FINISH Proposal
FINISH Proposal
FINISH Proposal
PENDAHULUAN
dengan
perkembangan
zaman
dan
semakin
pesatnya
perkembangan teknologi, maka tingkat peradaban umat manusia dapat diukur dari
seberapa besar penguasaan terhadap tingkat teknologi yang telah dimilikinya.
Material sudah ada sejak zaman dahulu, merupakan bagian dari integral suatu
kultur dan peradaban manusia. Sifat-sifat materialnya bergantung pada struktur
integral. Sifat-sifat tersebut akan mempengaruhi kinerja dari suatu material baik
proses
pembuatan
maupun
pemakaian.
Kemajuan
moderenisasi
dan
ferroelektrik
arah listrik
internalnya. Polarisasi yang terjadi merupakan hasil dari penerapan medan yang
mengakibatkan adanya ketidak simetrisan struktur kristal pada suatu material
ferroelektrik. Penelitian terhadap material ferroelektrik sangat menjanjikan
terhadap perkembangan device generasi baru sehubungan dengan sifat-sifat unik
yang dimilikinya. Penerapan material ferroelektrik berdasarkan sifat-sifatnya
adalah sifat histeresis dan tetapan dielektrik yang tinggi dapat diterapkan pada sel
memori Dynamic Random Acsess Memory (DRAM), sifat piezo-elektrik dapat
digunakan sebagai mikroaktuator dan sensor. Sifat pyroelektrik dapat diterapkan
pada infrared sensor, sifat polaryzability dapat diterapkan sebagai Non Volatile
Ferroelektrik Random Access Memory (NVRAM), Serta sifat elektrooptic dapat
digunakan dalam switch thermal infrared (Irzaman dkk, 2010).
Barium stronsium titanat (BST) merupakan semikonduktor lapisan tipis
yang memiliki konstanta dielektrik tinggi, kebocoran arus rendah, dan tahan
1.2.
Tujuan Penelitian
Tujuan dari penelitian ini adalah :
1.3.
Batasan Masalah
Cakupan batasan masalah pada peneltiaan ini adalah :
1. Bahan yang digunakan dalam penelitian adalah BST dengan komposisi
Ba0.8Sr0.2TiO3 yang di anneling pada suhu 600oC dan 650oC.
2. Metode yang digunakan pada penelitian ini menggunakan Metode Sol Gel.
3. Karakterisasi sampel menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM)
Dan Spektroskopi Impedansi.
1.4.
Tempat Penelitian
Penyiapan sampel dan analisa data dilakukan di Laboratorium Fisika
BAB II
TINJAUAN PUSTAKA
antara
lain
BaSrTiO3,PbTiO3,
Pb(ZrxTi1-X)O3,
SrBiTaO3,
dielektrik yang tinggi dan kapasitas penyimpanan muatan yang tinggi (high
charge storage capasity). Suatu ferroelektrik RAM, jika bahan itu memiliki nilai
polarisasi sekitar 10 C.cm-2 maka ia mampu menghasilkan muatan sebanyak
1014 elektron per cm-2 untuk proses pembacaan memori.
2.2
Sifat Dielektrik
Dielektrik merupakan bahan isolator (non konduktor) yang memiliki daya
hantar listrik yang kecil seperti kaca, kertas dan kayu. Saat bahan dielektrik
berada dalam medan listrik, muatan listrik yang terdapat di dalamnya tidak akan
mengalir, sehingga tidak timbul arus listrik dari posisi setimbangnya, yang
mengakibatkan terjadi pengutuban dielektrik. Ketika ruang antara konduktor pada
suatu kapasitor diisi dengan dielektrik (Tipler, 2001).
Gambar 2.1 Dipol-Dipol Listrik yang Menyebar secara Random (Tipler, 2001)
Momen dipol secara normal tersusun secara acak. Dalam pengaruh medan
listrik diantara keping-keping kapasitor. Dielektrik dapat memperlemah medan
listrik antara keping-keping suatu kapasitor karena adanya medan listrik molekulmolekul dalam dielektrik akan menghasilkan medan listrik tambahan yang
arahnya berlawanan dengan medan listrik luar. Jika molekul-molekul dalam
dielektrik bersifat polar, dielektrik tersebut memiliki momen dipole permanen
(Tipler, 2001).
