+
1 + j2f lum

(4.11)
Ntese que en el esquema representado en la figura 4.5 se han incluido dos filtros
pticos, ambos estn situados entre el luminforo y el fotodetector. Este sistema
permite, tal y como se ha descrito, evitar el filtro de excitacin normalmente usado
en sistemas de fotoluminiscencia (entre la excitacin y el luminforo), de tal modo
que se puede lograr una mayor integracin y miniaturizacin en esta etapa. Sin
embargo, se podra suprimir alguno de estos filtros, o incluso ambos, si se tiene en
cuenta lo siguiente:
El filtro pasolargo tiene como objetivo limpiar al mximo la seal de medida
de seal de excitacin, para facilitar la medida. Sin embargo, si el paso de
calibracin y correccin es suficientemente preciso, es indiferente la magnitud
de la seal de excitacin que se acople en la medida. Por tanto, se podra
eliminar este filtro y cancelar la seal de fondo ptica tras la medida.
El filtro pasocorto tiene como objetivo obtener una seal de referencia para la
correccin que permita la cancelacin de la seal de fondo ptica. Esta seal
debe ser lo suficientemente pura (es decir, sin presencia de seal luminiscente)
como para no introducir errores en la medida. En la siguiente ecuacin se
calcula el efecto de corregir una seal de medida Im (f ) con una de referencia
Ir (f ) que posee una pequea presencia de seal luminiscente de intensidad
relativa :
h
i
"
#
A
(f
)
1
+
0
1+j2f lum
Im (f )
1+
h
i =k 1+
=
(4.12)
lum
Ir (f )
1
+
j2f
1+
A (f ) 1 +
0
1+j2f lum
Como se puede ver, adems de la disminucin de la amplitud de la luminiscencia, que tiene poca importancia a efectos de la medida, se aprecia una
variacin de la distribucin espectral de la seal corregida, que se traduce
en la introduccin de un error de magnitud en la medida del tiempo de
135

lum
vida: m = 1+
. Por tanto, en todo sistema, ser importante que la contribucin relativa de luminiscencia en la seal de referencia sea menor que
la precisin deseada en la medida del tiempo de vida. Normalmente esto se
podr conseguir incluso sin utilizar un filtro pasocorto, simplemente eligiendo
una distribucin geomtrica de los elementos en la que el haz de referencia
proceda directamente de la excitacin.
Eliminacin de la interferencia electromagntica

Adems de la seal de fondo ptica, causada por la presencia junto a la seal
de inters de luz procedente de la excitacin, tambin podremos encontrar normalmente en un sistema de fluroescencia una contribucin a la seal medida procedente
de la interferencia electromagntica que se acopla entre la electrnica de excitacin
y la de deteccin. Esta seal tiene, por su propia naturaleza, una amplitud y fase
que son variables con la frecuencia de la modulacin, y cuya variacin no guarda
relacin alguna con la respuesta del luminforo, por lo que no podr ser eliminada
por el mtodo descrito anteriormente. Sin embargo, esta seal, al no proceder de
un acoplamiento ptico al fotodetector, permanece invariable, y, por tanto, podr
ser eliminada, si se impide la llegada de luz al fotodetector por algn medio que no
modifique la geometra ni caractersticas electromagnticas del sistema. Aunque en
este apartado nos referimos a la interferencia electromagntica, este procedimiento
servir para eliminar cualquier seal de fondo presente en la medida cuya amplitud y fase no se vea modificada al impedir el paso de la luz hasta el fotodetector,
como por ejemplo el causado por el efecto de acoplamiento de seal a travs de la
alimentacin del sistema. Para conseguir esto, se propone la interposicin de una
lmina de cristal lquido entre la sustancia luminiscente y el fotodetector(aunque
ser vlido cualquier otro mtodo por el que se pueda modificar significativamente
la cantidad de luz incidente sobre el detector sin cambiar las caractersticas de
acoplamiento electromagntico). Ntese que no es necesario que el elemento de
modulacin bloquee completamente el paso de luz, ya que la luz que no se consiga bloquear simplemente ser seal comn a los dos estados y ser por tanto
eliminada. La utilizacin de un elemento de modulacin opto-electrnico en vez
de un sistema mecnico presenta numerosas ventajas, como la mayor frecuencia
de modulacin, la mayor capacidad de integracin, y la menor modificacin del
acoplamiento electromagntico, permitiendo una mejor sustraccin del valor de
fondo.
136
En un sistema como el propuesto en la figura 4.5, esta eliminacin es sencilla y

no implica la introduccin de componentes optoelectrnicos adicionales, pues ya se
encuentran presentes en el mismo dos lminas LCD utilizadas para la seleccin del
camino ptico (medida/referencia). As pues, si a los ciclos de medida (LCDr opaco,
LCDm transparente) y de referencia (LCDr transparente, LCDm opaco) aadimos
ciclos de caracterizacin del fondo electromagntico en el que ambos LCD estn en
estado opaco, podremos utilizar la informacin de este tercer ciclo para eliminar,
por sustraccin, la seal interferente de los dos primeros.
4.3.3.
Alternativas de diseo
Utilizacin de dos fotodetectores independientes

Una modificacin sencilla al sistema propuesto con anterioridad consiste en la
utilizacin de dos fotodetectores independientes, r y m, para la obtencin de
la medida y referencia. En la figura 4.6 se ha representado un esquema del sistema
resultante. Como se puede observar, el hecho de utilizar dos fotodetectores distintos
permite prescindir de las dos lminas LCD, que ya no son necesarias de cara a
la seleccin del camino ptico. Adems, el hecho de utilizar dos fotodetectores
independientes facilita el diseo geomtrico del sistema de cara a que las seales
de referencia y medida sean ptimas. Otra ventaja que presenta este sistema es
que no es necesario dividir el tiempo en ciclos de medida y referencia, con lo que
sera posible alcanzar la misma exactitud en la mitad de tiempo.
r
LED
m
Luminforo
Fotodetectores
SPF
LPF
Figura 4.6: Representacin del sistema de calibracin con dos fotodetectores.

Sin embargo, de cara a la eliminacin de la interferencia electromagntica, que,
con casi total seguridad, dadas las frecuencias de funcionamiento usuales de los
sistemas de luminiscencia y la esperable proximidad de la electrnica de excitacin
137
y deteccin, se encontrar presente, sera necesario reintroducir las lminas LCD

para poder bloquear el paso de la luz y as poder sustraer el fondo. Otra desventaja,
desde el punto de vista econmico, sera la necesidad de duplicar no slo el fotodetector sino tambin toda la electrnica de amplificacin y desmodulacin asociada.
Esto introduce, adems, la posibilidad de que ambos caminos no tengan la misma
respuesta en frecuencia, lo cual sera desastroso para el proceso de correccin de
la medida para la posterior cancelacin del fondo ptico.
Calibracin del sistema previa a la medida
Una alternativa a la medida de la referencia A0 (f ) durante el propio experimento es la caracterizacin previa de la respuesta en frecuencia sistema y almacenamiento para realizar posteriormente la correccin. Esta caracterizacin podra
realizarse con una muestra no luminiscente, simplemente dispersiva.
Ntese que esta calibracin es conceptualmente distinta a la calibracin de
muestra patrn realizada habitualmente en el estado de la tcnica. La calibracin con muestra patrn suele corresponderse con una medida exacta del valor
de fondo que luego ser sustrado de la seal. En esta alternativa se propone una
calibracin del patrn de variacin A0 (f ) de la seal de excitacin para la correcta
normalizacin de la seal medida, que permitir la posterior cancelacin de la seal
de fondo al suprimir la parte que permanece invariante al cambiar la frecuencia.
La diferencia entre estos dos esquemas de calibracin previa, que pueden resultar
similares a primera vista, queda manifiesta al observar distintos fenmenos que el
mtodo propuesto en esta tesis es capaz de suprimir y el de sustraccin directa
(usado en el estado de la tcnica) no:
Variacin de la seal autofluorescente: causado, por ejemplo por que la muestra bajo anlisis tiene una mayor concentracin de sustancias luminiscentes
parsitas que la que se us en la calibracin. Con el mtodo propuesto la
variacin de la seal autofluorescente ser eliminada, sea cual sea su amplitud, al ser aproximadamente constante con la frecuencia en el intervalo de
inters.
Variacin de la intensidad de la fuente de excitacin que afecte por igual a
todas las frecuencias. Esto puede suceder por mltiples motivos, por ejemplo,
por una degradacin a largo plazo de la fuente de luz, por algn pequeo
cambio en el sistema ptico (desajuste de alineamiento por un golpe, por
138
ejemplo), o por una pequea variacin de la cantidad de luz emitida por la

fuente de excitacin en la banda de la luminiscencia (banda amarilla en LED
azules, por ejemplo), o porque la muestra a analizar presente una mayor
turbidez y, por tanto, mayor dispersin de la luz de excitacin. Dado que
esta variacin afectara por igual a todas las frecuencias de modulacin, es
correctamente corregida por el sistema propuesto, mientras que no lo sera
por una mera sustraccin del valor de fondo.
Recuperacin de la informacin de inters de la luminiscencia a partir
nicamente de la parte real del fasor
Por cualquiera de los mtodos descritos anteriormente es posible obtener una
seal medida en la que el fasor de la seal de fondo es constante o vara suficientemente poco como para extraer la informacin de inters. En el caso ms general,
la informacin completa del fasor ser recogida y el fondo cancelado en mdulo y
fase, realizndose luego el tratamiento matemtico adecuado segn la realizacin
concreta. En el estado de la tcnica est extendida la obtencin de informacin a
partir de la informacin completa del fasor (mdulo y fase), y tambin a partir de
la informacin de fase nicamente, dado que esta es ms robusta que la amplitud a
cambios en la intensidad de la seal. Se proponen a continuacin dos realizaciones
para la recuperacin de la seal de inters, una a partir de la parte real del fasor,
y otra a partir de su mdulo.
La robustez del sistema frente a seales de autofluorescencia aumenta si se
considera nicamente la componente real del fasor. Con anterioridad se ha considerado que la separacin espectral en el dominio de la frecuencia entre la seal
autofluorescente y la de inters es suficiente para considerar la primera como una
constante (si su tiempo de vida es corto), por lo que sera cancelada junto con la
seal de excitacin, o una seal de mdulo despreciable (si su tiempo de vida es
largo). Sin embargo esto no es del todo exacto, ya que una seal autofluorescente
producir un pequeo efecto sobre frecuencias alejadas de su frecuencia caracterstica. Si la seal autofluorescente es mucho mayor que la seal de inters, la
pequea variacin que produce a frecuencias alejadas podra ser relevante. Esta
influencia se ha representado en la en la figura 4.7. El eje de abcisas se corresponde
con la frecuencia de modulacin normalizada a la frecuencia caracterstica de la
emisin autofluorescente8 y en el eje de ordenadas el valor de la parte real y la
8
Como suponemos que la emisin autofluorescente est alejada frecuencialmente de la seal
139
Amplitud Normalizada (adimensional)
parte imaginara normalizado al valor mximo del mdulo del fasor (el valor para
bajas frecuencias). Se han representado la curva de la parte real del fasor de la
emisin autofluorescente Re{Iaf }, la parte imaginaria de dicho fasor Im{Iaf }, y el
valor complementario de la parte real, 1 Re{Iaf }.
0
10
Re{I }
af
-1
10
-2
10
-3
10
Im{I }
af
-4
10
-5
10
1-Re{I }
af
-6
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
10
10
10
Figura 4.7: Influencia de una seal autofluorescente sobre la parte real y la parte
imaginaria de una medida.
Se pueden distinguir dos casos:
Para frecuencias de medida menores a la frecuencia tpica de la autofluorescencia, es decir, si la regin de inters es la mitad izquierda de la figura,
se asumir que la parte real se mantiene constante. El error cometido en
esta estimacin es precisamente 1Re{Iaf }. La parte imaginaria se asumir
despreciable, por lo que el error cometido ser el propio valor de la parte imaginaria. Como se puede ver, el error cometido es menor con la aproximacin
de la parte real que con la de la parte imaginaria.
Para frecuencias de medida superiores a la de la autofluorescencia, es decir,
si la regin de inters es la mitad derecha de la figura (este caso ser el menos
de inters, en esta figura la medida se realizara en alguno de los extremos, ya que el centro se
corresponde con la frecuencia caracterstica de la autofluorescencia.
140
frecuente), se aproximarn a 0 tanto la parte real como la imaginaria. Para

frecuencias altas, el valor de la parte imaginaria (es decir, el error cometido
al asumirla nula) es mayor que el de la parte real.
Por tanto, un mtodo basado en el anlisis de la parte real ser siempre ms
fiable a la hora de eliminar la autofluorescencia que uno que utilice tambin o
exclusivamente la informacin de la parte imaginaria. Adems de esto, el valor de
la parte real es mucho menos sensible a pequeos errores en la determinacin de
la fase de referencia en la medida que el de la parte imaginaria.
Recuperacin de la informacin de inters de la luminiscencia a partir

nicamente del mdulo del fasor
Esta opcin puede ser elegida por ser imposible recuperar correctamente la fase
de la seal medida, o porque resulte conveniente hacerlo as de cara a una mayor
simplicidad del sistema. Supondremos, por tanto, que disponemos de una seal en
la que la seal de fondo A0 (f ) no es un valor real constante, pero s es un complejo
de mdulo constante y fase variable con la frecuencia:
A0 (f ) = |A0 | ej(f )
(4.13)
Esta situacin puede darse, por ejemplo, en un sistema en el que no se tiene

perfectamente calibrado el retardo que sufre la seal al atravesarlo, pero se sabe
que la fuente de excitacin se modula con una amplitud que permanece constante
en todas las frecuencias. Dado que la seal luminiscente es excitada precisamente
con una seal idntica en fase a la seal de fondo que se est intentando eliminar,
tendr la misma fase inicial que sta:

|A0 | a0lum
a0lum
= |A0 | +
ej(f )
(4.14)
Im (f ) = A0 (f ) 1 +
1 + j2f lum
1 + j2f lum
En una situacin como esta en la que no disponemos de una referencia de
fase clara para poder separar las componentes real e imaginaria, es necesaria una
modificacin del mtodo original. Dado que la fase de la seal medida es una
informacin poco til en este caso, se puede obtener la informacin deseada a partir
tan slo del mdulo de este fasor, que responde a la siguiente frmula (donde se
141
ha hecho alum = |A0 | a0lum ):

s
|Im (f )| =
alum
|A0 | +
1 + (2f lum )2
r
=
|A0 |2 + (2 |A0 | + alum )
2

+
alum 2f lum
1 + (2f lum )2
alum
1 + (2f lum )2
2
(4.15)
(4.16)
En este caso, como se puede deducir de las ecuaciones, el patrn de variacin de

la fraccin de la seal que cambia con la frecuencia se ve modificado por la relacin
entre la seal de fondo y la seal luminiscente. Por tanto, el mecanismo consistente
en anular la componente constante por diferencia entre distintas medidas no se
puede aplicar de igual modo. Se podr, sin embargo, en este caso, registrar el valor
acumulado completo (sin restar la constante) y realizar posteriormente un ajuste
de esta curva a la frmula correspondiente. Este ajuste, sin embargo, requiere una
mayor capacidad de clculo, y puede suceder que esta no se encuentre disponible
en el equipo.
Una alternativa a esta opcin consiste en hacer la sustraccin del valor de
continua, y obtener de estos datos el tiempo de vida aplicando una correccin.
En la figura 4.8 se representa la curva de (|Im (f )| |A0 |)/alum en funcin de la
frecuencia para distintos valores de = A0 /alum , parmetro adimensional definido
como el cociente entre la intensidad de la seal de fondo y la intensidad de la seal
de luminiscencia (para bajas frecuencias). En concreto, para valores de de 0,
0.2, 0.5, 1, 2 y 10. Como se puede observar, para distintos valores de se obtienen
distintos patrones frecuenciales de cada de la intensidad. Sin embargo, teniendo
un conocimiento a priori de la magnitud aproximada del parmetro (es decir, de
la magnitud aproximada de la seal de fondo y de la seal luminiscente) se puede
obtener una buena estimacin del valor f0 = 1/2lum buscado, que es relativamente insensible a variaciones de este parmetro . Supongamos, por ejemplo, que
obtenemos una estimacin de la frecuencia f0 a partir de una frecuencia medida
fm que corresponde al momento en que la intensidad normalizada ha cado a un
valor k = 1/ 2 = 0.707. En este caso la correccin a aplicar sera:

s
f0 = fm
(2 + k) k
(1 k)(2 + k + 1)
(4.17)
La elasticidad9 de la funcin f0 (), que expresa el porcentaje de variacin de la