Konstanta dielektrik merupakan perbandingan energi listrik yang
tersimpan pada bahan isolator tersebut jika diberi sebuah potensial, relatif
terhadap vakum (ruang hampa). Konstanta dielektrik dilambangkan dengan huruf
Yunani r.
Tabel 2.1 Beberapa contoh konstanta dielektrik dari beberapa bahan pada suhu
kamar
Bahan
Vakum
Udara
Polietilena
Kertas
PTFE(Teflon (TM))
Polistirena
Silikon
Air (20oC)
Barium titanat
Konstanta dielektrik
1 (sesuai defenisi)
1,0054
2,25
3,5
2,1
2,4 2,7
11,68
80,10
1200
(2.1)
(2.2)
2.3
yang mengalirkan panas lebih cepat dan ada pula yang lebih lambat. Hal ini
bergantung kepada kekuatan bahan tersebut untuk mengalirkan panas. Pengaruh
sifat thermal terhadap bahan dielektrik adalah kecil.
Sudah diketahui bahwa bahan dielektrik air lebih cepat mengalirkan panas
dari pada bahan dielektrik udara. Perpindahan panas tergantung pada hal-hal
sebagai berikut: luas permukaan pelat, ketebalan bahan dan konduktivitas yaitu
ukuran panas yang melalui satuan luas dan satuan ketebalan tersebut dengan unit
temperatur diantara dua titik. Berdasarkan daftar, nilai konstanta dielektrik tidak
banyak berubah terhadap suhu.
2.4
peneliti-peneliti dari Amerika, Jepang dan Rusia. BaTiO3 pada saat ini merupakan
material ferroelektrik yang sangat cepat perkembangan penelitiannya. Barium
titanat (BaTiO3) adalah bahan yang bersifat ferroelektrik dan mempunyai struktur
kristal perovskite (ABO3) yang jauh lebih sederhana bila dibandingkan dengan
bahan ferroelektrik yang lain. Secara umum struktur perovskite dengan bentuk
ABO3 ditunjukkan seperti Gambar 2.1, dimana A dapat merupakan logam
monovalen, divalen atau trivalen dan B dapat berupa unsur pentavalen, tetravalen
atau trivalen sedangkan O adalah unsur oksigen. Bahan ini sangat praktis karena
sifat kimia dan mekaniknya sangat stabil, mempunyai sifat ferroelektrik pada suhu
ruang sampai di atas suhu ruang karena mempunyai suhu curie (Tc) sebesar
120oC. BaTiO3 telah digunakan sebagai material kapasitor permitivitas tinggi
karena konstanta dielektriknya tinggi. Variasi pada komposisi kimianya
menyebabkan perubahan drastis terhadap sifat fisikanya tetapi tidak merubah sifat
piezoelektriknya. (Sunandar, 2006)
unsur yaitu :
Barium
Barium adalah suatu unsur kimia dalam tabel periodik yang memiliki
lambang Ba dan nomor atom 56. Unsur ini mempunyai isotop alam 130, 132,
134, 135, 136, 137 dan 138. Barium mempunyai titik lebur 710 oC dan titik didih
1.500oC serta berwarna putih keperakan. Contoh Kristal yang dihasilkan barium
antara lain Barium sulfat (BaSO4) dan contoh basa yang mengandung barium
antara lain Barium hidroksida (Ba(OH)2).
Titanium
Titanium adalah sebuah unsur kimia dalam tabel periodik yang memiliki
symbol Ti dan nomor atom 22. Merupakan logam transisi yang ringan, kuat,
berkilau, tahan korosi (termasuk tahan terhadap air laut dan klorin dengan warna
10
Ozon (O3)
Ozon (O3) adalah salah satu gas yang membentuk atmosfer, kita bernafas
dengan oksigen (O2) membentuk hampir 20% atmosfer. Pembentukan ozon (O3),
molekul triatom oksigen kurang banyak dalam atmosfer di mana kandungannya
hanya 1/3.000.000 gas atmosfer. Ozon terdiri dari tiga molekul oksigen dan amat
berbahaya pada kesehatan manusia. Secara alamiah, ozon dihasilkan melalui
percampuran cahaya ultraviolet dengan atmosfer bumi dan membentuk suatu
lapisan ozon pada ketinggian 50 kilometer.
2. 5
Strontium yang telah ditemukan di tambang timah pada tahun 1787 oleh Adair
Crawford diakui sebagai berbeda dari mineral barium lainnya pada tahun 1790.
Strontium sendiri ditemukan pada tahun 1798 oleh Charles Thomas Harapan, dan
logam strontium pertama kali diisolasi oleh Sir Humphry Davy pada tahun 1808
dengan menggunakan elektrolisis. Catatan Strontium pertama kali diisolasi oleh
Sir Humphry Davy pada tahun 1808. Bahaya bahan ini dalam bentuk murni
adalah sangat reaktif terhadap udara, karena itu dianggap bahaya kebakaran.
11
Strontium titanat (SrTiO3) memiliki indeks bias yang sangat tinggi dan dispersi
optik lebih besar dari berlian, sehingga bermanfaat dalam berbagai aplikasi optik.
BST ialah material yang memiliki konstanta dielektrik yang tinggi dan
kebocoran arus rendah. Karakteristik sifat kelistrikan (mikrostuktur) dari BST
dipengaruhi oleh jenis material doping, suhu kalsinasi dan ukuran (grain size).
(Safutri, 2013).
Gracia et al (2002) menyatakan bahwa karateristik BST mengalami
perubahan polarisasi ketika didoping.Doping ini menyebabkan sifat dielektrik.
Penambahan sedikit dopan dapat menyebabkan perubahan parameter kisi,
konstanta dielektrik, sifat elektrokimia, dan sifat paraelektrik dari keramik
(Gracia, 2002).
(A)
(B)
Gambar 2.3. (A) Struktur kristal perovskite SrTiO3 pada fase kubik (B)
Struktur kristal perovskite SrTiO3 pada fase tetragonal
(Irzaman, 2003)
12
13
kapasitor tersebut dibatasi oleh suatu bahan isolator yang disebut dengan
dielektrik dan antara keping konduktor tersebut terdapat medan listrik. Dengan
adanya bahan dielektrik yang ditempatkan di antara kedua keping konduktor
tersebut maka nilai kapasitansi akan meningkat dengan faktor r yang bergantung
pada material dielektrik. Kapasitor yang biasa digunakan adalah kapasitor keping
sejajar yang terdiri dari dua keping konduktor sejajar, dimana kepingan ini berupa
lapisan-lapisan logam yang tipis. Besarnya kapasitansi dari kapasitor dapat
dihitung dengan menggunakan persamaan :
Q=
C
V
(2.3)
C=
0 A
d
(2.4)
Untuk kapasitor yang memiliki bahan dielektrik selain udara maka nilai
kapasitansinya dapat dihitung dengan Persamaan 2.3:
14
C =r
0 A
d
(2.5)
0
= permitivitas ruang hampa (8.85 x 10-12F/m)
A =
d
2.7
= ketebalan (m)
15
2.4. dari rangkaian pengukuran ini akan diperoleh waktu pengosongan dan waktu
pengisian. Waktu pengisian terjadi ketika t = RC.
SQUARE
WAVE
BS
T
OSILOSKO
P
16
Prinsip kerja dari SEM ini adalah Elektron masuk kedalam detektor di
fokuskan pada signal, menjadi listrik yang menghasilkan sampel pada layar.
Sinyal luar dari detektor berpengaruh terhadap intensitas cahaya didalam holder.
Peralatan utama yang terdapat pada SEM:
17
informasi mengenai:
Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan tekstur (kekerasan dan sifat
memantulkan cahaya).
Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek
(kekuatan, cacat pada IC dan chip).
Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di
dalam objek (titik lebur, kereaktifan, dan kekerasan).
Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai susunan dari butirbutiran di dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, dan
kekuatan).
SEM memiiki resolusi yang lebih tinggi dari pada mikroskop optik. Hal ini
disebabkan oleh panjang gelombang de Broglie yang dimiliki elektron lebih
pendek dari pada gelombang optik (Tipler, 2001).