142

1
( |I (f)| - |A | ) / a
= 0
= 0.2
0.707
= 0.5
= 1
= 2
= 10
0
0.1
Frecuencia Normalizada 2 f
10
af
(adimensional)
Figura 4.8: Cada de la amplitud de la seal medida menos su parte constante con
la frecuencia para distintos valores de la relacin fondo/luminiscencia.
magnitud medida f0 producido por un porcentaje de variacin en la variable , permite cuantificar el posible error en la medida de f0 que produce el desconocimiento
del verdadero valor del parmetro :
Ef0 () =
df0
f0
d
(2 + k)(2 + k + 1)
(4.18)
Como se puede ver en la figura 4.9, para k = 1/ 2 la elasticidad de f0 () tiene

un mximo de 0.11 para = 0.5, y decrece a una razn de 1 dcada por dcada.
Esto significa que el impacto de una incorrecta calibracin del parmetro sobre la
frecuencia medida es mnimo (por ejemplo, un error del 20 % en se transformara
en menos de un 2 % de error en f0 ). De hecho, si la seal de fondo es mayor que
la seal luminiscente, que ser el caso habitual de utilizacin de este mtodo, la
9
La Elasticidad de una funcin respecto de una variable es un concepto bsico matemtico,

ampliamente conocido y usado en economa. Su definicin es precisamente la de la primera parte
de la ecuacin (4.18) y facilita el anlisis de la dependencia de una magnitud con respecto de
una de las variables de las que es funcin.
143
sensibilidad de la medida de la frecuencia al parmetro es mucho menor.
-1
Elasticidad Ef ( )
10
-2
10
-3
10
-4
10
0.1
10
100
1000
Parmetro
Figura 4.9: Elasticidad de la estimacin de la frecuencia caracterstica de una

emisin luminiscente con respecto a la relacin fondo/luminiscencia.
4.4.
Validacin experimental del mtodo de medida del tiempo de vida de la luminiscencia
A pesar de que el diseo del mtodo para la determinacin del tiempo de

vida de la emisin luminiscente es tericamente correcto, se decidi dar validez
experimental al mismo y demostrar su capacidad para discriminar seales muy
inferiores en amplitud al fondo presente en el sistema.
Para ello se acometi la caracterizacin de dos muestras luminiscentes distintas:
El fsforo de una bombilla fluorescente compacta (CFL, Compact Fluorescent
Lamp) se eligi por la gran comodidad en su manejo, y, principalmente,
por poseer una emisin con un tiempo caracterstico en el entorno de los
milisegundos. Esto permite hacer medidas relativamente rpidas (la mayora
de los fsforos lentos que se probaron tenan tiempos de vida en el entorno
de los segundos, lo cual implica tiempos de medida excesivamente largos)
144
4.4 Validacin experimental
y simplifica enormemente la instrumentacin electrnica al desenvolverse la

medida en frecuencias relativamente bajas (los compuestos fluorescentes con
inters analtico rara vez tienen tiempos de vida superiores al microsegundo,
lo cual comporta una mayor dificultad electrnica).
Compuestos luminiscentes basados en rutenio, con emisin en el entorno de
microsegundos. . Se eligieron para demostrar el funcionamiento del sistema con una sustancia de utilidad real,10 a la que se poda tener un fcil
acceso, y con unos tiempos de vida adecuados a los sistemas de instrumentacin electrnica disponibles. El luminforo se encuentra inmobilizado en una
membrana de silicona, lo cual facilita enormemente su manipulacin. En la
figura 4.10 se ha representado el espectro de emisin de estos luminforos.11
Figura 4.10: Espectro de emisin de la luminiscencia de los compuestos basados

en rutenio.
A grandes rasgos, se pretendi desde un principio la medida del tiempo de vida
de la emisin luminiscente de la muestra correspondiente, utilizando la mnima cantidad posible de elementos pticos, simplificando al mximo esta parte del sistema.
Debido a esta gran simplificacin, se encontraron dos seales de fondo relevantes
10
11
Ver apartado 4.5.

Medida por el Dr. Juan Lpez Gejo.
145
presentes en la medida: la seal de fondo ptica y la interferencia electromagntica. La ptica se corresponde, a su vez, con la emisin no filtrada de la fuente
de excitacin y con la emisin autofluorescente,12 aunque no es necesario hacer
distincin entre ambas para su eliminacin. El mtodo para la cancelacin de la
interferencia electromagntica requiere, como se ha explicado anteriormente, de la
obtencin de una medida bloqueando el camino ptico, mientras que la cancelacin
de las seales de fondo pticas requiere una calibracin con dos caminos pticos.
El proceso hasta conseguir un prototipo funcional con una caracterizacin exitosa del tiempo de vida de los compuestos basados en rutenio fue largo y laborioso,
debido principalmente a las distintas caractersticas no ideales de los componentes
que no se haban previsto inicialmente y que obligaron a efectuar cambios en el
sistema de medida. A continuacin se describen brevemente los elementos pticos,
optoelectrnicos, y de instrumentacin electrnica utilizados en el experimento.
Posteriormente se detallan los problemas que se encontraron y las limitaciones que
implican, pues son de gran importancia a la hora de reproducir el experimento, y
tambin porque sin conocerlos no se podra valorar adecuadamente la conveniencia de las decisiones de diseo tomadas en el sistema final. Por ltimo se hace
la descripcin dicho sistema, y de los resultados de la caracterizacin de las dos
sustancias medidas.
4.4.1.
Descripcin de los elementos del sistema
Se describen en esta seccin los elementos ms relevantes del sistema de medida.

Si bien se parti inicialmente de un sistema muy similar al que se ha esquematizado
en la figura 4.5, fue necesario ir realizando algunos cambios para obtener una
precisin suficiente en la medida. En la figura 4.11 se muestra un esquema del
sistema tal y como qued configurado finalmente, en el que adems se han incluido
los diferentes aparatos de instrumentacin utilizados.
Elementos pticos
El nico elemento puramente ptico utilizado en el sistema es un adaptador de
fibra ptica de 1 mm bifurcada (en Y), que sirve para llevar la luz procedente de los
dos caminos pticos utilizados hasta el fotodetector. En las secciones posteriores
se detalla la razn de la necesidad de este elemento.
12
Esta ltima, especialmente en el caso del fsforo de la CFL.
146

GPIB
Generador
de pulsos
Ordenador
(python)
Fuente de
Tensin
Lock -in
Baja frecuencia
Lock -in
Alta frecuencia
Cubeta
in
m
Lu
LED
or
f
Amp.
Trans-Z
Fotodiodo
LCDs
Fibra ptica en Y
Figura 4.11: Diagrama del sistema de medida del de la luminiscencia en el dominio de la frecuencia con cancelacin del nivel de fondo.
Ntese que no se incluye ningn filtro ptico, comunes en los sistemas de medida
de luminiscencia. Si bien se emplearon algunos13 en distintas fases de prueba, las
medidas finales se realizaron sin necesidad de filtrado ptico.
Elementos optoelectrnicos
Como fuente de excitacin modulada se utiliz un LED azul comercial, en
encapsulado plstico de 5 mm. Su emisin est centrada en 470 nm, y se comprob
que tiene una porcin de emisin significativa correspondiente a la banda amarilla,
por lo que, si fuera a ser utilizado para una medida convencional, sera preciso
filtrar convenientemente la emisin para eliminarla. El precio del LED ronda los
0.50 A
C. Tampoco fue necesario el empleo de una fuente de alta potencia, como un
lser, que habra encarecido el sistema.14
13
Filtros de vidrio coloreado e interferenciales.

En particular para la excitacin en el violeta, concretamente en 405 nm, es fcil encontrar
ahora en el mercado diodos lser por menos de 10 A
C, ya que este tipo de dispositivos estn
14
147
Como detector se utiliz el fotodiodo comercial de silicio OSD15-5T de Centronics. Se eligi por ser uno de los mayor rea15 de los disponibles en los distribuidores
electrnicos ms comunes, y por su precio moderado, entre 10 A
C y 20 A
C. Al simplificar enormemente el sistema ptico la seal correspondiente a luminiscencia
que alcanza el detector aumenta, por lo que no es necesario utilizar detectores
de alta sensibilidad como tubos fotomultiplicadores (PMT, Photomultiplier Tube), que habran encarecido enormemente el precio del sistema y aumentado su
complejidad.
Como elemento electromodulador, para seleccionar el camino ptico que se
desea medir, se emplearon dos lminas LCD de aproximadamente 2 3 cm2 cada
una, sin ningn tipo de dibujo (como 7 segmentos o matriz de puntos; conmuta
toda la superficie al aplicar una determinada tensin en los terminales). La eleccin
de este tipo de componente se realiz en base a su bajo coste: el precio aproximado
de la pareja de lminas LCD es de 15 A
C.16
Instrumentacin electrnica
Si bien para los componentes pticos y optoelectrnicos se pretendi lograr una
simplificacin y reduccin de coste mxima, la parte de instrumentacin electrnica
empleada consisti en su mayora en aparatos de medida de laboratorio, altamente
verstiles, siendo el valor de mercado de los mismos de aproximadamente 15 000 A
C.
Esto, sin duda, facilita el proceso de medida, supliendo, en parte, las deficiencias
de los componentes optoelectrnicos. Sin embargo, se podra disear un sistema
electrnico ad hoc de prestaciones metrolgicas equivalentes, y con cuyo coste no
fuera ms que una pequea fraccin de este, una vez se ha fijado el experimento
objetivo, los intervalos de amplitudes y frecuencias de las seales involucradas, y la
informacin de inters. Para el desarrollo de un sistema compacto que implemente
siendo fabricados ahora en grandes cantidades para su incorporacin en sistemas de electrnica
de consumo de almacenamiento y lectura de datos (Blu-ray disk ).
15
La eleccin de un dispositivo de gran rea era importante de cara a la realizacin de un
sistema como el propuesto en la figura 4.5, aunque no tanto para la configuracin finalmente
elegida.
16
No es fcil encontrar este componente en los grandes distribuidores de componentes electrnicos, como RS o Digikey, dado que todos los LCD que tienen poseen algn tipo de dibujo, al
estar destinados a su utilizacin como elemento de visualizacin informacin. Sin embargo, es
fcil encontrarlo en multitud de tiendas online (ebay.com, por ejemplo) como parte de unas gafas
para la visualizacin en 3-D. Estas gafas funcionan tapando alternativamente los ojos para que
reciban imgenes distintas, construyendo la imagen estereoscpica, y el elemento que utilizan
para bloquear la luz son precisamente lminas LCD sin ningn tipo de dibujo.
148
este mtodo se sugiere la utilizacin de una FPGA (Field-Programmable Gate

Array, matriz de puertas programable por el usuario), que son dispositivos muy
adecuados a las tareas de control y anlisis necesarias. No se pretendi, sin embargo, hacer un prototipo completo del sistema, sino slo demostrar que es posible una
gran simplificacin en la fabricacin de los elementos pticos y optoelectrnicos.
Se utiliz una fuente de tensin E3647A de Agilent para la polarizacin de las
lminas LCD. Como fuente de seal cuadrada de frecuencia programable, para la
alimentacin del LED, se utiliz un generador de pulsos HP-8116A. La seal de
corriente del fotodiodo de silicio se convirti a tensin utilizando el amplificador de
transimpedancia explicado en el captulo 2. La desmodulacin de la seal detectada
en dos intervalos se llev a cabo haciendo uso de dos amplificadores lock-in de
Stanford Research, el SR830 para baja frecuencia (hasta 100 kHz) y el SR844 para
alta frecuencia (entre 25 kHz y 200 MHz). Tambin se utiliz en alguna de las
pruebas iniciales el analizador dinmico de seal SR780 de Stanford Research.
Automatizacin, control, y anlisis de resultados
El control de los instrumentos se llev a cabo a travs de GPIB (General Purpose Interface Bus, bus de interfaz de propsito general) dado que todos los instrumentos utilizados poseen este tipo de interfaz. Se us el adaptador USB/GPIB
82357B de Agilent, y se programaron los ciclos de medida y almacenamiento de
datos en Python. Si bien es comn realizar este tipo de automatismos en LabVIEW
de National Instruments, la programacin de rutinas sencillas como estas en un
lenguaje de programacin tradicional facilita la visualizacin y modificacin del
programa. Adems, el manejo de aparatos antiguos como el generador de pulsos
HP-8116A no est bien soportada en LabVIEW, mientras que a travs de Python
su configuracin y utilizacin fueron casi inmediatas. El anlisis y ajuste de datos
se ha realizado por ordenador. Estos clculos, en un sistema compacto y porttil
deberan ser programados en algn elemento de lgica digital.
4.4.2.
Dificultades y limitaciones para la medida del tiempo

de vida de la emisin luminiscente
En esta seccin se enumeran algunos problemas que se encontraron durante

las pruebas de validacin, y se discute su influencia en la validez de la medida.
Del anlisis del mtodo propuesto se desprende que es vlido para eliminar todas
149
las perturbaciones de la medida que sean comunes a los dos estados de medida
(es decir, medida y referencia), y que se ver afectado negativamente por cualquier variacin que, no siendo de inters, afecte de manera diferente a los estados
correspondientes.
Variacin con la frecuencia de la respuesta del sistema
El amplificador de transimpedancia utilizado para el experimento tiene un ancho de banda aproximado de 1 MHz, cuando se utiliza con una ganancia de 100 k.
Adems de esto, el LED y su electrnica de excitacin, el fotodiodo, e incluso los
instrumentos de medida, introducen sus propias variaciones con la frecuencia, de
modo que, en ausencia de muestra luminiscente, el sistema tiene una amplitud que
dista mucho de ser constante. Sin embargo, como se ha explicado anteriormente,
el hecho de que se realice una calibracin con una medida de referencia tomada
durante el propio experimento permite que se eliminen todas estas variaciones y
se pueda obtener una medida de la luminiscencia.
-3
10
(a)
muestra + fondo
-4
fondo
Amplitud (u. arb.)
10
muestra (resta)
-5
10
-3
10
(b)
-4
10
muestra 100 k
-5
referencia 100 k
10
muestra 10 k
4
10
10
10
10
Frecuencia (Hz)
Figura 4.12: Medida de muestra por sustraccin del fondo de interferencia (a) y
medida de la evolucin de muestra y referencia con la frecuencia, as como una
medida con menor ganancia en el amplificador de transimpedancia (b).
En la figura 4.12 se muestra la respuesta en frecuencia del sistema entre 104 y
150
107 Hz17 en distintos estados para ilustrar el proceso de calibrado. Esta medida se
realiz con el sistema en su configuracin final, que se explica ms adelante, para
evaluar la precisin del sistema. Todava no se haba colocado ninguna muestra
luminiscente, por tanto la comparacin de las medidas de muestra y referencia
permite estimar cul es la incertidumbre inherente al sistema.
En la subfigura (a) se muestra en lnea discontinua la medida de muestra, en la
que todava no se ha eliminado el fondo, y en lnea punteada la medida de fondo.
Como se puede observar, el fondo aumenta con la frecuencia, porque aumenta
el acoplamiento electromagntico entre el LED y la electrnica de deteccin. Sin
embargo, al restar este fondo18 se puede obtener una medida, representada en lnea
continua, de la respuesta del sistema a la excitacin ptica, eliminando este fondo.
En la subfigura (b) se ha representado en lnea continua esta misma medida de
la muestra sin fondo junto con la medida de referencia sin fondo en lnea punteada.
Se puede observar que ambas evolucionan a la par. De hecho, si se divide una
por la otra en el dominio complejo, debera observarse que el cociente tiene una
amplitud constante y una fase de 0o . Entre 10 Hz y 2 MHz la desviacin tpica en la
amplitud del fasor es de un 0.7 h, y la desviacin tpica de la fase 1.1 mrad, lo cual
permite discernir cmodamente una seal de luminiscencia con un fondo cientos
de veces mayor. Por encima de 2 MHz la amplitud de la seal ptica desciende
notablemente por la prdida de ancho de banda del sistema y el aumento del
acoplamiento electromagntico hasta hacerse mayor que esta, con lo que el error
tambin aumenta, a un 20 h y 20 mrad a 5 MHz y a un 160 h y 600 mrad a
10 MHz. Para tener una medida ms precisa a estas frecuencias sera necesario
incrementar el tiempo de integracin.
En la subfigura (b) tambin se ha representado, en lnea discontinua, la respuesta del sistema utilizando una resistencia de realimentacin de 10 k en el
amplificador de transimpedancia en lugar de 100 k. Como se puede observar, la
seal disminuye en un factor 10 en bajas frecuencias, pero se logra un aumento
del ancho de banda. Aumentando el ancho de banda de esta manera no se logra
que la seal a altas frecuencias sea mayor, sino slo que haya un mayor intervalo
de frecuencias en las que la respuesta es aproximadamente constante, gracias a la
reduccin de seal en las frecuencias bajas. Dado que se pretende en todo momento
realizar una normalizacin, la obtencin de un intervalo mayor con una respuesta
17
La medida se realiz desde 10 Hz pero aqu se ha cortado por no aportar informacin.