2.7.2
konduksi elektrik terhadap sampel pada frekuensi dan kelembaban yang berbeda.
18
Vo terhadap hambatan, R.
Secara umumnya nilai R adalah sangat rendah berbanding dengan Z() yaitu
R<<Z(). Impedansi kompleks diperoleh dari persamaan berikut:
Z() = Rx
Vi
Vo
(2.6)
Dengan
= frekuensi sudut (rad/s)
Vi = Voltan Input (volt)
Vo = Voltan Output (volt)
R = Hambatan (ohm)
Nilai jumlah impedansi kompleks yang terdiri dari pada nilai nyata, Z dan
nilai khayal, Z dan masing-masing diperoleh dengan persamaan berikut,
Z = Z () cos (2 1)
(2.7)
Z = Z() sin (2 1)
(2.8)
dan
Dengan
19
Z ''
) (Jonscher, 1983).
20
Z'
21
dielektrik
dilakukan
dengan
menggunakan
teknik
khayal,
Z ''
. Konstanta dielektrik (
r'
Z'
dan impedansi
Z*
) yang
Z * Z ' jZ ''
(2.9)
j
dengan
= (-1)1/2 .
22
C*
hubungan:
C*
1
jZ *
(2.10)
R'
Z'A
d
(2.11)
dan
Z '' A
R
d
''
'
(2.12)
r'
C * .d
0 .A
(2.13)
23
C*
farads.
ialah konstanta ruang hampa (8.85 x 10-12 F/m) dan A sama dengan
2.8
Metode Sol-Gel
Metode Sol-Gel dapat didefinisikan sebagai proses pembentukan senyawa
anorganik melalui reaksi kimia dalam larutan pada suhu rendah, dimana dalam
proses tersebut terjadi perubahan fasa dari suspensi koloid (sol) menjadi fasa cair
kontiniu (gel). Koloid adalah suatu suspensi dimana fase terdispersi sangat kecil
sehingga gaya gravitasi dapat diabaikan dan interaksinya di dominasi oleh gaya
rentang pendek (Brinker dan Scherer, 1990). Salah satu metode yang digunakan
dalam pembuatan film tipis ini adalah proses Sol-Gel.. Hal ini disebabkan karena
beberapa keunggulannya antara lain :
1.
2.
3.
4.
24
Selain itu yang paling mengesankan dari proses ini adalah biayanya relatif
murah dan produk berupa xerogel silika yang dihasilkan tidak beracun, (Zawrah
et al, 2009).
Proses sol-gel merupakan proses yang banyak digunakan untuk membuat
keramik dan material gelas. Pada umumnya, proses sol-gel melibatkan transisi
sistem dari sebuah liquid sol menjadi solid gel. Melalui proses sol-gel, maka
produksi keramik atau material gelas dalam berbagai jenis dan bentuk dapat
dilakukan.
pelarut yang mudah menguap lama kelamaan akan menjadi gel sampai fase
akhirnya berubah menjadi padat (Hilaludin, 2011). Pembuatan film tipis BST
dengan menggunkan metode sol gel, secara umum meliputi empat proses :
1. Sintesis larutan prekusor. Komposisi massa senyawa yang digunakan,
dihitung dengan menggunakan metode stoikiometri.
2. Deposisi larutan prekusor pada permukaan substrat. Proses ini dapat
dilakukan dengan cara mencelupkan substrat kedalam larutan prekusor,
spin coating atau penetesan larutan prekusor pada permukaan sehingga
daidapatkan film tipis pada permukaan.
3. Pemanasan pada temperatur rendah, tujuannya untuk menghilangkan
pelarut dan senyawa organik lain yang diperkirakan masih ada
25
Proses Dipcoating
Dipcoating adalah suatu proses yang biasanya digunakan untuk pelapisan,
Pengendapan
Spin Up
Spin Off
Penguapan
26
BAB III
METODOLOGI PENELITIAN
Penelitian
ini
dilakukan
menggunakan
beberapa
langkah-langkah
27
Alat dan bahan yang digunakan pada penelitian ini dapat dilihat pada Tabel 3.1 .