Aunque aqu se ha representado la amplitud, esta sustraccin del fondo es imperativo realizarla con fasores complejos.
18
151
plana no aporta mucho, por lo que se opt por continuar con la resistencia de
100 k y no perder seal a frecuencias bajas. Se observa tambin en esta curva
un artefacto a 200 kHz, que tambin es perceptible en la curva de 100 k. Esto
se debe a que entre 100 kHz y 200 kHz se cambia el amplificador lock-in en uso,
dado que cada uno de los dos utilizados cubre una parte del espectro medido.
Esta discontinuidad, al ser igual para las seales de muestra y referencia, no tiene
ningn efecto nocivo sobre la precisin de la medida.
Estabilidad a medio plazo de los componentes
1.0010
(u.arb.)
Intensidad
Idealmente, sin aplicar ningn cambio en la configuracin del sistema (es decir,
monitorizando la seal demodulada sin alterar la frecuencia de modulacin ni
cambiar el estado de los LCD), la respuesta de este en un registro temporal largo
debera ser constante. En la figura 4.13 se muestra un registro durante 500 s de
la emisin de intensidad del LED, registrado utilizando todos los componentes del
sistema final (optoelectrnicos y de instrumentacin), salvo los LCD y la fibra. La
variacin observada no es asignable a priori a ninguno de los elementos particulares,
sino que puede proceder de una combinacin de las variaciones individuales.
1.0005
1.0000
0
100
200
300
400
500
Tiempo (s)
Figura 4.13: Registro temporal de la intensidad de la seal medida sin variar los
elementos del sistema durante 500 s.
Como se puede ver, existe una deriva constante cuya tasa aproximada es de
10 s1 , y una variacin aleatoria de aproximadamente un 0.2 h. La variacin
aleatoria es suficientemente pequea como para no suponer un problema, y la
presencia de una deriva constante como esta no tiene un efecto muy pernicioso
sobre la medida. Dado que en este mtodo cada medida se calibra con una seal de
referencia, tomada preferentemente en un tiempo prximo, la relacin se mantiene
aproximadamente constante: 1/(1 + ) (1 + n)/(1 + (n + 1)) (1 ) siempre
que n 1.
6
152
(adimensional)
[M-F]/[R-F]
Realizando la correccin por referencia, por tanto, debera eliminarse esta deriva del sistema, por lo que a continuacin se hizo una medida sin sustancia luminiscente en la que se sucedan medidas de muestra19 (Mi ), referencia (Ri ) y
fondo (Fi ) sin variar ningn otro parmetro del sistema. Para ello se interpusieron
las lminas LCD entre el LED y el fotodiodo, de modo la luz alcanzara este ltimo
por dos caminos distintos correspondientes a las dos lminas. En la figura 4.14 se
muestra la evolucin del cociente (M F )/(R F ).20
2.840
2.835
2.830
0
100
200
300
400
500
Tiempo (s)
Figura 4.14: Evolucin temporal de la relacin muestra-referencia del sistema sin

luminforo durante 500 s.
Aunque sera esperable que la calibracin eliminara completamente la deriva, se
puede observar que de hecho aparece una deriva constante con una tasa aproximada
de 6106 s1 , mucho mayor que en el caso de no usar referencia. Una posible causa
de esto es la presencia de una pequesima inestabilidad mecnica en los soportes
del sistema ptico. Dado que el frente de onda de la iluminacin no es plano,
sino que puede tener aproximadamente una variacin con una tasa espacial21 de
2000 m1 , un movimiento del sistema del orden de 1 nm/s justificara la aparicin
de la deriva. Cambiando la configuracin mecnica del sistema se logr mitigar
esta deriva, reducindola hasta una tasa aproximada de 4 106 s1 , lo cual no es
suficiente para obtener una medida precisa.
Sin embargo, y dado que se trata de una deriva de tasa aproximadamente
19
Aunque en esta medida no haba muestra luminiscente como tal, se toma aqu esta terminologa porque se seguir usando en la descripcin.
20
Se utiliza a partir de este apartado esta nomenclatura para simplificar la escritura y facilitar
la lectura de las distintas operaciones realizadas con estas medidas. Se denotarn por M , R y
F las medidas de muestra, referencia y fondo, respectivamente. Cuando sea necesario distinguir
medidas correspondientes a distintas frecuencias de modulacin {fi } se indicar con un subndice.
21
Este valor se correspondera con un incremento de intensidad de un factor 10 al mover 5 mm
el fotodiodo.
153
constante, es posible cancelar su efecto adoptando un esquema de medidas en el

que se duplique la adquisicin de cada dato, tomndolo en posiciones simtricas
respecto de un tiempo central: por ejemplo, para dos frecuencias f0 y f1 , sera
[(M RF )0 (M RF )1 ] [(M RF )1 (M RF )0 ]. Este patrn, con barrido de todas las frecuencias en orden ascendente seguido de un barrido descendente, fue precisamente
el que se adopt para las medidas finales.
Inestabilidad en la transmisin de las lminas LCD
Inicialmente se colocaron las lminas moduladoras LCD delante del fotodiodo de modo que cubrieran aproximadamente la mitad de su superficie cada una,
dejando en medio del mismo los bordes de las lminas. De este modo, aunque
el fotodiodo era iluminado a travs de un camino ptico entre ambas lminas,
la seal producida se restara junto con el fondo de la medida. Se observ que
los transitorios de la conmutacin de los LCD tienen una componente rpida, de
aproximadamente el 95 % de la cada, que conmuta en menos de 1 s, y otra lenta,
del 5 % restante, que va variando lentamente durante ms de 100 s. Este transitorio
se puede observar en la mitad izquierda de la figura 4.15.
0.04
(% cada total)
Intensidad
Borde descubierto
Borde tapado
0.02
2
0.00
0
0
20
40
60
80
100
Tiempo (s)
25
50
75
100
Tiempo (s)
Figura 4.15: Transitorio del obscurecimiento de una lmina LCD, con la intensidad
normalizada al 100 % de la cada total, con el canto descubierto y tapado.
Tras una inspeccin ms detallada del problema, se descubri que la parte
lenta del transitorio est causada por una transicin ms lenta entre el estado
transparente y el opaco en la zona del borde de la lmina LCD. En esta zona
hay una inhomogeneidad en el espesor de la capa de cristal lquido, lo cual hace
que el efecto de la aplicacin de tensin no se de tan rpido como en el caso
de parte interna, y la transmisin vara lentamente con el tiempo. Aunque no se
154
ha representado, este efecto tambin se observa durante la transicin al estado

transparente.
Este comportamiento tiene unos efectos muy graves en la exactitud de la medida. Tomemos, por ejemplo, que, para cada frecuencia de excitacin fi , el orden
de la medida es Mi Ri Fi . En este caso, la intensidad que alcanza el fotodetector a
travs de la lmina LCD de muestra22 es distinta durante la fase de referencia que
durante la fase de fondo, porque segn avanza el tiempo el LCD se va oscureciendo
progresivamente. Por tanto, sera imposible tener una estimacin precisa de la seal
comn, y no podramos obtener un buen valor de la intensidad de referencia, con
lo cual no podramos calibrar correctamente la medida.
Para solucionar este problema se procedi a tapar el borde de modo que nada de
luz alcanzase el fotodetector a travs de este. En la mitad derecha de la figura 4.15
se puede observar el registro de la parte lenta del transitorio en esta configuracin,
en el que se observa que la amplitud de esta parte lenta ha disminuido a menos del
0.4 h, que ya se encuentra en unos valores perfectamente razonables para obtener
una buena medida.
Ms adelante, por otros problemas detectados en el fotodiodo, que se exponen
ms adelante, se decidi optar por una configuracin con fibra ptica, de modo
que se pudo colocar el extremo de estas alejado de los bordes, y completamente
libre de estos problemas sin necesidad de tapar el borde. De hecho, en el sistema
final, esta variacin es del orden de 0.1 h.
Aunque en la figura 4.15 se han normalizado los registros al 100 % de la variacin de intensidad (el 0 % no se corresponde con un 0 % de transmisin, sino con
el estado final de la misma), es importante hacer notar que la transmisin de las
lminas LCD en estado obscuro no es despreciable, y de hecho vara enormemente
con la tensin aplicada, como se puede observar en la figura 4.16, donde se ha
representado la absorbancia en estado obscuro en funcin de la tensin utilizada
para conmutar. La transmisin vara entre un 6.3 % a 5 V y un 0.34 % a 20 V.
A pesar de que, idealmente, es mejor que el obscurecimiento sea lo mayor posible, se observ que el comportamiento de las lminas se degrada si se aplicaban
tensiones altas de forma prolongada, por lo que finalmente se opt por utilizar
una tensin de conmutacin de 15 V, donde la transmisin es despreciable y no
se produce dao al LCD. El hecho de que exista una transmisin residual de las
lminas LCD en el estado obscuro no empeora la calidad de la medida signifi22
Durante las fases Ri y Fi la lmina LCD de muestra se encuentra en estado opaco.
155
Absorbancia
2.5
2.0
1.5
1.0
5
10
15
20
Tensin (V)
Figura 4.16: Absorbancia de las lminas LCD en estado obscuro en funcin de la

tensin aplicada.
cativamente, siempre y cuando esta transmisin sea estable y reproducible, dado
que simplemente ser tomada como seal comn a los dos estados y cancelada al
restar el fondo. Una transmisin en estado obscuro de un 1 % significara que la
seal efectiva para calcular la luminiscencia sera un 1 % menor, lo cual no supone
un gran inconveniente.
Dependencia de la respuesta temporal del fotodiodo
Longitud de onda. Es conocido que la velocidad de respuesta de los fotodiodos
depende de la longitud de onda de los fotones incidentes [51]. Esto se debe a
que el coeficiente de absorcin de los semiconductores depende de esta longitud
de onda, y por tantos fotones de distintas energas sern absorbidos a distintas
profundidades en el semiconductor. El punto de la estructura donde se genera el
par electrn-hueco influye en el tiempo de respuesta, ya que en caso de absorberse
fuera de la regin de carga espacial, el portador correspondiente ha de alcanzar la
misma, movindose por difusin, que es un proceso mucho ms lento que la deriva
por campo elctrico.
Este es un problema insalvable, en principio, dado que es intrnseco a las caractersticas fsicas del semiconductor que se utiliza para la deteccin. Sin embargo,
afortunadamente, para los intervalos de frecuencia utilizados en este experimento,
no se detect una variacin significativa de la respuesta en el tiempo del fotodiodo al variar la longitud de onda de los fotones incidentes. Para comprobarlo, se
hizo una medida sin blanco luminiscente en la que se interpuso un filtro ptico
rojo en el camino ptico de la muestra, midiendo por tanto la relacin entre los
156
fotones azules (mayoritarios) y rojos (minoritarios) procedentes del LED. Hasta

aproximadamente 1 MHz la respuesta es completamente plana, y hasta 10 MHz
s se observa una variacin importante, en parte debida a la prdida de seal (ver
discusin de la figura 4.12) y en parte, posiblemente, al efecto de la longitud de
onda.
Potencia ptica, punto de incidencia. Dado que la velocidad de difusin de

los portadores minoritarios fotogenerados depende de la densidad de los mismos,
el tiempo que tardarn en alcanzar la regin de carga espacial depender de la
potencia ptica incidente. Adems, quiz debido a los cambios en la densidad local
de potencia y al efecto de los bordes, se pudo comprobar que la respuesta temporal
del fotodiodo tambin vara al modificar el punto de la muestra en el que incide
la luz, e incluso, aparentemente, el ngulo de incidencia. Para cuantificar el efecto
combinado de estos dos factores se hizo una medida de la seal entre 10 kHz y
1 MHz en distintos puntos de la muestra y con una variacin de 2 rdenes de
magnitud en cuanto a potencia ptica, y se normalizaron todas las medidas por
su valor de bajas frecuencias, comparando la intensidad a 1 MHz. La variacin
obtenida es de aproximadamente un 5 %, lo cual se convertira en el factor ms
limitante de todos los estudiados.
Para subsanar el problema de la potencia ptica, se pens inicialmente en modificar la corriente de excitacin del LED para adaptar su emisin de modo que
la potencia incidente sobre el fotodiodo fuera aproximadamente igual en las fases
de muestra que en las de referencia. Sin embargo, se observ que una modificacin
en la corriente del LED acarrea un transitorio, debido posiblemente a una adaptacin trmica, de muchos segundos, lo cual imposibilita hacer cambios rpidos.
Finalmente se opt por configurar fsicamente el sistema de modo que se reciba
una potencia ptica similar en ambas fases de la medida, ya que se observ que
con siendo las seales del mismo orden de magnitud el efecto de la potencia era
despreciable.
Para solucionar el problema de la inhomogeneidad con el punto de incidencia se
opt por transportar la luz de muestra y de referencia hasta el fotodiodo por fibra
ptica, para asegurar que la luz procedente de ambos caminos incide exactamente
en el mismo punto y con el mismo patrn geomtrico. Para ello se utiliz fibra
ptica plstica de 1 mm de dimetro, y se fabric con ella un adaptador en Y
que permitiera unir los dos caminos pticos en el mismo punto de incidencia en
157
el fotodiodo. El adaptador se fabric haciendo una muesca a mitad de una fibra,

encajando en ella el extremo biselado de otra fibra y pegando ambas con cianoacrilato. Este proceso se ilustra en la figura 4.17. La fibra matriz tiene unas prdidas
de aproximadamente 1 dB mientras que la fibra insertada tiene unas prdidas de
unos 20 dB. Esta asimetra es muy conveniente, ya que permite atenuar el canal
de referencia, que recibe ms potencia que el de muestra, sin necesidad de utilizar
filtros.
Figura 4.17: Proceso de fabricacin de el conector de fibra ptica en Y.

Gracias a este conector, se unifican los caminos pticos de muestra y referencia
antes de llegar al dispositivo, de modo que la geometra con la que la luz alcanza
el fotodiodo es independiente de la etapa de la medida, y por tanto no hay una
variacin del tiempo de respuesta.
Una ventaja aadida de esta solucin es que permite separar con gran facilidad
el punto donde se toma la referencia del punto donde se toma la medida. As, es fcil
colocar el extremo de la fibra del canal de referencia cerca del LED y directamente
iluminado por este, sin posibilidad de que capte seal de luminiscencia, y por tanto
eliminando completamente la necesidad de un filtro pasocorto.
4.4.3.
Descripcin del sistema final
Tras todo lo expuesto en el apartado anterior, el sistema queda configurado

finalmente de la siguiente manera (consultar la figura 4.11):
El generador de pulsos HP-8116 alimenta el LED comercial de 470 nm.
La luz azul alcanza la muestra luminiscente, que reemite luz roja.
Las emisiones de luz, roja de la luminiscencia y azul de la excitacin, alcanzan
sendas lminas LCD, cuya conmutacin (entre 0 V y 15 V) se controla con
una fuente de tensin E3647A.
158
Tras atravesar los LCD, la luz es colectada en dos de los extremos de un

conector de fibra ptica de 1 mm de dimetro en Y.
La luz de ambos caminos pticos es detectada por un fotodiodo, cuya fotocorriente es convertida a tensin por un amplificador de transimpedancia de
100 k.
La informacin de mdulo y fase de la seal recibida es demodulada por
medio de dos amplificadores lock-in, SR830 para las medidas hasta 100 kHz
y SR844 para frecuencias superiores.
Todo el sistema (frecuencia de excitacin, estado de los LCD, lectura de
los lock-in) se controla por ordenador mediante bus GPIB a travs de un
adaptador 82357B. El control del sistema se ha programado en Python.
La medida de cada frecuencia consta de fases de medida de muestra, referencia, y fondo.
Un barrido completo consta de un ciclo de medidas en frecuencias ascendentes
y seguido de una repeticin en orden descendente para eliminar la deriva
constante del sistema.
4.4.4.
Medidas de luminiscencia realizadas
Como se ha explicado anteriormente, con el sistema final se realizaron medidas

de caracterizacin de un blanco fosforescente, procedente de una bombilla de bajo
consumo, y de un luminforo basado en rutenio, inmobilizado sobre una membrana
de silicona.
Medidas sobre la CFL
En la figura 4.18 se muestran los datos experimentales de la medida del tiempo
de vida de la luminiscencia de la lmpara fluorescente compacta, entre 10 Hz y
1000 Hz, tras la normalizacin.
Se puede observar una clara cada en la amplitud y desviacin en la fase en
torno a los 100 Hz, correspondiente con una cada. El ajuste realizado a una cada
monoexponencial de las componentes real e imaginaria del fasor (ecuacin (4.3))
arroja un valor de = 1.65 ms.
159
Mdulo
1.605
1.600
1.595
Fase (rad)
0.000
10
100
1000
10
100
1000
-0.001
-0.002
-0.003
Frecuencia (Hz)
Figura 4.18: Datos y ajuste de la medida del tiempo de vida de la CFL.

Como se puede observar, la seal correspondiente a la luminiscencia de inters
es aproximadamente, en amplitud, un 0.6 % de la seal total captada por el fotodetector, y sin embargo, la calidad de la seal tras la calibracin es tal que permite
apreciar perfectamente esta cada. Un sistema tpico de medida de la luminiscencia
basado en la fase esperara encontrar una desviacin de la fase de alrededor de 45o ,
mientras que con el sistema realizado ha sido posible obtener un valor fiable del
tiempo de vida con una desviacin mxima de uno 2 mrad ( 0.1o )
Estas medidas demuestran la capacidad del sistema para extraer la informacin
de tiempo de vida de la luminiscencia de una seal altamente contaminada con un
fondo muchas veces mayor.23
Medidas sobre el luminforo basado en rutenio
Medidas multifrecuencia. Tras la validacin del sistema con un muestra de
prueba, se decidi hacer la medida de un luminforo de utilidad real. Para ello se
introdujo una membrana de silicona funcionalizada con un luminforo basado en
rutenio en una cubeta de plstico sellada donde se poda, a eleccin, hacer circular
23
200, en nuestro caso.
160
nitrgeno gaseoso o aire.