Tabel 3.1
No
.
1.
2.
3.
4.
5.
6.
Piring Petri
Mikropipet
Barium Carbonat (BaTiO3)
Pinset
Titanium Oksida (TiO2)
Dry Box
7.
Weigh Paper
8.
9.
10.
11.
Ultrasonic Bath
Botol Sintesis
Cotton Bud
12.
Spin Coating
13.
Tissue
14.
Furnace
15.
Timbangan Kimia
16.
Hot Plate
17.
Sabun Decon90
18.
Spatula
Fungsi
Tempat substrat
Mengambil larutan kimia
Bahan Pembuat sampel
Penjepit sampel
Bahan Pembuat Sampel
Penyimpanan sampel
Tempat peletakan/penyusunan
sampel di dalam piring petri
Untuk tempat bahan pada saat
dipanaskan
Sonikasi alat dan sampel
Tempat penumbuhan sampel
Alat pencuci substrat
Untuk menghasilkan lapisan tipis
yang merata di atas substrat
Untuk membersihkan alat-alat
penelitian
Alat anneling sampel
Untuk menimbang bahan-bahan
sintesis
Untuk memanaskan sampel yang
telah deseeding
Untuk membersihkan substrat dan
botol sintesis
Untuk mengambil bahan-bahan
yang diperlukan saat akan
menimbang
28
19.
20.
21.
22.
Acetone
Air suling
Iodine/triiodida
Strontium Carbonat (SrCO3)
23.
Isopropanol
24.
Suntik
25.
26.
27.
28.
29.
30.
Magnetik still
Aceti Acid
Substrat kaca
Drier
SEM
Spektroskopi Impedansi
3.2
Prosedur Penelitian
Penelitian ini dilakukan meliputi prosedur-prosedur dari penyedian sampel
BaSrTiO3 dengan metode reaksi kimia. Bahan dasar serbuk BaCO 3, SrCO3 dan
TiO2 dengan kemurnian >99,9 % digunakan dalam penyediaan sampel,
perhitungan berat massa Barium (Ba), Strontium (Sr) dan Titanat (Ti). Diagram
alir penelitian dari proses penyediaan sampel pada Gambar 3.1.
29
Preparasi sampel
BaCO3
Stiring t = 2jam
Ba solution
TiO2
SrCO3
Stiring t = 2jam
Sr solution
Ba+Sr+Ti
BST solven
Acetil aceton
30
3.3
turunan dari BaTiO3 yang diperoleh dengan mendoping Sr pada Barium Titanat.
Forulasi yang dipakai BaCO3(x) + SrCO3(1-x) + TiO2 => BaxSr1-xTiO3 dengan nilai x
sebesar 0,8 yang memiliki sifar ferroelektrik. Komposisi massa yang sesuai
ketentuan dari bahan-bahan tersebut dihitung menggunakan Stoikiometri (reaksi
kimia).
Bahan-bahan yang direaksikan antara lain barium karbonat sebanyak
1,9758 gram dan stronsium karbonat sebanyak 0,3695 gram dengan fraksi molar
dari barium adalah sebesar 0,8 sedangkan untuk stronsium adalah 0,2. Bahanbahan ini ditempatkan dalam sebuah botol kaca untuk dilarutkan pada larutan
asetil acid dan diaduk hingga jernih. Keduanya dicampur dan campuran ini
diletakan pada hot plate kemudian diaduk hingga hancur menggunakn bola
magnetik, setelah larutan yang dicampur ini hancur dan jernih barulah diteteskan
titanium isopropoxide sebanyak 1 ml sambil terus diaduk. Setelah itu teteskan
tetes demi tetes asetil aseton yang berfungsi untuk menstabilkan konsentrasi
larutan (mengentalkan larutan), maka terbentuklah larutan dengan kandungan Ba,
Sr dan Ti (BST).
3.4
31
3.5.
Proses Annealing
Annealing merupakan proses pemanasan setelah sampel di spin coating.
Pemansan ini dilakukanan pada temperatur tertentu dan ditahan pada waktu
tertentu
kemudian
dilanjutkan
dengan
pendinginan
perlahan-lahan
pda
32
3.6.