La utilizacin de complejos formados por metales de transicin y distintos tipos
de ligandos orgnicos est actualmente creciendo en importancia en el campo de
los sensores qumicos por luminiscencia. En concreto, los luminforos basados en
Ru (II) presentan unas excelentes caractersticas para la medida de la concentracin de oxgeno [123]. El Grupo de Sensores Qumicos pticos y Fotoqumica Aplicada (GSOLFA) de la Facultad de Ciencias Qumicas de la Universidad
Complutense de Madrid, dirigido por el profesor Guillermo Orellana, lleva aos
trabajando en la sntesis, caracterizacin de este tipo de compuestos y su aplicacin como sensores en distintos sistemas de control medioambiental. Una de
las soluciones adoptadas para la inmobilizacin del compuesto en un sustrato que
permita su contacto con el entorno a medir consiste en la fijacin sobre membranas
de silicona [83].
En las figuras 4.19 y 4.20 se muestran el mdulo y la fase de las medidas
realizadas a la membrana luminiscente entre 10 Hz y 10 MHz, haciendo circular
un flujo gaseoso con un 21 % de oxgeno (aire) y con un 0 % de oxgeno (nitrgeno). Tambin se muestra el ajuste monoexponencial realizado para extraer de
las medidas los parmetros de inters. En la figura 4.19 el eje de las ordenadas
corresponde al mdulo normalizado de la medida, es decir, al cociente entre la
medida de muestra y la de referencia; como se puede observar, la seal del canal
de referencia es, dependiendo de la concentracin de oxgeno, entre 4 y 6 veces ms
potente que la del canal de muestra, lo cual no ha supuesto impedimento para la
obtencin de una medida precisa.
Como se puede verificar observando el valor del mdulo a altas frecuencias
(f ? 10 MHz) el fondo de medida permanece prcticamente constante al variar
la concentracin de oxgeno del medio. Si bien esto es lgico en este sistema de
medida, no tendra que ser as en un medio real en el que, por ejemplo, hubiese
una alta contribucin de autofluorescencia debida a la clorofila. Sin embargo, esto
no supondra un problema para la deteccin del tiempo de vida con el mtodo
propuesto, dado que la cancelacin de la seal de fondo se hace con el valor a altas
frecuencias y no con una medida de calibracin previa.
La presencia de oxgeno tiene principalmente dos efectos sobre la luminiscencia
de los complejos de rutenio: hace disminuir la amplitud total de la luminiscencia
y acorta el tiempo de vida medio de esta. Estos dos efectos pueden observarse
claramente en la figura 4.19, donde los puntos experimentales correspondientes
161
0.28
Aire
0.26
Nitrgeno
Mdulo (u. arb.)
0 % O
Ajuste
0.24
0.22
21 % O
0.20
0.18
0.16
1
10
10
10
10
10
10
10
Frecuencia (Hz)
Figura 4.19: Mdulo del fasor en funcin de la frecuencia y ajuste monoexponencial

para medidas en aire y nitrgeno.
0.00
Fase (rad)
-0.05
-0.10
Aire
-0.15
Nitrgeno
Ajuste
-0.20
1
10
10
10
10
10
10
10
Frecuencia (Hz)
Figura 4.20: Fase del fasor en funcin de la frecuencia y ajuste monoexponencial

para medidas en aire y nitrgeno.
162
a la medida con oxgeno alcanzan menor amplitud que los correspondientes a la

medida sin oxgeno, y tienen su transicin a una frecuencia mayor. Tambin en
la figura 4.20 se aprecian estos efectos: los puntos correspondientes a la fase de la
medida indican una menor excursin de la fase respecto de 0 rad, lo cual implica
una menor amplitud de su fasor con respecto al de fondo de la medida; adems, el
mximo de excursin se observa a mayores frecuencias.
Si bien la cada temporal de la luminiscencia de los complejos de rutenio responde a una curva monoexponencial cuando estos se encuentran en disolucin, no
es as cuando la sustancia se encuentra inmobilizada sobre una membrana. Las
distintas geometras de interaccin entre las propias molculas del compuesto y
con el sustrato en un entorno no homogneo hace que aparezcan distintos grados
de desactivacin en la luminiscencia, observndose una superposicin de distintas
cadas que pueden ser ajustadas por un modelo multiexponencial. Sin embargo,
para medidas realizadas in situ, en las que se pretende utilizar la informacin del
tiempo de vida para la evaluacin de otro parmetro ambiental, no suele ser de
mayor importancia la obtencin exacta de las distintas componentes del ajuste,
sino el tiempo de vida medio de la medida. Por ello se ha realizado simplemente
un ajuste a un modelo de cada monoexponencial conforme a la ecuacin:
Im (f ) = A0 +
alum
1 + j2f lum
(4.19)
Donde A0 se corresponde con el fondo de la medida, alum con la amplitud de la

luminiscencia y lum con su tiempo de vida medio. En el cuadro 4.1 se detallan los
resultados del ajuste.
A0
alum
lum (s)
Aire
Nitrgeno
0.176 0.002 0.178 0.003
0.023 0.002 0.084 0.003
1.4 0.2
5.2 0.5
Cuadro 4.1: Resultado del ajuste de los fasores medidos a un modelo monoexponencial (ecuacin (4.19)) en ambientes de aire y nitrgeno.
Es importante notar que con este sistema se ha podido recuperar la informacin

de utilidad en una medida en la que la componente de fondo es casi 8 veces superior
a la seal de inters (en el caso de la medida en aire).
163
Simplificacin del conjunto de frecuencias. Si bien la medida de casi 20

frecuencias distintas repartidas en 6 dcadas (figuras 4.19 y 4.20) es interesante
desde el punto de vista cientfico, es poco prctico para la implementacin en un
sistema de porttil para la medida in situ de algn parmetro ambiental. No todos
los puntos experimentales tomados aportan la misma cantidad de informacin
(es el caso, por ejemplo, de las tres primeras dcadas). Por ello, y dado que en un
sistema porttil se pretende obtener un nico valor aproximado de algn parmetro
fsico (concentracin de oxgeno, por ejemplo), no es ptimo hacer un barrido de
frecuencias tan completo. Es ms, el tiempo de medida puede estar mejor empleado
en medir con mayor precisin alguno de los puntos experimentales que contienen
mayor informacin, lo cual, adems, simplifica el proceso de obtencin del tiempo
de vida (resolucin de una variable en una ecuacin en vez de la realizacin de un
ajuste). Se puede obtener un valor suficientemente preciso a partir de la medida
del fasor de luminiscencia en un conjunto mucho ms reducido de frecuencias.
Un tpico fluormetro de tiempo de vida basado en la fase obtiene una nica
medida a una frecuencia que maximiza la informacin. En el caso de los tiempos
de vida de los complejos de rutenio este tiempo se situara en torno a la centena
de kilohercios. Si en un sistema como el nuestro, con un alto nivel de seal de
fondo, y an teniendo perfectamente calibrados los retardos electrnicos, habramos obtenido, a 46.4 kHz,24 unas fases de 0.17 rad y 0.04 rad para las medidas en
nitrgeno y aire, respectivamente. Estos niveles tan bajos, y alejados del desfase
de 0.79 rad (45o ) correspondiente a una frecuencia inversa del tiempo de vida de la
luminiscencia, son debidos a la importante presencia de seal de fondo ptica. Con
el mtodo propuesto, este fondo se puede medir y cancelar tomando una medida a
una frecuencia mayor, por ejemplo 1 MHz. En el cuadro 4.2 se muestran los valores
numricos de las medidas a 46.4 kHz y 1 MHz en atmsfera de aire y nitrgeno, y
el resultado de la cancelacin del fondo de medida.
A partir del valor corregido de la fase, obtenido tras la cancelacin del fondo,
es posible calcular el valor del tiempo de vida de la luminiscencia, sin ms que
sustituir los valores de la frecuencia de trabajo (46.4 kHz) y la fase corregida (en
negrita en el cuadro 4.2) a en la ecuacin (4.3). Los valores calculados para el
tiempo de vida de este modo son de 1.2 s y 3.8 s, en aire y nitrgeno, respectivamente. La subestimacin de ambos tiempos de vida con respecto a los valores
24
La distribucin de frecuencias elegida para la medida representada en las figuras 4.19 y 4.20
es de valores de frecuencia equiespaciados por dcada: 1 10n , 2.15 10n , 4.64 10n .
164
Aire
N2
46.4 kHz
1 MHz
resta
46.4 kHz
1 MHz
resta
Parte
Parte
Mdulo
real imaginaria
0.195
-0.0081
0.195
0.177
-0.0016
0.177
0.018
-0.0065
0.019
0.205
-0.0361
0.208
0.174
-0.0022
0.175
0.031
-0.0339
0.046
Fase
Fase
(rad) (grados)
-0.0413
-2.37o
-0.0088
-0.50o
-0.34
-19.5o
-0.174
-9.97o
-0.013
-0.74o
-0.84
-48.1o
Cuadro 4.2: Cancelacin del fondo de medida y clculo de la fase corregida en un

sistema de dos frecuencias.
obtenidos del ajuste con todos los datos experimentales (cuadro 4.1) se debe al
mayor error presente en esta estimacin, al estar prescindiendo de gran parte de
la informacin proporcionada por la medida, y a que a 1 MHz todava no se ha
extinguido totalmente la modulacin de la luminiscencia, por lo que al sustraer
este valor como fondo estamos minorando el valor de la fase, y, por tanto, el del
tiempo de vida recuperado.
Aadiendo una tercera frecuencia a la medida, por ejemplo de 1 kHz, se obtendra informacin sobre la amplitud mxima de la luminiscencia en cada atmsfera,
lo cual permitira la utilizacin de la informacin proporcionada del mdulo o la
parte real de la medida.
Medidas en el dominio del tiempo Para contrastar estos resultados se hizo
una medida directa de la cada exponencial en ambientes de aire y de argn en el
FLIM. El tiempo de adquisicin de estas medidas est limitado hasta alcanzar un
valor de cuentas de pico igual a 5000, por lo que las amplitudes no son comparables.
Sin embargo, s es posible extraer, a partir de un ajuste mono- o multi-exponencial,
la constante de tiempo de la cada. Los valores medios del tiempo de vida obtenidos
son de lum = 1.34 s para la medida en aire y de lum = 3.6 s para la medida en
argn. El resultado en aire concuerda perfectamente con lo obtenido por el mtodo
en el dominio de la frecuencia (cuadro 4.1), mientras que el resultado en ausencia de
oxgeno difiere significativamente (es un 30 % inferior). Esta discrepancia se debe,
posiblemente, a la diferencia de temperatura en la que ambas medidas han sido
realizadas. La medida en el dominio de la frecuencia se realiz en un laboratorio
de electrnica donde no se trabaja habitualmente con gases, por lo que se hubo de
improvisar una solucin para disponer de un flujo de nitrgeno, consistente en la
165
evaporacin de nitrgeno lquido en una botella dewar sellada, acoplada a un tubo

de plstico. Para aumentar la evaporacin natural del nitrgeno, se introdujo en
el dewar una resistencia de 50 polarizada a 15 V. El flujo de nitrgeno atraviesa
un tubo relativamente grueso y corto, sin interrupciones, por lo que emerge relativamente fro, aunque no se dispone de una estimacin de la temperatura exacta.
En contraste, en la medida en el dominio del tiempo realizada en el FLIM, el flujo
de argn procede de una botella a alta presin, regulada por un manmetro, y
en la que el tubo, relativamente largo y fino, atraviesa adems un caudalmetro.
Por ello el flujo de argn se encuentra completamente termalizado a temperatura
ambiente. La disminucin de la temperatura provoca un aumento en el tiempo de
vida de la emisin luminiscente de los complejos de rutenio. Una variacin como la
observada entre las medidas con nitrgeno fro y con argn a temperatura ambiente
es compatible, a la vista de los distintos resultados publicados [6, 24, 179], con una
diferencia de temperaturas de unos 20 K.
0% O (argn)
10
Cuentas
21% O (aire)
2
10
10
20
30
40
50
Tiempo ( s)
Figura 4.21: Medida del tiempo de vida de la luminiscencia en el FLIM.
4.5.
Funcionalizacin de superficies de GaN
Como se explic en la introduccin de este captulo, parte de la colaboracin

realizada con el GSOLFA tena como objetivo la funcionalizacin qumica de superficies de GaN para lograr una mayor densidad de integracin en la fabricacin
166
4.5 Funcionalizacin de superficies de GaN
de sensores. El trabajo en este mbito se ha centrado en dos tipos de pruebas o

procesos: la funcionalizacin y caracterizacin de capas de GaN, tipo p y tipo n,
y las pruebas encaminadas a la fabricacin de un dispositivo funcionalizado.
La caracterizacin de las capas semiconductoras se ha llevado a cabo, fundamentalmente, mediante la medida de la emisin luminiscente de las capas funcionalizadas y la medida y anlisis de los espectros de XPS de muestras en distintas
fases del proceso. Las primeras han sido realizadas principalmente por el Dr. Juan
Lpez Gejo, aunque inicialmente el investigador a cargo de esta colaboracin fue
el profesor David Garca Fresnadillo.25 Este tipo de medidas se han realizado en
sistemas de medida del tiempo de vida de la luminiscencia por TC-SPC. En cuanto
a las medidas y anlisis de espectros XPS, realizadas por el profesor Antonio Arranz
del grupo de Fsico-Qumica de Superficies del departamento de Fsica Aplicada
de la facultad de Ciencias de la Universidad Autnoma de Madrid, dirigido por el
profesor Carlos Palacio. Mi trabajo en esta parte ha consistido en las tareas relacionadas con la funcionalizacin en s, concretamente en la provisin y preparacin
de sustratos y en la realizacin de los plasmas.
Si bien el dispositivo semiconductor que ha sido objeto de estudio y de mejora
durante esta tesis es el fotodetector, hay varios motivos por los que tiene mayor
sentido trabajar en este caso en la funcionalizacin del emisor de luz. Las longitudes de onda tpicas de excitacin de la luminiscencia de los complejos de rutenio
coinciden a la perfeccin con los intervalos en los que los nitruros han visto una
mayor utilizacin como emisores, centrados en el azul, mientras que los intervalos
de emisin se adentran en energas bajas en las que la calidad estructural de las
capas de nitruros se degrada mucho por su alto contenido en indio, y en las que la
mejora lograda al abandonar el silicio es menos significativa. Adicionalmente, dado
que la funcionalizacin directa de la superficie semiconductora supone renunciar al
posicionamiento de un filtro ptico entre ambos elementos, es ms conveniente de
cara a la obtencin de una medida precisa que esta circunstancia se de en el emisor.
En la figura 4.22 se ha representado un esquema del dispositivo mencionado, que
ha sido el objetivo de este trabajo, con el complejo luminiscente de rutenio ligado
covalentemente a la superficie de GaN, excitado con la luz del propio diodo LED.
La persecucin del objetivo de la funcionalizacin de un dispositivo ha sido
motor de la introduccin de diversos cambios en el proceso de funcionalizacin
para superar los distintos obstculos que hemos ido encontrando. En general, el
25
Ambos son miembros del GSOLFA.
167
Figura 4.22: Representacin conceptual del dispositivo LED funcionalizado fabricado.

proceso de fabricacin de los emisores ha sido llevado a cabo por mi, mientras que
las etapas ms qumicas han sido realizadas por el Dr. Lpez Gejo. En la caracterizacin de los dispositivos, dado que tienen una superficie pequea y no homognea
(mesa, metales), ha sido necesario prescindir de la caracterizacin por XPS de
las superficies funcionalizadas, realizndose slo la caracterizacin ptica. Estas
medidas han sido realizadas tambin por el Dr. Lpez Gejo en el FLIM, si bien yo
he colaborado en la puesta en marcha del sistema experimental de medida para la
interrogacin del luminforo con la excitacin del dispositivo funcionalizado.
La eleccin de los complejos luminiscentes de rutenio responde a diversos motivos. El primero y ms determinante de ellos es que una de las sustancias en
las que se centra la actividad investigadora del GSOLFA. El rutenio presenta una
luminiscencia en unos tiempos de vida muy convenientes desde el punto de vista
de la instrumentacin electrnica, en el entorno de 1 s, mucho mayores que los
de la mayora de los luminforos comerciales. Su tiempo de vida presenta una
sensibilidad acusada a la concentracin de oxgeno [83], lo cual es de gran utilidad
en aplicaciones de distinto tipo para la deteccin de oxgeno, e, indirectamente,
de otras magnitudes y parmetros ambientales. Estas molculas tienen una gran
estabilidad, con lo que pueden ser incorporadas a sensores medioambientales que
requieran de un mnimo de intervencin humana para su operacin y mantenimiento.
168
4.5.1.
Proceso con solucin piraa
La primera aproximacin al problema se bas en la funcionalizacin escalonada

de la superficie de GaN, primeramente logrando una hidroxilacin de la superficie,
para poder luego llevar a cabo una silanizacin, que resulta en una gran densidad de
grupos amino que pueden ser utilizados para el anclaje covalente de los complejos
luminiscentes de rutenio. Este proceso est basado en la tcnica descrita en [7].
Las muestras funcionalizadas fueron sendas capas de GaN, tipo n y tipo p
(dopada inintencionadamente y dopada con magnesio, respectivamente), crecidas
sobre zafiro plano C mediante MOVPE, y con una concentracin de portadores
nominal de 1017 cm3 para la capa p, y del mismo valor aproximadamente para
la n. La capa tipo p utilizada se corresponda en realidad con la capa superior de
una estructura LED estndar, elegida de esta manera para facilitar la obtencin
de resultados trasladables, en la medida de lo posible, al experimento con un
dispositivo.
El primer paso de la funcionalizacin consiste en la obtencin de superficies hidroxiladas, mediante la limpieza de las muestras en una solucin piraa
(H2 SO4 /H2 O; 3:1) y aclarado con agua desionizada. Tras este proceso se hace una silanizacin mediante inmersin en APTES (3-aminopropiltrietoxisilano:
NH2 (CH2 )3 Si(OC2 H5 )3 .
Llegado este punto se realiz una caracterizacin por XPS [2] de las muestras
sin tratar, tras la inmersin en solucin piraa, y tras la silanizacin con APTES.
En la figura 4.23 se muestran los espectros XPS correspondientes al nivel 1s del
oxgeno, carbono, y nitrgeno, y al nivel 3d del galio, medidos bajo un ngulo de
salida de 70o .
Del anlisis del espectro del oxgeno, se puede deducir que tras la inmersin
en solucin piraa se incorpora gran cantidad de oxgeno, enlazado tanto con el
galio, como con hidrgeno formando grupos hidroxilo. Tras la silanizacin, el enlace
del oxgeno con silicio se convierte en dominante, probando la unin covalente del
APTES con el sustrato. En el espectro correspondiente al nitrgeno se observa
en (1) la aparicin de enlaces con oxgeno, y un acusado ascenso de la visibilidad de
los enlaces con galio, que tambin se puede observar en el espectro de este ltimo.
Esto se debe principalmente a que la inmersin en piraa tiene como efecto la
eliminacin de gran parte de la contaminacin de hidrocarburos, como se puede
observar en el espectro del carbono, en el que las componentes C1 , C2 y C3 se
asocian a este tipo de enlaces. Tras la funcionalizacin con APTES, sin embargo,
169
N(E)/E (u. arb.)
Si
O 1s
C
C
C
(2)
Ga
C 1s
1
NH
NH
Ga
N 1s
Ga 3d
(2)
(2)
(2)
(1)
(1)
(1)
(1)
(0)
(0)
(0)
536 534 532 530 528 290 288 286 284 282
402 400 398 396
(0)
22
20
18
Energa de enlace (eV)
Figura 4.23: Espectros XPS medidos a un ngulo de salida de 70o para GaN tipo n
sin tratar (0), tras solucin piraa (1) y tras silanizacin APTES (2).
el incremento de C1 y C2 se relaciona con la aparicin de enlaces C-Si y C-N,
respectivamente. En este punto del proceso (2) se observa la aparicin de grupos
amino en el espectro del nitrgeno y la disminucin de la visibilidad de los enlaces
N-Ga y del nivel Ga 3d, debido al apantallamiento producido por la incorporacin
de molculas ms superficiales.
La oxidacin, y, como consecuencia, la silanizacin, no se produce de la misma
manera en las muestras de GaN tipo n y tipo p. En la figura 4.24 (izquierda) se
puede observar que en la muestra tipo n hay un predominio de oxgeno ligado
al galio, mientras que en la muestra tipo p hay una mayor presencia de grupos
hidroxilo. Si bien ambas muestras capturan molculas de APTES, el crecimiento
de este es completamente distinto. En la figura 4.24 (derecha) se ha representado
la dependencia angular de los cocientes Ga(2)/Ga(1) y NGa (2)/NGa (1), que son
indicadores del apantallamiento producido por la capa crecida, y por tanto del
espesor de esta. En las cuatro series se produce una disminucin de la intensidad,
pero en las correspondientes al GaN tipo n esta intensidad es menor de partida
y relativamente mucho ms acusada que en el GaN tipo p. Una estimacin del
espesor de la capa, medida a partir de esta informacin, parece indicar que sobre
el GaN tipo n se produce un crecimiento tridimensional, de aproximadamente tres
monocapas, mientras que sobre el GaN tipo p se produce el crecimiento de una
monocapa que no llega a una cobertura total, quedndose en aproximadamente un
78 %.
Tras este resultado positivo se procedi a unir los complejos luminiscentes de
170

n-GaN
O 1s
N 1s
Ga 3d
0.8
Ga
(2)/N
Ga
0.6
Ga
0.4
(1)
Ga(2)/Ga(1)
n-GaN
p-GaN
N(E)/E (u. arb.)
Ga
p-GaN
0.2
0.0
536
534
532
530
528
15 30 45 60 75 0
15 30 45 60 75
o
Energa de enlace (eV)
ngulo de salida ( )
Figura 4.24: Espectro y deconvolucin de los niveles O 1s tras solucin piraa

para las muestras n y p (izquierda) y dependencia con el ngulo de salida de la
disminucin de intensidad de los picos Ga y NGa tras la silanizacin, para las
muestras n y p (derecha).
rutenio26 ([Ru(pbbs)3 ]4 ) a la superficie mediante el enlace de los grupos cloruro
de sulfonilo a los grupos silano, pudindose comprobar la presencia de este enlace
covalente mediante XPS [81]. Para ello se prepar una muestra funcionalizada
y otra en la que el complejo luminiscente est adsorbido sobre la superfice y se
midieron ambas, comparando los espectros del nivel S 2p. Mientras que en la
muestra adsorbida se observa un espectro correspondiente al enlace de los grupos
sulfonato, al medir la muestra funcionalizada aparecen nuevas componentes en la
deconvolucin que se asocian a los grupos sulfonamida, demostrando la existencia
de un enlace covalente. La conveniencia de que el rutenio est unido a la superficie
de GaN covalentemente radica en el hecho de que el rutenio debe estar en contacto
directo con la solucin en la que se desea realizar un anlisis de concentracin. Si
los complejos luminiscentes estuvieran simplemente depositados o ligados con un
enlace dbil, se perderan rpidamente, desapareciendo la capacidad sensora del
dispositivo.
Finalmente, se llev a cabo una caracterizacin ptica de las muestras en el
FLIM en atmsferas con distintas concentraciones de oxgeno. En la figura 4.25 se
26
El nombre completo del complejo

di(fenilsulfonato)]rutenio(II) de sodio.
referido
171
es
el
[Tris(1,10-fenantrolina-4,7-
ha representado el perfil temporal de la cada de la intensidad de la luminiscencia

de estas muestras para varias concentraciones de oxgeno entre 0 % y 100 %, y en
la figura 4.26 se ha representado el diagrama de Stern-Volmer de la desactivacin
del tiempo de vida medio de la luminiscencia27 correspondiente a dichos perfiles.
Figura 4.25: Medida del decaimiento temporal de los complejos de rutenio inmovilizados en GaN con distintas concentraciones de oxgeno.
m0
1
0
20
40
60
80
100
% O
Figura 4.26: Diagrama de Stern-Volmer de la desactivacin del tiempo de vida de

la luminiscencia de los complejos de rutenio inmovilizados en GaN con el oxgeno.
27
El diagrama de Stern-Volmer es la forma ms comn en luminiscencia de representar la
desactivacin de un fenmeno en funcin de la concentracin de determinada sustancia. En l se
representa F0 /F en funcin de la concentracin de dicha sustancia, siendo F la magnitud que se
desea medir, en este caso el tiempo de vida medio m , y F0 su valor cuando la concentracin, en
nuestro caso de oxgeno, es cero.
172
Si bien se observ sensibilidad al oxgeno en las muestras, esta es menor que la

observada en el rutenio en disolucin o inmovilizado sobre otro tipo de superficies
(vidrio, siliconas). Esta disminucin de la sensibilidad puede estar debida a una
desactivacin de los complejos de rutenio causada por la interaccin con la cercana
superficie de GaN. Esta desactivacin es mayor en el caso del GaN tipo n que en
el del tipo p.
Esta observacin apunta en la direccin de la existencia de una inyeccin de carga fotoinducida. Este tipo de fenmeno ha sido aprovechado para la fabricacin de
clulas solares sensibilizadas por colorante (DSSC, Dye-Sensitized Solar Cell ) [49].
Estas clulas, en las que la produccin de energa est basada en inyeccin de carga
desde una molcula ligada a la superficie del semiconductor, TiO2 , han despertado
un gran inters en la comunidad cientfica porque, a pesar de su ineficiencia en la
conversin de luz, su bajo coste las hace enormemente atractivas para la industria
energtica. En caso de poder demostrarse este tipo de transferencia de carga en el
caso del GaN y los complejos fluorescentes de rutenio, sera un hito importante, y
muy interesante la exploracin del campo de investigacin que se abrira.
Resultados sobre dispositivos LED
En paralelo a la funcionalizacin de las muestras de GaN se realiz el mismo
proceso sobre dispositivos LED de GaN con pozos cunticos de InGaN y emisin en
470 nm ya procesados. Tras el proceso se observ que los contactos metlicos haban
desaparecido completamente, de tal modo que se haca imposible la soldadura de
los dispositivos para su caracterizacin como emisores funcionalizados. Esto no es
sorprendente teniendo en cuenta que el primer paso del proceso es un ataque de 20
minutos en solucin piraa, que es conocida por atacar gran variedad de metales,28
que forman parte de los contactos de estos dispositivos.
4.5.2.
Intentos de proteccin de los contactos metlicos
Tal y como se pudo comprobar en la primera aproximacin al problema, la

funcionalizacin posterior a la fabricacin, al menos con el proceso utilizado, no
parece viable. La inmersin en la solucin piraa, aparentemente necesaria para la
generacin de grupos hidroxilo, destruye por completo los contactos del dispositivo.
28
Entre otros, aluminio, titanio, cromo, nquel, cobre, plata [188].
173
La realizacin del proceso de fabricacin completo sobre una estructura LED

ya funcionalizada tampoco es viable, dado que en este proceso intervienen sendos
recocidos de los contactos de Ni/Au y de Ti/Al de las capas p y n de GaN,
respectivamente, que destruiran los complejos luminiscentes.
La primera solucin que se propuso para este problema fue la de proteger los
contactos metlicos del dispositivo fabricado con alguna capa que pudiera sobrevivir a la inmersin en ataque piraa, y al resto del proceso de funcionalizacin,
para despus eliminarla por algn ataque especfico y tener acceso a los contactos.
Se hicieron pruebas con SiO2 , SiNx , depositados por CVD (Chemical Vapour Deposition, depsito qumico en fase gaseosa), y platino, depositado por evaporacin
de haz de electrones, sobre capas de GaN con contactos no funcionales de Ni/Au
y Ti/Al.
En todos los casos se produjo la prdida total de los contactos. Si bien estos
materiales son, en principio, resistentes a este tipo de ataque [188], las capas depositadas eran suficientemente porosas como para que la solucin piraa penetrara
hasta los contactos y los levantara, llevndose consigo tambin la capa protectora.
4.5.3.
Intento de fabricacin compatible con la funcionalizacin
Como segunda solucin al problema de los contactos se propuso un nuevo proceso que tericamente permitira la fabricacin de dispositivos LED suficientemente
buenos tras la funcionalizacin, sin destruir los complejos de rutenio. Este proceso
consistira en la fabricacin completa de los LED, con sus contactos recocidos,
y posterior funcionalizacin, realizada siguiendo los pasos indicados en la seccin 4.5.1. Tras la esto, como se habra eliminado el metal de los contactos, se
procedera a redepositarlo, pero sin repetir el recocido.
Como es sabido, los LED de GaN siempre tienen presente un contacto superior
semitransparente que ayuda a la distribucin de la corriente por la capa p del
dispositivo [55, 87, 127, 159], que es necesaria por la insuficiente conductividad alcanzada en GaN de tipo p con dopaje de magnesio. La presencia esta capa supone
un problema para un procesado como el que se propone, ya que no es evidente el
modelado del efecto producido sobre los complejos luminiscentes por la presencia
de una capa metlica delgada que conduce (y transfiere al sustrato de GaN) una
corriente de un valor elevado. Por ello se decidi realizar una doble prueba, una con
174
contacto superior semitransparente depositado encima del GaN tipo p funcionalizado, y otra sin l. En la muestra sin contacto la distribucin de la carga se vera
severamente afectada, obtenindose emisin suficiente nicamente en un entorno
reducido del contacto p. Por ello se decidi disear una mscara para litografa por
haz de electrones en la que la distribucin de la carga por la superficie de la capa
p se viera ayudada por una malla metlica ortogonal de 2 m de periodo. Este
periodo se eligi tal que, suponiendo que slo existiera densidad de corriente (y
por tanto emisin de luz) inmediatamente debajo del contacto, un fotn emitido
con el ngulo adecuado podra reflejarse en la interfaz GaN-zafiro y escapar del
GaN.29
Tras realizar el proceso como se ha descrito, se intent verificar la presencia de
complejos de rutenio en las muestras mediante la observacin de la luminiscencia.
Esta segunda prueba tambin arroj un resultado negativo, no pudindose observar
la presencia de luminiscencia en ninguna de las partes de la muestra.
Hay que sealar que, si bien en este proceso se evit el paso del recocido de los
contactos, las muestras, ya funcionalizadas, se vieron sometidas a una temperatura
de 100 o C en diversos puntos del proceso: durante el recocido de la resina ptica y
de haz de electrones,30 durante la propia evaporacin de los contactos,31 y durante
el proceso de levantamiento o lift-off.32
La conclusin de este experimento es, por tanto, que, debido a la necesidad de
calentar la muestra a aproximadamente 100 o C en varios momentos del redepsito
29
Obsrvese que dado el alto ndice de refraccin del GaN slo una muy pequea fraccin de
los fotones, aquellos emitidos con un ngulo respecto de la normal a la superficie menor al ngulo
crtico, consiguen pasar de esta al aire. En el caso del GaN, este ngulo crtico ronda los 23o .
Este es un problema que ha recibido mucha atencin en la tecnologa de LED, habindose ideado
variadas y creativas formas de aumentar la eficiencia de extraccin [4143, 56, 66, 187].
30
La resina ptica se recuece a 110 o C, la resina para la litografa por haz de electrones nominalmente se recuece entre 160 o C y 190 o C, aunque se pudo verificar que se obtenan resultados
satisfactorios recociendo a 100 o C durante un tiempo mayor.
31
Los tomos metlicos evaporados abandonan la navecilla (en el caso de evaporacin por
efecto Joule) o el blanco (en el caso de evaporacin por haz de electones) a una temperatura
elevada correspondiente al punto de ebullicin. Adems de ello, en el caso de la evaporacin por
efecto Joule, es significativa la transferencia de energa radiada debido a la alta temperatura de
la navecilla. En condiciones normales no se produce un calentamiento severo sobre el volumen
de la muestra, como queda evidenciado en el hecho de que las propiedades de la resina no se
adulteran del mismo modo que sucede cuando se calientan a una temperatura elevada en una
placa caliente (hot plate). Sin embargo, s puede producir un aumento severo muy localizado en
la superficie de la muestra.
32
Para lograr un levantamiento correcto de la resina fue necesaria la inmersin en
N-metil-pirrolidona caliente (100 o C) durante varios minutos.
175
de los contactos, es inviable el proceso de fabricacin propuesto, por la destruccin que esto supone de los complejos luminiscentes depositados previamente. Es
necesario, por tanto, buscar nuevas alternativas.
4.5.4.
Uso de plasmas en el proceso de funcionalizacin
Tras los experimentos anteriores se evidenci la necesidad de buscar alternativas

en el proceso de fabricacin o de funcionalizacin que permitieran compatibilizar
la existencia de contactos y la presencia de rutenio ligado covalentemente. Una
exploracin de la literatura existente revel la posibilidad de sustituir la hidroxilacin con solucin piraa por otros procesos basados en la utilizacin de distintos
tipos de plasmas. Por ejemplo, en un artculo de H. Kim [67] se informa de la
reactividad con compuestos orgnicos de muestras de GaN, previamente tratadas
con plasma de hidrgeno, al iluminar con luz de 254 nm, que aprovechan para
realizar una funcionalizacin con molculas de ADN (cido Desoxirribonucleico).
Diversos estudios informan del efecto de la aplicacin de un plasma de oxgeno
sobre muestras de nitruros [76, 124], proceso que podra ser utilizado como primer
paso de una funcionalizacin. Otros trabajos apuntan a la utilizacin de plasmas de
aire, bien para la generacin directa de grupos amino en la superficie del GaN [165],
o bien para la hidroxilacin de la superficie de InN y posterior funcionalizacin [18].
De acuerdo a la disponibilidad de las mquinas necesarias para llevar a cabo
estos procesos, se decidi llevar a cabo dos experimentos de funcionalizacin con
plasma [84]:
Plasma de oxgeno, llevado a cabo en el reactor RIE del ISOM. Este plasma
se llev a cabo durante 10 minutos bajo una presin de 60 mT, con un flujo
de oxgeno de 7 sccm, siendo la potencia aplicada de 93 W y la polarizacin
de continua resultante de 300 V. Tras este proceso la superficie del GaN se
encuentra hidroxilada, con lo cual el siguiente paso es el ligado del APTES
para aportar los grupos amino a los que se enlaza el complejo de rutenio.
Plasma de aire hmedo, llevado a cabo en el quemador de resinas del ISOM.
Para este proceso se acopl un burbuejador en la entrada de aire del reactor,33
y se hicieron sucesivos plasmas de corta duracin hasta completar un tiempo
33
Por tanto consideramos que el aire est saturado de agua a temperatura ambiente.
176
total de reaccin de 15 minutos.34 El plasma est generado en una atmsfera

de 1 mbar por un campo de microondas de 800 W y de frecuencia 2.45 GHz.
Este proceso genera grupos amino en la superficie del GaN, por lo que el
siguiente paso es el ligado directo de los complejos de rutenio.
En la figura 4.27 se ha representado un esquema de ambos procesos realizada
por el Dr. Juan Lpez Gejo [84].
Figura 4.27: Representacin esquemtica del procedimiento para funcionalizar sustratos de GaN mediante la aplicacin de plasma de oxgeno (a) y aire hmedo (b).
Estos procesos se llevaron a cabo simultneamente en fragmentos de GaN y
en LED ya fabricados, para poder, por un lado, realizar anlisis de XPS en las
muestras grandes, y por otro lado, poder interrogar el luminforo con la luz de
excitacin del LED.
La inspeccin en microscopio de las muestras LED no parece indicar que se haya
producido ningn dao a los contactos con este nuevo proceso de funcionalizacin.
Sin embargo, durante la soldadura de los mismos en encapsulados TO5 se pudo
comprobar que los contactos estaban algo debilitados y que era, aparentemente,35
34
En el quemador de resinas del ISOM es necesario fraccionar la reaccin debido al fuerte

incremento de la temperatura del reactor.
177
ms difcil soldar en ellos que en dispositivos nuevos. De hecho, en algunos de los