Ka
33
3.8
34
DAFTAR PUSTAKA
Adnan, S.R. 2012. Proses Pembuatan dan karakterisasi Lapisan Tipis Barium
Zirkonium Titanat (BaZrxTiO3) yang Didoping Lantanium dengan
Metode Sol Gel. Skripsi Jurusan Fisika FMIPA, Universitas Indonesia,
Depok.
Ahmad N.Y., 1996. Sifat magnet, elektrik dan dielektrik ferit Mn-Zn, Mg-Zn dan
Mn-Mg-Zn. Tesis S.Sn. Universiti Kebangsaan Malaysia.
Anderson, Jhon ,E . 1966. High Frekuency Light Source. Assignor To General
Electrik Company, A Corporation Of New York. Ser. No. 599,272 Int.Cl.
HO4b 9/00;HO1s 3/00.
35
Titanate
And
Their
Application
For
If
Senso,
phys.stat.11.621.381.
Irzaman., Erviansyah, R, Syaputra, H., Maddu, A., Siswadi. 2010. Studi
Konduktivitas Listrik Film Tipis Barium Strotium Titanat (BST) yang
Didadah Ferium Oksida (BFST) Menggunakan Metode Chemical Solution
Deposition (CSD). Jurnal Berkala Fisika ISSN: 33-38.
Jamaluddin, A., Anif, j., Iriani, Y., Yofertina, S., Sri, B. 2011. Pembuatan Prototipe
Sensor Cahaya Menggunakan Bahan Ferroelektrik BST. Jurnal Sains dan
Material Indonesia ISSN: 1411-1098.
Jonscher, A.K. 1983. Dielectric relaxation in solids. London: Chelsea Dielectrics
Press Ltd.
Kleitz, M.& Kennedy, J. H. 1979. Resolution of multicomponent impedance
diagram Proceeding of the International Conference on Fast Ion Transport
in Solids, Electrode and Electrolites. Ed. P. Vashita, J. N. Mundy & G. K.
Shenoy. North Holland:185-188.
36
Krisman, dan Rahmi, D,. 2013. Menentukan Konstanta Dielektrik Lapisan Tipis
(Ba0.6Sr0.4TiO3 ) dengan Menggunakan Impedansi Kompleks. Jurusan
Fisika, FMIPA, Universiatas Riau, Pekanbaru.
Liu, W.T. 2006. Nanoparticles and Their Biological and Environmental
Applications, bioscience and bioengineering.1.554-562.
Setiawan A. 2008. Uji Sifat Listrik Dan Optik Ba0.25Sr0.75TiO3 Yang Didadah
Niobium (BSNT) Ditumbuhkan di Atas Subtrai Silikon Tipe-P dan Gelas
Korning dengan Penerapannya Sebagai Fotodioda. Fmipa IPB : Bogor.
Sunandar C. 2006. Penumbuhan Film BaxSr1-xTiO3 dan BaFeSrTiO dan
Observasi Sifat Ferroelektriknya. Fmipa IPB : Bogor
Sunandar, C, 2006. Penumbuhan Film BaxSr1-xTiO3 dan BaFeSrTiO3 dan observasi
sifat
ferroelektriknya. Bogor.
Tipler, P. A. 2001. Fisika untuk Sains dan Teknik. Terjemahan Bambang. Penerbit
Erlangga: Jakarta.
Van, V. L. H. 2004. Elemen-elemen Ilmu dan Rekayasa Material. Terjemahan
Djaprie. Penerbit Erlangga: Jakarta.
Zawrah, M. F., El-Kheshen, A. A., Abd-El-All, H. 2009. Facile and Economic
Synthesis of Silica Nanoparticles, Journal of Ovonic Reasearch, vol.5,
No.5, 2009, pp.129-133.
Zulpratama, D. 2013. Pengaruh Suhu Annealing Terhadap Microstructur Bahan
Barium Titanat (BaTiO3). Menggunakan Scanning Electron Microscopy
(SEM). Skripsi. Fisika. Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam.
Universitas Riau. Pekanbaru.
37