LED en los que hubo que realizar varios intentos de pisada con la punta de soldado,
se produjo un desprendimiento del contacto.
El anlisis de resultados XPS36 del nivel 2p del azufre muestra que los fragmentos tratados con plasma de oxgeno presentan un buen nivel de funcionalizacin,
mientras que el proceso ha sido poco exitoso en lo referente a los tratados con
plasma de aire hmedo. Las razones de esta discordancia con el trabajo de Stine et l. [165] pueden ser varias, desde la diferente efectividad de los plasmas
utilizados a la dificultad de las molculas de rutenio para reaccionar con grupos
amino tan cercanos a la superficie.
El anlisis ptico de las muestras37 consisti en la medida de los patrones de
decaimiento temporal de la intensidad de la luminiscencia en el FLIM, para los
fragmentos de GaN, excitando con el lser del sistema, y para los LED funcionalizados, utilizando como excitacin tanto dicho lser como su propia emisin.
Para sincronizar la emisin de los LED con las ventanas de deteccin del sistema
TC-SPC, se polarizaron con un generador de pulsos HP-8116 configurado para
dispararse con el flanco de una de las seales del sincronismo del sistema.
En la figura 4.28 se ha representado la cada de las muestras tratadas con
plasma de oxgeno, aire hmedo y sin funcionalizar. A la izquierda se observan las
cadas de los fragmentos de GaN y a la derecha las de los LED funcionalizados,
todas excitadas con el lser del sistema (470 nm).
Como se puede observar, el proceso de funcionalizacin arroja resultados positivos, mejores en el caso de la funcionalizacin con plasma de oxgeno. Adems de
esto, como era esperable, el proceso es equivalente en las superficies de GaN sin
procesar y en los LED.
La observacin de la luminiscencia bajo la excitacin del LED se realiz en
la muestra tratada con plasma de oxgeno, ya que tiene una mayor intensidad de
luminiscencia. Se utiliz un filtro ptico pasolargo con corte en 590 nm para filtrar
la emisin del LED (la emisin de este est centrada en 470 nm mientras que la de
la luminiscencia tiene su mximo en 625 nm). Para descartar la posibilidad de que
35
Esta impresin podra deberse tambin a que la soldadora utilizada no es muy reproducible
en trminos de facilidad para realizar las soldaduras.
36
Realizado por el profesor Antonio Arranz.
37
Las medidas en el FLIM, en general, y las que se muestran a continuacin, en particular,
fueron realizadas por el Dr. Juan Lpez Gejo. Yo colabor con l en la puesta en marcha del
sistema electrnico de medida para la caracterizacin de los LED funcionalizados utilizando su
propia luz como excitacin y en la optimizacin de las condiciones de operacin.
178

Superficie LED
Cuentas (escala logartmica)
Sustrato de GaN
Plasma O
Plasma O
Plasma aire hmedo
Plasma aire hmedo
Sin funcionalizar
Sin funcionalizar
Tiempo ( s)
Figura 4.28: Cada de la intensidad de la luminiscencia de muestras de GaN (izquierda) y diodos LED (derecha) funcionalizados con plasma de oxgeno, de aire
hmedo, y sin funcionalizar.
la luz detectada corresponda a la emisin residual del LED en la banda amarillaroja38 se realiz una medida de un dispositivo sin funcionalizar. Los resultados se
muestran en la figura 4.29. Tambin se ha representado, para referencia, la cada
medida en el LED bajo la excitacin externa del lser de 470 nm.
Como se puede observar la cada del LED sin funcionalizar, correspondiente a la
emisin residual del LED, es rpida y ha desaparecido bajo el fondo experimental
de ruido en pocas fracciones de microsegundo, lo cual nos permite afirmar que la
cada medida en el LED funcionalizado corresponde al rutenio ligado covalentemente a su superficie. De hecho, si comparamos las medidas bajo la excitacin propia
del LED y bajo excitacin externa, podemos comprobar que son completamente
equivalentes, salvo quiz durante las primeras fracciones de microsegundo, en las
que todava tiene efecto la cada rpida intrnseca al propio LED.
En la medida de estos dispositivos con distintas concentraciones de oxgeno
fue imposible observar la tpica variacin del tiempo de vida que correspondera
38
De hecho, el mtodo explicado y validado en las primeras secciones de este captulo tiene
por objeto eliminar el efecto de esta emisin residual en un sistema de medida en el dominio de
la frecuencia.
179
10
funcionalizado, excitacin propia

4
funcionalizado, excitacin externa
10
Cuentas
no funcionalizado, excitacin propia
10
10
10
Tiempo ( s)
Figura 4.29: Cada de la intensidad de la luminiscencia de diodos LED sin funcionalizar y funcionalizado bajo su propia excitacin, y este ltimo bajo excitacin
externa.
a la desactivacin del rutenio (como la representada en la figura 4.25). Aunque
no tenemos una explicacin para este resultado negativo, nos inclinamos a pensar
que se debe a la interaccin entre la superficie funcionalizada y el complejo de
rutenio. Aunque el proceso de funcionalizacin haya sido exitoso, ligando los complejos luminiscentes a la superficie semiconductora, dada la proximidad espacial
de ambos elementos no es posible suponer que estn completamente aislados. La
superficie semiconductora puede influir en el comportamiento de la luminiscencia
del rutenio, producindose una transferencia de carga entre ambos. La superficie
de GaN de los diodos LED utilizados no se puede considerar idntica a la de las
muestras en las que s se observ esta variacin, ya que existe un contacto metlico
semitransparente aleado con el GaN que modifica las caractersticas elctricas de
este.
Esta observacin abre un camino para una nuevo trabajo en el que se investigue
la influencia de distintos tipos de superficies sobre la flurescencia del rutenio, de tal
manera que se pueda finalmente fabricar un LED funcionalizado utilizable como
sensor, y, quiz tambin, abriendo la puerta a otro tipo de dispositivos en los
que esta interaccin se aproveche constructivamente para desarrollar algn tipo de
180
sensor electrnico.
4.6.
Se ha desarrollado un mtodo novedoso para la medida del tiempo de vida de
la emisin fotoluminiscente en el dominio de la frecuencia en experimentos
en los que existe una radiacin de fondo comparable o mayor a la seal
de inters, mediante la anulacin de la seal comn a medidas realizadas a
diferentes frecuencias de modulacin.
Se han propuesto dos alternativas (previa y simultnea a la medida) para
realizar una calibracin del anterior sistema en el caso de que la respuesta
en frecuencia del sistema completo no sea constante.
Se han propuesto dos variaciones del anterior sistema que aportan claras
ventajas experimentales, en las que la recuperacin de la informacin til se
realiza a partir nicamente de la parte real o la amplitud del fasor complejo.
Se ha completado el mtodo anterior con un procedimiento compatible al
mismo que permite eliminar la influencia de la seal de fondo debida al
acoplamiento electromagntico entre el subsistema de excitacin y el de deteccin.
Se ha validado experimentalmente el mtodo propuesto, implementando una
de sus posibles realizaciones en el laboratorio, demostrando su viabilidad
y su capacidad para reducir el coste total de los componentes pticos y
optoelectrnicos del sistema por debajo de 50 A
C.
Se ha diseado un sistema de medida robusto capaz de neutralizar el efecto
de las mltiples no-idealidades de los componentes utilizados.
Se ha medido con xito la cada luminiscente de una CFL, en condiciones en
las que la intensidad de la seal de fondo ptica era aproximadamente 200
veces superior a la de la seal de luminiscencia de inters.
Se ha medido con xito el decaimiento de la luminosidad de una muestra
fotoluminiscente basada en rutenio, en condiciones en las que la intensidad
de la seal de fondo ptica era aproximadamente 8 veces superior a la de la
seal de inters.
181
Se ha realizado una medida del tiempo de vida de este luminforo en ausencia de oxgeno, verificando que su variacin se corresponde con las medidas
realizadas por TC-SPC.
Se ha colaborado con las universidades Complutense y Autnoma de Madrid
en la funcionalizacin con complejos de rutenio de muestras de GaN, mediante el uso de solucin piraa, logrando demostrar la validez de este proceso
para obtener una muestra de GaN con complejos fotoluminiscentes de rutenio
sensibles a la concentracin ambiental de oxgeno y ligados covalentemente.
Se han realizado diversos experimentos con el objetivo de obtener un LED
basado en nitruros con complejos fotoluminiscentes de rutenio ligados covalentemente, concluyendo que no es posible compatibilizar la hidroxilacin
con solucin piraa con la supervivencia de los contactos elctricos del dispositivo.
Se ha colaborado en el desarrollo de un nuevo proceso de funcionalizacin
compatible con los contactos del LED mediante la aplicacin de plasmas de
oxgeno y aire.
Se ha demostrado que es viable la interrogacin de la fotoluminiscencia de
los complejos de rutenio ligados covalentemente a la superficie de GaN de
los LED azules funcionalizados utilizando como luz de excitacin la propia
emisin de estos dispositivos.
La medida de la desactivacin del tiempo de la luminiscencia de los complejos
de rutenio en los LED funcionalizados no revela sensibilidad alguna al oxgeno, posiblemente por la influencia del contacto metlico semitransparente.
182
Captulo 5
Conclusiones
5.1.
Conclusiones cientficas y tcnicas de la tesis
Una vez expuestos los desarrollos, logros y conclusiones, tema por tema, de
esta tesis, se renen en esta seccin los ms relevantes de los mismos, para ofrecer
una visin sinttica, a posteriori (en contraposicin con el resumen a priori de
las pginas preliminares). A pesar del ttulo del captulo y de la seccin, muchos
de ellos no son estrictamente conclusiones, sino breves indicaciones de un trabajo
realizado.
Se ha caracterizado experimentalmente la detectividad especfica y el producto RS A de fotodiodos de silicio, GaN, InGaN en volumen, y de MQW de
InGaN, con distintos contenidos de indio.
Se observa que, as como en los fotodetectores de silicio su desempeo real
est prximo al lmite terico, en el caso de los nitruros se encuentra fuertemente limitado por la inmadurez tecnolgica de estos.
Se observa que a temperatura ambiente el rendimiento de los fotodiodos de
GaN y de MQW de InGaN es comparable al de los fotodiodos de silicio
existentes, con un comportamiento trmico muy superior.
Se ha probado que la utilizacin de nitruros del grupo III es una alternativa
viable para la deteccin de luz ultravioleta y visible en temperaturas hasta,
al menos, 350 o C.
183
5. Conclusiones
Se han fabricado dispositivos fotodetectores metal-semiconductor-metal sobre una capa de GaN plano A con una conductividad extremadamente baja,
para lo cual ha sido necesario desarrollar un mtodo de depsito y eliminacin de una capa de oro de evacuacin de electrones para poder realizar la
litografa por haz de electrones de dimensiones nanomtricas.
Se han caracterizado elctricamente los dispositivos MSM fabricados, observndose que presentan una corriente de oscuridad extremadamente baja,
siendo posible polarizar algunos de ellos hasta 200 V.
Se ha caracterizado la respuesta a la polarizacin de la luz incidente, observndose un contraste R /Rk = 1.8, que, si bien no es muy elevado, permite
la utilizacin para la deteccin de polarizacin en banda estrecha en modo
diferencial con una gran sensibilidad.
Se ha medido la responsividad absoluta en funcin de la tensin aplicada,
alcanzndose valores en el orden de 5 A/W, debidos posiblemente a una gran
ganancia fotoconductiva del dispositivo.
Se ha desarrollado un mtodo novedoso para la medida del tiempo de vida de
la emisin fotoluminiscente en el dominio de la frecuencia en experimentos
en los que existe una radiacin de fondo comparable o mayor a la seal
de inters, mediante la anulacin de la seal comn a medidas realizadas a
diferentes frecuencias de modulacin.
Se ha validado experimentalmente el mtodo propuesto, implementando una
de sus posibles realizaciones en el laboratorio, demostrando su viabilidad
y su capacidad para reducir el coste total de los componentes pticos y
optoelectrnicos del sistema por debajo de 50 A
C.
Se ha medido con xito la cada fotoluminiscente de una CFL, en condiciones
en las que la intensidad de la seal de fondo ptica era aproximadamente 200
veces superior a la de la seal de luminiscencia de inters.
Se ha medido con xito el decaimiento de la luminosidad de una muestra
fotoluminiscente basada en rutenio, en condiciones en las que la intensidad
de la seal de fondo ptica era aproximadamente 8 veces superior a la de la
seal de inters.
184
5.2 Trabajo futuro
Se ha realizado una medida del tiempo de vida de este luminforo en ausencia de oxgeno, verificando que su variacin se corresponde con las medidas
realizadas por TC-SPC.
Se ha colaborado en la funcionalizacin con complejos de rutenio de muestras
de GaN, mediante el uso de solucin piraa, logrando demostrar la validez
de este proceso para obtener una muestra de GaN con complejos luminiscentes de rutenio sensibles a la concentracin ambiental de oxgeno y ligados
covalentemente.
Se ha demostrado que es viable la interrogacin de la fotoluminiscencia de
los complejos de rutenio ligados covalentemente a la superficie de GaN de
los LED azules funcionalizados utilizando como luz de excitacin la propia
emisin de estos dispositivos.
5.2.
Trabajo futuro
La mejora del desempeo, en cuanto a detectividad a temperatura ambiente
y alta temperatura se refiere, de cualquier fotodetector basado en nitruros,
incluidos todos los estudiados en esta tesis, pasa necesariamente por la mejora de la calidad cristalina de las capas crecidas. Durante esta tesis se ha
tenido acceso a dispositivos con una calidad cristalina buena, procedentes de
distintos laboratorios de crecimiento. Sin embargo, existen sustratos y tcnicas que mejoran notablemente la calidad del crecimiento,1 y sera interesante
poder caracterizar dispositivos que aprovechen estos avances.
A pesar de que se han demostrado las ventajas de los detectores basados
en MQW frente al InGaN en volumen para la deteccin en el visible, hay
aplicaciones en las que lo importante es la magnitud de la responsividad y no
tanto la detectividad. En estas situaciones la utilizacin de capas gruesas es
una eleccin lgica, y por ello sera interesante la caracterizacin de dispositivos basados en capas gruesas de InGaN con una estructura perfeccionada,
de tal modo que alcancen una respuesta mayor, dado que su actual eficiencia
cuntica deja que desear.
Ver captulo 1.
185
5. Conclusiones
Sera interesante dedicar un esfuerzo mayor a la optimizacin de la estructura de los fotodiodos basados en MQW para incrementar su respuesta sin
degradar su producto RS A.
Existen otras familias de semiconductores de gap ancho, con sus respectivas
peculiaridades, ventajas y desventajas, y sera conveniente la realizacin de
un estudio terico y experimental para evaluar cmo se comparan con los
fotodetectores de nitruros.
La medida de los detectores en rgimen de avalancha es un campo interesantsimo, con muchas posibilidades, y que apenas he explorado.
Como se ha visto, los detectores sensibles a la polarizacin fabricados en GaN
plano A tienen unas caractersticas excelentes que mejoran el comportamiento de los anteriormente fabricados sobre plano M. Sera interesante explorar
la fabricacin de nuevos dispositivos en los que se pueda aumentar la sensibilidad a la polarizacin sin perder en cualidades elctricas, mediante variacin
del espesor y tensin en las capas, o mediante la mejora del crecimiento en
plano M.
La fabricacin nanolitogrfica abre un amplio campo de posibilidades de
cara a la obtencin de dispositivos novedosos. Sera muy interesante, por
ejemplo, poder fabricar mediante ataque dispositivos crecidos en plano C
con sensibilidad a la polarizacin, mediante la creacin de patrones con baja
dimensionalidad en el plano de crecimiento, o la mejora de los polarizadores
metlicos fabricados.
Del desarrollo de un mtodo de instrumentacin novedoso a su implantacin
para la mejora de los instrumentos disponibles comercialmente hay un largo
camino, que sera muy positivo explorar en el caso presente, introducindose
en el mbito industrial.
Las medidas de validacin del mtodo desarrollado se han llevado a cabo en
frecuencias en el entorno de los microsegundos, ya que se ha tenido a acceso
a sustancias de inters real con un tiempo de vida medio de ese orden. Sin
embargo, existen gran cantidad de luminforos con tiempos de vida mucho
menores, para los que la medida reviste una mayor dificultad. Sera por tanto
interesante mejorar el sistema para permitir la medida en esos intervalos.
186
5.2 Trabajo futuro
En cuanto a la funcionalizacin de superficies, se ha avanzado mucho hacia

el objetivo de lograr un sensor de fotoluminiscencia en el que la sustancia
de inters est inmovilizada sobre el propio LED de excitacin, pero todava
queda mucho trabajo por hacer en esta lnea, principalmente en el estudio
de las superficies de GaN y su interaccin con el complejo de rutenio, para
lograr el objetivo.
Como se ha apuntado en el captulo 4, se han detectado indicios de lo que
podra ser una inyeccin de carga fotoinducida entre los complejos fluorescentes de rutenio y el GaN tipo n. Sera de enorme inters investigar este
fenmeno, pues de confirmarse podra abrir la puerta a la utilizacin de los
nitruros en aplicaciones del tipo DSSC.
187
Chapter 6
Conclusions
6.1.
Scientific and technical conclusions of the thesis
After having shown, chapter by chapter, all the developments, achievements

and conclusions of this thesis, the most relevant of them have been gathered here
in order to offer a synthetic, a posteriori vision (contrary to the a priori abstract
in the front matter). Despite this chapters and sections title, many of the items
are not strictly conclusions, but short indications of a work that has been done.
The specific detectivity and the RS A product of silicon, GaN, bulk InGaN
and InGaN/GaN MQW photodiodes have been experimentally characterized.
It can be seen that the performance of the silicon photodetectors is close to
the theoretical limit, while in the case of nitrides it is strongly limited by
their technological immaturity.
It is observed that, at room temperature, the performance of GaN and InGaN/GaN MQW photodiodes is comparable to that of existing silicon devices, and with a much better thermal behaviour.
It has been proved that the usage of III-group nitrides is a feasible alternative
for light detection in the ultraviolet and visible ranges at temperatures up
to, at least, 350 o C.
189
6. Conclusions
Metal-semiconductor-metal photodetectors have been fabricated on an Aplane GaN layer with an extremely low conductivity. In order to do this, it
has been necessary to develop a method for the deposition and elimination
of a gold layer used for electron evacuation in the electron beam lithography
system, with the aim of fabricating nanometre-scale features.
The fabricated MSM devices have been characterized electrically; they show
extremely low dark current, making it possible to bias some of them up to
200 V.
The response to polarized light has been characterized, observing a contrast
R /Rk = 1.8. This allows for their utilization in a differential configuration
for polarization detection in narrow band with high sensitivity.
The absolute responsivity, as a function of the applied voltage, has been
characterized. High values, in the order of 5 A/W are reached, possibly due
to the presence of photoconductive gain in the device.
I have developed a novel frequency-domain method for the measurement of
fluorescence lifetime in experiments in which there are high levels of background signal, by means of the cancellation of the signal common to the
measurements carried out at different modulation frequencies.
The proposed method has been validated experimentally, setting up one of its
possible implementations in the laboratory, and demonstrating its feasibility
and its ability to reduce the total cost of the optical and optoelectronic
components of the system to less than 50 A
C.
The fluorescent decay of a compact fluorescent lamp has been successfully
observed in conditions in which the intensity of the background signal was
approximately 200 times higher than that of the signal of interest.
The luminescence decay of a ruthenium-based fluorescent sample has been
measured in conditions in which the background light intensity was approximately 8 times higher than that of the signal of interest.
A collaboration between UPM, UCM and UAM has been carried out with the
objective of functionalizing GaN samples with ruthenium fluorescent complexes, by means of piranha solution and plasmas, demonstrating the validity
190
6.2 Future work
of these processes for producing covalently functionalized GaN substrates,

sensitive to the oxygen concentration.
It has been demonstrated that it is feasible to interrogate the fluorescence of
the ruthenium complexes covalently attached to the surface of nitride-based
LEDs by using as an excitation source the light emitted from the device
itself.
6.2.
Future work
The improvement of the performance, referred to the specific detectivity at
room and higher temperatures, of any nitride-based device, including the
structures studied in this thesis, is necessarily bound to the improvement of
the crystal quality of the semiconductor layers. During this thesis I have had
access to good-quality samples, coming from different growth laboratories.
However, substrates and techniques exist nowadays that notably improve
the growth quality, and it would be interesting to fabricate and characterize
devices that take advantage of these advances.
Even though the advantages of MQW-based devices with respect to bulk
InGaN ones have been demonstrated, there are some applications in which
the most important parameter is the magnitude of the responsivity, instead
of the detectivity. In these situations, the usage of thick layers for the absorption region is a logical choice, and it is for that reason that it would
be interesting to characterize devices based on thick InGaN layers with a
perfected structure, so that a higher response is attained.
It would be interesting to dedicate a bigger effort to the optimization of
the MQW-based photodiodes, in order to increase their response without
degrading their noise behaviour.
There are different families of wide band gap semiconductors, each with their
own peculiarities, advantages and disadvantages, and it would be convenient
to carry out a theoretical and experimental study to evaluate how they compare with the nitride photodetectors.
The measurement of photodetectors in avalanche mode is a very interesting
field, full of possibilities, that has been very shallowly studied.
191
6. Conclusions
As it has been shown, the polarization-sensitive photodetectors fabricated

on A-plane GaN have excellent characteristics that improve those of the
devices fabricated previously on M-plane GaN. It would be interesting to
explore the fabrication of new devices in which it is possible to increase the
polarization sensitivity without sacrificing the electrical characteristics, by
means of the variation of layer thickness and strain, or the M-plane GaN
growth improvement.
The nano-lithographic fabrication opens a wide spectrum of possibilities to
obtain novel devices. It would be very interesting, for example, to be able
to fabricate devices with polarization sensitivity, by means of etching devices grown on C-plane GaN to fabricate low dimensionality patterns, or to
improve the metallic-grating polarizers fabricated.
There is a huge amount of work to be done after the development of a
novel instrumentation technique in order to introduce it to the commerciallyavailable apparatuses. It would be very interesting to be able to work on this
line with the present case.
The measurements carried out to validate the method have been carried out
on frequencies in the range of microseconds, because that is the working
range for the substances available for test during this thesis. However, there
is a great variety of commercial fluorophores with much smaller lifetimes,
for which this measurement entails a bigger difficulty. It would be very
interesting to improve the system to be able to measure in these ranges.
Regarding GaN surface functionalization, big steps have been taken towards
the objective of developing a fluorescence sensor in which the substance of
interest is immobilized on top of the excitation LED itself, but there is still
much work to do in this line, specially in the study of GaN surfaces and their
interaction with the ruthenium-based molecule.
As it has been pointed in chapter 4, the existence of photoinduced charge
injection between n-type GaN and the ruthenium complexes could be inferred
from the experiments carried out. It would be very interesting to investigate
this phenomenon, because if it is confirmed it would open the way for nitrides
utilization in the fabrication of Dye-Sensitized Solar Cells.
192
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213
Apndice A
Lista de muestras
A.1.
Introduccin
En este apndice se detalla una lista de las muestras utilizadas en esta tesis,
dando algunos detalles sobre su procedencia, y fabricacin. Para facilitar su identificacin, se han agrupado las mismas siguiendo la misma estructura que en este
documento: muestras para la caracterizacin en alta temperatura, para la fabricacin de fotodetectores sensibles a la polarizacin, y para aplicacin en sistemas de
fluorescencia.
A.2.
A.2.1.
Muestras para la caracterizacin en alta temperatura

Fotodiodo p-i-n de silicio OSD5.8-7Q
Fotodiodo comercial de silicio OSD5.8-7Q de Centronics, provisto por RS

Amidata.
Presenta una responsividad mejorada en el ultravioleta.
Se presenta en encapsulado TO5.
215
A.2.2.
Fotodiodos p-i-n y p-n de GaN
Muestras crecidas por el Dr. Fabio Ranalli, utilizando un fichero de automatizacin creado por el Dr. Tao Wang, en el grupo de nitruros del Prof. Peter
Parbrook, en el EPSRC Centre for Nitride Semiconductors de la Universidad
de Sheffield, en Reino Unido.
Se realiz el crecimiento en reactor MOVPE de tres obleas de zafiro, con
cdigos GN1621A, GN1622A y GN1623A. Las anchuras de sus respectivas
regiones de carga espacial, caracterizadas por CV, son de 132 nm, 26 nm y
24 nm. La concentracin de dopantes para las zonas p y n est en el entorno
de 1018 cm3 , mientras que para la regin intrnseca es de 3 1016 cm3 .
Dispositivos fabricados por m en el mismo centro, con la ayuda y gua del
investigador Kean Boon Lee y el Dr. Rober Airey.
Se usaron dos mscaras distintas, una con diodos de dimetros entre 50 m
y 400 m, con acceso ptico, y otra con diodos de dimetros entre 10 m
y 100 m y sin acceso ptico: aleado de activacin de la capa p en RTA
(800 o C, 25 minutos), ataque mesa en reactor ICP-RIE y depsito y aleacin
de contactos: Ti/Al/Ti/Au (30/100/45/55 nm) y Ni/Au (20/200 nm).
A.2.3.
Fotodiodo p-n de InGaN en volumen
Muestra R392 crecida por el Dr. Juan Pereiro en el reactor MBE del ISOM
sobre un template de GaN tipo n provisto por la empresa Lumilog.
Contenido nominal de indio 18 %, espesores de las capas p y n de 150 nm y
400 nm, respectivamente.
Dispositivos fabricados por el Dr. Juan Pereiro en el ISOM.
rea activa de 33 mm2 , contacto hmico p semitransparente de Ni (5 nm) /
Au (5 nm) y pad de soldadura de Ni (50 nm) / Au (200 nm), aleados a 450 o C
durante 10 minutos; contacto n de Ti (50 nm) / Al (200 nm).
216
A.3 Muestras para experimentos de polarizacin
A.2.4.
Fotodiodos p-i-n de GaN con MQW de InGaN de

Taiwan
Crecidos por MOVPE sobre sustrato de zafiro por la empresa taiwanesa

Formosa Epitaxy (FOREPI).
La estructura consiste en un diodo p-i-n de GaN, con una barrera de Al0.15 Ga0.85 N
y un conjunto de pozos cunticos de InGaN en su regin intrnseca. Se utiliaron dispositivos con distintos contenidos de indio: 10 %, 16 %, 19 %, 28 %.
Los dispositivos fueron fabricados por la misma empresa con un rea activa
de aproximadamente 0.1 mm2 .
A.2.5.
Fotodiodos p-i-n de GaN con MQW de InGaN optimizados
Crecidos por el Dr. Juan Pereiro en reactor MOVPE en los laboratorios de

Unipress en Varsovia.
Estructura similar a la descrita en el apartado A.2.4, con un 14 % de aluminio
en la capa de AlGaN y un 20 % de indio nominal en los pozos.
Dispositivos fabricados por el Dr. Juan Pereiro.
Los dispositivos tienen un rea activa de 1 1mm2 , con un contacto superior
opaco.
A.3.
A.3.1.
Muestras para experimentos de polarizacin

Fotodetectores de GaN plano A
El material fue crecido por la Dra. Bilge Imer, bajo la supervisin de los profesores Steven P. DenBaars y James S. Speck en la Universidad de California,
Santa Brbara (UCSB).
Crecido en reactor LP-MOVPE sobre un sustrato de zafiro plano R.
Dispositivos fabricados por mi en el ISOM. Proceso de fabricacin descrito
detalladamente en la seccin 3.4.
217
A.3.2.
Fotodiodos de silicio con doble red de difraccin metlica
Dispositivos p-i-n de silicio OSD15-5T de Centronics, provistos por RS Amidata.

Su rea activa es de 15 mm2 .
El proceso de extraccin del encapsulado por medios mecnicos (serrado) y
qumicos (disolucin del pegamento en pirrolidona caliente) y el depsito de
la doble red de difraccin de aluminio fue realizado por m.
A.4.
A.4.1.
Muestras para aplicacin en sistemas de fluorescencia

Membrana luminiscente
Proporcionada por el GSOLFA.

Es una membrana de silicona con gran porosidad funcionalizada con complejos fotoluminiscentes de rutenio.
A.4.2.
Sustratos de GaN funcionalizados
Se utilizaron tres sustratos distintos:

Sustratos para el crecimiento de GaN crecidos por MOVPE sobre zafiro, con
dopaje tipo n, fabricados y proporcionados por la empresa Lumilog.
Capa epitaxial superior de GaN tipo p de estructuras crecidas por MOVPE
para la fabricacin de fotodetectores por la empresa FOREPI.
Capa epitaxial superior de GaN tipo p de estructuras crecidas por MOVPE
para la fabricacin de fotodetectores en la Universidad de Sheffield.
218
A.4 Muestras para aplicacin en sistemas de fluorescencia
A.4.3.
LEDs azules funcionalizados
Crecidos y fabricados por la empresa taiwanesa FOREPI.

Se proporcionaron cortados individualmente, sin ningn tipo de encapsulado.
219
Apndice B
Lista de mritos
B.1.
Patentes
. Navarro. Mtodo y sistema de medida del tiempo de vida de fluorescencia en el dominio de la frecuencia con altos niveles de seal de fondo,
pendiente de resolucin. P200901614.
B.2.
B.2.1.
Publicaciones
Como primer autor (2)
. Navarro, C. Rivera, R. Cuerdo, J.L. Pau, J. Pereiro, y E. Muoz. Low

frequency noise in InGaN/GaN MQW-based photodetector structures. Physica Status Solidi (A), 204(1):262266, 2007.
. Navarro, C. Rivera, J. Pereiro, E. Muoz, B. Imer, SP DenBaars, y
JS Speck. High responsivity A-plane GaN-based metal-semiconductor-metal
photodetectors for polarization-sensitive applications. Applied Physics Letters, 94:213512, 2009.
B.2.2.
Como co-autor (11)
J.L. Pau, J. Anduaga, C. Rivera, . Navarro, I. lava, M. Redondo, y

E. Muoz. Optical sensors based on III-nitride photodetectors for flame
sensing and combustion monitoring. Applied Optics, 45(28):74987503, 2006.
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B. Lista de mritos
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Luminescent Ru (II) Complexes. Journal of the American Chemical Society,
132(6):17461747, 2010.
J. Pereiro, A. Redondo-Cubero, S. Fernandez-Garrido, C. Rivera, . Navarro, E. Muoz, E. Calleja, y R. Gago. Mg doping of InGaN layers grown
by PA-MBE for the fabrication of Schottky barrier photodiodes. Journal of
Physics D: Applied Physics, 43:335101, 2010.
222
B.3 Participacin en congresos
C. Rivera, J. Pereiro, . Navarro, E. Muoz, O. Brandt, y H.T. Grahn.

Advances in Group-III-Nitride Photodetectors. The Open Electrical & Electronic Engineering Journal, 4(1):19, 2010.
J. Lpez-Gejo, . Navarro, A. Arranz, C. Palacio, E. Muoz, y G. Orellana. Direct grafting of long-lived luminescent indicator dyes to GaN light
emitting diodes (LEDs) for chemical microsensor development. Enviado a
ACS Applied Materials & Interfaces, Mayo 2011
B.3.
B.3.1.
Participacin en congresos
Como ponente (4)
. Navarro, C. Rivera, J. Pereiro, J.L. Pau, y E. Muoz. Low Frequency

Noise in InGaN/GaN MQW based photodetector structures. En International Symposium on Blue Laser and Light Emitting Diodes (ISBLLED),
Montpellier, 2006.
. Navarro, C. Rivera, R. Cuerdo, J. L. Pau, J. Pereiro, F. Calle, y E. Muoz. Noise study in photodiodes based on InGaN/GaN MQW. En Conferencia de Dispositivos Electrnicos (CDE), pginas 321324, El Escorial,
2007.
. Navarro, C. Rivera, R. Cuerdo, J.L. Pau, J. Pereiro, F. Calle, y E. Muoz. Noise study in photodiodes based on InGaN/GaN MQW. En UK
Nitrides Consortium annual meeting (UKNC), Warwick, 2007.
. Navarro, C. Rivera, J. Pereiro, E. Muoz, B. Imer, S. P. DenBaars, y J. S.
Speck. A-plane GaN polarization-sensitive photodetectors. En International
Workshop on Nitride semiconductors (IWN), Montreaux, 2008.
B.3.2.
Como colaborador (9)
J.L. Pau, C. Rivera, J. Pereiro, . Navarro, y E. Muoz. Ultraviolet and

visible nitride photodetectors: applications. En Conferencia de Dispositivos
Electrnicos (CDE), 2005.
223
B. Lista de mritos
E. Muoz, J.L. Pau, C. Rivera, J. Pereiro, . Navarro, y R. Pecharromn.

(Al, Ga, In) N-based UV and VIS photodetectors. En Annual Meeting of the
IEEE Lasers and Electro-Optics Society (LEOS), pginas 306307. IEEE,
2005.
J.L. Pau, C. Rivera, J. Pereiro, . Navarro, R. Pecharromn, y E. Muoz.
III-Nitride-based photodetectors for the visible range. En European Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits (WOCSDICE), Cardiff, 2005.
J. Pereiro, J.L. Pau, C. Rivera, . Navarro, S. Fernandez-Garrido, E. Muoz, S. Grzanka, y M. Leszczynski. InGaN-based enhanced photodetection by
internal field engineering: Growth and characterization of visible and near
UV photodetectors. En European Workshop on III-Nitride Semiconductor
Materials and Devices (EW3NS), 2006.
J. Pereiro, C. Rivera, JL Pau, . Navarro, S. Fernndez-Garrido, E. Muoz, R. Czernecki, S. Grzanka, y M. Leszczynski. Design of InGaN based
photodiodes by internal field engineering. En Conferencia de Dispositivos
Electrnicos (CDE), pginas 296299, 2007.
R. Cuerdo, J. Pedrs, . Navarro, A.F. Braa, J.L. Pau, E. Muoz, y F. Calle. High temperature assessment of nitride-based devices. En International
Conference on Materials for Microelectronics & Nanoengineering (MFMN),
2006.
J. Pereiro, C. Rivera, . Navarro, E. Muoz, R. Czernecki, S. Grzanka, y
M. Leszczynski. Optimization of (Al,Ga,In)N-based MQW photodiodes for
high responsivity performance in the visible and UV regions. En International Workshop on Nitride semiconductors (IWN), 2008.
G.F. Iriarte, E. Sillero, J.G. Rodrguez, . Navarro, J. Pedrs, y F.Calle.
E-beam lithography of nano interdigital transducers on insulating, semiconducting and conducting substrates. En European Workshop on Compound
Semiconductor Devices and Integrated Circuits (WOCSDICE), 2009.
J. Lpez-Gejo, A. Arranz, . Navarro, C. Palacio, E. Muoz, y G. Orellana.
New integrated oxygen sensors based on GaN emitters covalently functionalized with luminescent Ru(II) complexes. En EUROPT(R)ODE, 2010.
224
B.4 Estancias en el extranjero
B.4.
Estancias en el extranjero
State University of New York at Stony Brook, Department of physics and

astronomy, Prof. Emilio Mndez, EEUU, 1/6/2006 - 31/8/2006
University of Sheffield - EPSRC National Center for III-V technologies, Prof.
Peter Parbrook, 29/5/2007 - 29/8/2007
B.5.
Participacin en proyectos
Desarrollo de sensorizacin basada en fotodetectores GaN para monotorizacin de combustin, Ministerio de Ciencia y Tecnologa, 2004 - 2005.
New generation of GaN-based sensor arrays for nano- and pico-fluidic systems for fast and reliable bio-medical testing, Unin Europea, 2004 - 2007
(Bio)sensores qumicos avanzados para medida in-situ de la calidad de aguas
basados en elementos especficos de reconocimiento y lectura multifuncional
integrada (FUTURSEN), Comunidad Autnoma de Madrid, 2006 - 2009
B.6.
Colaboracin docente
LCEL, Laboratorio de Circuitos Electrnicos (3er curso, Ingeniero de Telecomunicacin): 53 horas (20 h curso 07/08, 33 h curso 08/09).
LSED, Laboratorio de Sistemas Electrnicos Digitales (3er curso, Ingeniero
de Telecomunicacin): 70 horas (30 h curso 07/08, 40 h curso 08/09).
Nanotecnologa para Dispositivos Avanzados (Mster en Sistemas Electrnicos): 10 horas, curso 07/08.
Seminario de Adaptacin de la ETSI Telecomunicacin: 22 horas, 2008, lgebra Lineal y Geometra y Funciones: Propiedades y Grficas.
225
Apndice C
Valoracin y conclusin personal
Sobre el trabajo en s
Me gustara empezar este apndice remarcando la diferencia entre el doctorado
y la tesis: atendiendo a las definiciones del diccionario de la Real Academia Espaola, el doctorado lo constituyen los estudios (y trabajos, aadira) necesarios para
la obtencin del grado de doctor, mientras que la tesis es la presente disertacin
escrita. No es vano hacer esta distincin, dado que en mi caso, como supongo que
en el de la mayora, existe una gran diferencia entre los trabajos y estudios que he
realizado y aquellos que se han visto plasmados en la tesis: ni estn todos los que
son, ni son todos los que estn.
No estn todos los que son, porque a lo largo de estos aos he realizado
ms trabajos y estudios de los que se plasman aqu. He tenido la suerte de colaborar con muchos investigadores trabajando en mi mismo campo, y tambin
con algunos de campos no tan cercanos. Algunos de estos trabajos, a pesar de
haber sido muy interesantes y de gran valor formativo, no tienen cabida en esta
tesis, ya que estn demasiado separados del tema principal de la misma, o no
han adquirido suficiente entidad y relevancia en s mismos como para hacerse un
hueco en este documento. Tal es el caso, por ejemplo, de la fabricacin, haciendo
uso de litografa por haz de electrones, de una matriz de fotodetectores para la
deteccin de luz con resolucin espacial para el proyecto GaNano, de los estudios
metrolgicos inconclusos sobre la informacin que es posible extraer de un conjunto de fotodetectores en distintas bandas cuando se present la posibilidad de
utilizar nuestros fotodetectores en una misin de la NASA a Marte, de los intentos
227
de medir sensibilidad a la polarizacin bajo incidencia oblicua en fotodetectores

crecidos en plano C, de los intentos fabricacin de estructuras fotoconductoras
con alta ganancia sobre sustratos de GaN semiaislante, de los muchos y diversos
intercambios que he mantenido con compaeros en cuestiones de instrumentacin
y los diversos equipos y montajes que he tenido oportunidad de calibrar para
obtener buenas medidas, del inicio de la colaboracin entre el ISOM y el Instituto
de Investigacin en Electrnica de la Universidad de Shiozuka (con Bob Atsushi
Nakamura y Temyo-sensei) para el desarrollo de fotodetectores basados en xidos
del grupo IIb [106], de los dispositivos Schottky y MSM que se fabricaron sobre
muestras de AlGaN crecidas por Valentin Jmerik, del equipo del profesor Serguei
Ivanov del Instituto Fsico-Tcnico Ioffe de San Petesburgo, o la caracterizacin de
las curvas IV de transistores HEMT de GaN en alta presin hidrosttica realizadas
durante mi estancia en la State University of New York, Stony Brook (con Yan
Zhang y el profesor Emilio Mndez).
La gran variedad de lneas de trabajo que se han tanteado durante este periodo puede dar impresin de una falta de planificacin inicial del trabajo. De
hecho, la excesiva (en mi opinin) cantidad de documentos que hay que rellenar
a lo largo del doctorado, por ejemplo, para solicitar y mantener la beca, exigen
una planificacin exhaustiva, ao por ao, equipo por equipo y casi muestra por
muestra, de los trabajos a realizar. Planificacin que, consecuentemente, se realiz.
Planificacin, que, inevitablemente, se vio modificada en decenas de ocasiones, a
veces por la imposibilidad de seguir adelante por imprevistos tcnicos, a veces por
la conveniencia de aprovechar oportunidades de aparicin imprevista, a veces por
fallos en los planteamientos de partida,1 y a veces por ser conveniente adaptar el
curso de la investigacin a las necesidades de los proyectos que son fuente de la
financiacin del ISOM (de la que yo me he beneficiado directa e indirectamente).
Sin duda habra sido ms cmoda para m la ejecucin, paso a paso, de un proyecto
minuciosamente previsto desde el principio, y mucho ms fcil la redaccin de la
consiguiente tesis. Tambin, posiblemente, habra sido menos formativo, pues no
habra tenido la oportunidad de aprender y utilizar la enorme variedad de tcnicas, temas y mtodos que he tocado durante estos aos. A pesar de esto, he de
reconocer que mentira si dijera que en ninguna ocasin he deseado esta opcin.
1
Estos son los gajes del oficio; la belleza de hacer investigacin, el descubrimiento de lo
desconocido, conlleva tambin que, cuando pasa a ser conocido, a menudo no es como lo habas
esperado.
228
No son todos los que estn, porque el ttulo de este documento no es trabajos
que he hecho YO durante mi doctorado. La tesis es, o al menos as lo entienden
la mayora de los doctores con los que he hablado de este tema, un documento con
muchas finalidades: tiene una finalidad examinadora, permitir evaluar el merecimiento del grado de doctor, una finalidad docente, facilitar a los que vienen detrs
contar con un punto de partida slido desde el cual desarrollar su trabajo, y una
finalidad acadmica, transmitir una serie de avances cientfico-tcnicos conducidos
mayoritariamente, no en exclusiva, por una persona. Las dos segundas finalidades
exigen que en esta tesis haya muchas contribuciones de terceros, algunas de las
cuales entiendo y domino, y algunas otras que me resultan algo ms oscuras. He
intentado en todo momento dejar claro cules de las partes descritas en la tesis se
correspondan con trabajo de otros, los puntos de colaboracin con otros investigadores, y los temas que son ms mos. An as, no sobra aqu hacer un pequeo
resumen y comentario adicional.
Sobre la colaboracin directa con mis compaeros del grupo de detectores de
UV del ISOM, los ahora doctores Carlos Rivera y Juan Pereiro, puedo afirmar que
ha sido enormemente fructfera. La colaboracin ha sido estrecha, y ha permitido
que cada uno nos ocupramos, en los trabajos conjuntos, de las partes en las que
nos encontrbamos ms cmodos trabajando. No voy a entrar en una descripcin
pormenorizada de las tareas de cada uno de nosotros, que muchas veces se solapaban, aunque s dir que mi parte ha estado siempre centrada en la caracterizacin,
con su correspondiente instrumentacin, y con un gran peso en la fabricacin. No
he realizado ninguna tarea de crecimiento, de lo que slo Juan se encargaba, ni
tampoco de modelado fsico y simulacin del dispositivo, tareas en las que Carlos
sobresala especialmente.
De entre las medidas, trabajos y anlisis ajenos que aparecen en esta tesis, me
gustara destacar: crecimiento y fabricacin de los fotodiodos de silicio, de MQW
y volumen de InGaN, crecimiento de los fotodiodos p-i-n de GaN, diagramas de
bandas, crecimiento del GaN sobre plano A, estudio terico de las propiedades
de polarizacin ptica de la absorcin del GaN sobre planos no polares, medida
e interpretacin de XRD, interpretacin de la PL, ajuste e interpretacin de las
medidas de corriente de oscuridad de los dispositivos sensibles a la polarizacin,
medidas y ajustes de muestras luminiscentes por TC-SPC, preparacin de la membrana fotoluminiscente, procesos qumicos para la funcionalizacin de las muestras
de GaN (salvo plasmas), medidas e interpretacin de XPS.
229
Aunque tomando el prrafo anterior en negativo se puede deducir cul es mi

parte de este trabajo, me gustara expresarlo en positivo. La tarea a la que con
ms gusto me he empleado estos aos de doctorado ha sido la instrumentacin
electrnica y ptica. He disfrutado especialmente con todo aquello que contuviera
en su nombre la palabra medir. Empezando por las sencillas medidas de respuesta espectral, que perfeccion poco despus de mi llegada al ISOM, el sistema
para la medida del ruido de baja frecuencia, las medidas en alta temperatura y la
problemtica asociada a la prdida de aislamiento, la medida y anlisis del ruido
RTS, las medidas de velocidad de fotodetectores, de fotocorriente bajo polarizacin
inversa, de multiplicacin de la fotocorriente, los sistemas de medida de la PL y
transmitancia, medidas de respuesta a la polarizacin, de corriente de oscuridad
y bajo iluminacin de estos detectores, medida de la luminiscencia de los LEDs
funcionalizados utilizando su propia luz como excitacin, y, por ltimo, el nico
trabajo que es de instrumentacin per se en mi tesis, la medida del tiempo de
vida de la fotoluminiscencia en el dominio de la frecuencia con altos niveles de
seal de fondo. Mi segundo bloque importante de trabajo ha sido la fabricacin
y tecnologa de dispositivos: los fotodiodos p-i-n de GaN, los MSM sobre GaN
plano A, varios intentos para lograr los LEDs funcionalizados, y muchos otros que
no han aparecido en esta tesis.
Sobre el periodo formativo

No me gustara terminar sin poner en valor, desde un punto de vista quiz ms
subjetivo, lo que ha significado para mi, personal y profesionalmente, la realizacin
del doctorado. He aprendido mucho, mucho ms de lo que queda reflejado en esta
tesis, utilizando una gran diversidad de tcnicas y aparatos y prestando pequeas
colaboraciones en multitud de experimentos.
He utilizado y/o aprendido a utilizar el torno, la fresadora, una estacin de caracterizacin elctrica en presin hidrosttica alta, una estacin de caracterizacin
optoelectrnica en alta temperatura de dispositivos encapsulados, una estacin de
puntas para la caracterizacin elctrica, una punta de mercurio para la medida
de capacidad, una estacin de puntas de alta y baja temperatura para la caracterizacin optoelectrnica, un analizador de impedancias, una lmpara de xenon,
un analizador de parmetros de semiconductores, monocromadores, analizador de
redes, fuentes de alimentacin, generadores de seal, osciloscopios, un muestreador (sampler ), amplificadores lock-in, troceadores pticos (chopper ), criostatos y
230
compresores de helio, lseres de estado slido y de descarga (InGaN, He-Cd, Ar),

un espectrofotmetro, un espectrmetro CCD, un medidor de espectros con monocromador y fotomultiplicador, el bus de instrumentacin GPIB, un microscopio
de fuerzas atmicas (AFM), un microscopio electrnico de barrido (SEM), un
perfilmetro ptico interferomtrico, un perfilmetro de contacto, un microscopio
ptico Nomarski, una microsoldadora de dispositivos electrnicos por ultrasonidos,
una sala de qumica de propsito general, evaporadoras de efecto Joule, un reactor
de pulverizacin catdica (sputtering), hornos convencionales y de RTA, reactores
de ataque por iones reactivos (tanto RIE como ICP-RIE), reactor CVD, reactor
de plasma de oxgeno por microondas, centrifugadoras de resinas, alineadoras de
mscaras para fotolitografa, mquina de litografa por haz de electrones, cortadora
de obleas de semiconductor, pulidora de sustratos, y el sistema de composicin de
documentos LATEX.2
Durante este periodo he realizado dos estancias de tres meses en el extranjero.
La primera de ellas tuvo lugar en verano de 2006 en la State University of New
York, Stony Brook, con el profesor Emilio Mndez, premio Prncipe de Asturias
de Investigacin Cientfica y Tcnica el ao 1998, actual director del Center for
Functional Nanomaterials del Brookhaven National Laboratory, y, sobre todo, una
gran persona. Si bien los resultados cientficos de esta estancia resultaron estar
poco alineados con los principales bloques de esta tesis, valoro muy positivamente
los conocimientos adquiridos, las tcnicas aprendidas, y el poso que dej en mi
saber hacer como investigador el contacto con el grupo del profesor Mndez.
La segunda estancia tuvo lugar en el verano de 2007 en el EPSRC (Engineering
and Physical Sciences Research Council) National Centre III-V Technologies en
Sheffield, Reino Unido, con el profesor de la universidad de Sheffield Peter Parbrook. En esta estancia tuve la oportunidad de aprender a realizar los principales
pasos de fabricacin de dispositivos semiconductores (litografa ptica, ataque ICPRIE, depsito de metales en evaporadora Joule) y de aprender nuevas tcnicas de
caracterizacin de fotodetectores.
He tenido la oportunidad de asistir a dos conferencias internacionales y dos
nacionales: el ISBLLED 2006, celebrado en Montpellier, con una charla, el IWN
2008, celebrado en Montreaux, pster, el UK Nitrides Consortium Meeting, con una
charla, y el CDE 2007, celebrado en El Escorial, con otro pster. Mi aprendizaje
no habra sido completo sin la asistencia estos eventos, centro de los intercambios
2
Con el que se ha elaborado esta tesis.
231
cientficos entre investigadores que trabajan en un mismo tema.

En cuanto a los documentos cientfico-tcnicos ms habituales he debido, como
todo doctorando que se precie, acudir a la gran base de conocimiento que supone
la coleccin de artculos de distintas revistas en las que publican los investigadores
del campo. Tambin he podido colaborar en artculos con distintos compaeros y
colaboradores, y escribir algunos propios. Adicionalmente, he tenido la iniciativa
de proteger parte de mi trabajo de este doctorado bajo la forma de la patente,
gracias a lo cual he podido conocer en ms detalle este tipo de documento, su
estructura y requisitos, y tambin que aprendiese a manejar las herramientas de
bsqueda que existen para encontrar patentes a nivel nacional e internacional.
Durante este periodo de tiempo, y gracias a las condiciones de mi beca-contrato,
he podido prestar colaboracin al departamento en tareas de docencia, en asignaturas de grado y de mster, y en un seminario de adaptacin para alumnos de
nuevo ingreso que organiz la ETSI de Telecomunicacin. Tambin, y aunque no
est relacionado con el doctorado en s, he realizado durante estos aos el Curso
de Aptitud Pedaggica del Instituto de Ciencias de la Educacin de la Universidad
Complutense de Madrid. En conjunto, esta experiencia ha sido tremendamente enriquecedora y la he disfrutado en gran medida. Siempre pens que tena vocacin
docente, y tras estas experiencias lo sigo pensando; es un objetivo que, de una
manera u otra, perseguir a lo largo del resto de mi vida e intentar compaginar
con mis otras aspiraciones profesionales y personales.
En estos aos en la Universidad he podido conocer en mayor profundidad las
entraas, con sus luces y sus sombras, de esta institucin, tan importante para la
sociedad, y que tan poco se llega a conocer en su paso por ella como estudiante. Es
sorprendente cun distinta me ha resultado en cada una de las mitades de la dcada
que he pasado en ella: en la primera casi sin percibir su funcin investigadora, en
la segunda casi pudiendo olvidar que se trata de un centro docente.
Si en lo profesional este periodo ha supuesto mi paso de estudiante a trabajador,
en lo personal ha coincidido con dos cambios importantsimos en mi vida: mi
matrimonio con Ins, emancipacin, y el nacimiento de mi hijo Diego. Todo ello
hace que en estos aos haya experimentado un gran salto de madurez a todos los
niveles.
232

Alvaro Navarro Tobar

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lvaro Navarro Tobar

Tribunal nombrado por el Excelentsimo Seor Rector Magnfico de la Univerde

Realizado el acto de defensa y lectura de Tesis el da

A Ins, Diego, y los que, espero, vendrn;

2. Estudio de fotodetectores en alta temperatura

2.2.6. Sistema de medida del ruido RTS . . . . . . . . . . . . . . .

3. Fotodetectores sensibles a la polarizacin

C. Valoracin y conclusin personal

adems, porque es una gran persona, amn de un gran investigador.

caracterizado elctricamente estos dispositivos, observando que tienen unos niveles

Finally, the application of nitrides in photoluminescence measurement systems

Alternating Current, corriente alterna

Device Under Test, dispositivo bajo prueba

Eficiencia Cuntica Externa

Fluorescent Lifetime Imaging Microscopy/Microscope, microscopio/microscopa de

High Electron Mobility Transistor, transistor

Valor eficaz de la corriente de ruido

Liquid Crystal Display, visualizador de cristal

Molecular Beam Epitaxy, epitaxia de haces

Proyecto de Fin de Carrera

Quantum-confined Stark effect, efecto Stark

Reactive Ion Etching, ataque por iones reactivos

Surface Acoustic Wave, onda acstica superficial

Transmission Electron Microscope, microscopio electrnico de transmisin

Universidad Autnoma de Madrid

X-ray Photoelectron Spectroscopy, espectroscopa de fotoelectrones emitidos por rayos X

Los nitruros del grupo III [100,136] constituyen la familia de semiconductores

Elementos del grupo III de la tabla peridica.

tracin intrnseca de portadores. En consecuencia, adicionalmente, estos disposivos

1.1 Estado de la tcnica

Las aplicaciones de los nitruros se reparten por un amplio abanico de campos,

La deteccin de luz con nitruros del grupo III

positivos metal-semiconductor-metal (MSM), metal-aislante-semiconductor (MIS,

Referidos comnmente por los trminos visible-blind y solar-blind.

1.1 Estado de la tcnica

sentido, el acercamiento ms clsico al problema es la obtencin de ganancia por

no polares no slo conlleva la desaparicin de los posibles aspectos adversos de los

Tras exponer en la seccin anterior cules son las principales caractersticas de

1.2 Demanda de aplicaciones

Sensores qumicos de fotoluminiscencia

Objetivos y estructura de la tesis

1.3 Objetivos y estructura de la tesis

de sus lmites y se han analizado los detectores disponibles comercialmente,

Dispositivos sensibles a la polarizacin

que presenta dicrosmo, debido a la asimetra de la red cristalina hexagonal, que

Aplicacin en sistemas de medida de fluorescencia

1.3 Objetivos y estructura de la tesis

responde al hecho de que es tecnolgicamente ms sencillo alcanzar con nitruros las

2. Estudio de fotodetectores en alta temperatura

un semiconductor est estrechamente relacionada con la densidad intrnseca de

En este captulo, a modo de continuacin del trabajo iniciado durante el PFC,

Aunque la caracterizacin en alta temperatura admite muchas dimensiones